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Focused Ion Beams in Microfabrication

Description

Focused ion beams are used in microfabrication and nano-fabrication. A focused ion beam, or FIB, is an instrument that can fabricate, trim, analyze, and characterize materials on micro- and nano-scales. These tools are used in many fields, from nano-electronics to medicine.

FIB systems work with ...

Transcript

Der fokussierte Ionenstrahl ist ein Instrument, das zur Herstellung, Beschneidung, Analyse und Charakterisierung von Materialien im Mikro- und Nanomaßstab verwendet werden kann. Fokussierte Ionenstrahlen werden in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, von der Elektronik bis zur Medizin.

Fokussierte Ionenstrahlsysteme beschleunigen Flüs...

Tags

Fokussierter IonenstrahlIonen tzenSekund relektronenabbildungchemische GasphasenabscheidungRasterelektronenmikroskopkoinzidenter eukzentrischer PunktNanofabrikationtomographische BildgebungIonenimplantationSputter Beschichtung