33.12
Un microscope électronique à balayage ou MEB scanne un échantillon à l’aide d’un faisceau d’électrons pour fournir des informations sur la topographie et la composition de la surface de l’échantillon.
Le MEB utilise un canon à électrons pour générer un faisceau d’électrons chargé négativement attiré vers le bas par une anode chargée positivement. Les lentilles électromagnétiques concentrent alors le faisceau d’électrons et réduisent son diamètre.
Ensuite, les bobines de balayage dévient ce faisceau d’électrons focalisé le long des axes x et y et lui permettent de balayer une zone rectangulaire de la surface de l’échantillon.
Le faisceau d’électrons primaires de haute énergie excite les électrons dans les atomes d’un échantillon, ce qui entraîne la libération d’électrons secondaires de basse énergie. Ces électrons secondaires sont lus par le détecteur et utilisés pour générer une image 3D de la surface de l’échantillon.
L’interaction faisceau-échantillon d’électrons produit également des rayons X caractéristiques, qui fournissent des informations sur différents éléments, tels que le fer et le nickel, présents dans l’échantillon.
Un microscope électronique à balayage (MEB) est utilisé pour étudier les caractéristiques de la surface d'un échantillon à l'aide d'un faisceau électr…
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