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Article de méthode

Fabrication de nanotubes de carbone à haute fréquence Nanoélectronique biocapteur pour détecter en haute force ionique

17.8K vues

DOI :

10.3791/50438

22 juillet 2013

Dans cet article

Résumé

Nous décrivons la fabrication de l'appareil et le protocole de mesure des nanotubes de biocapteurs à haute fréquence à base de carbone. La technique de détection à haute fréquence atténue l'effet d'écran fondamental de l'ionique (Debye) et permet nanotube biocapteur pour être utilisé dans des solutions de force ionique élevée, où biocapteurs électroniques classiques échouent. Notre technologie offre une plate-forme unique pour le point-of-care (POC) des biocapteurs électroniques fonctionnant dans des conditions physiologiquement pertinents.

Résumé

Les propriétés électroniques uniques et des ratios élevés au volume de la surface de nanotubes de carbone à paroi simple (SWNT) et de nanofils de semi-conducteurs (NW) 1-4 en font de bons candidats pour les biocapteurs haute sensibilité. Quand une molécule chargée se lie à une telle surface de détection, il modifie la densité de porteurs dans le capteur 5, ce qui entraîne des changements dans sa conductance de courant continu. Cependant, dans une solution ionique une surface chargée attire aussi les contre-ions de la solution, formant une double couche électrique (EDL). Cette EDL écrans effectivement hors la charge, et physiologiquement pertinents conditions ~ 100 mM (mM), la longueur de la projection de charge caractéristique (longueur de Debye) est inférieure à un nanomètre (nm). Ainsi, dans les solutions de force ionique élevée, détection basée sur la charge (DC) est fondamentalement entravée 6-8.

Nous surmontons les effets de dépistage de charge en détectant les dipôles moléculaires plutôt que de charges à haute fréquence, en opérant Nanot carboneube transistors à effet de champ que des mélangeurs de haute fréquence de 9 à 11. Aux fréquences élevées, la force de traction à courant alternatif ne peut plus surmonter la résistance de la solution et les ions en solution n'ont pas suffisamment de temps pour former l'EDL. En outre, la fréquence de mélange technique nous permet d'opérer à des fréquences assez élevées pour surmonter dépistage ionique, et encore détecter les signaux de détection à des fréquences inférieures 11-12. En outre, la forte transconductance de transistors SWNT offre un gain interne pour le signal de détection, ce qui évite la nécessité d'amplificateur de signal externe.

Ici, nous décrivons le protocole à (a) fabriquer des transistors SWNT, (b) fonctionnaliser biomolécules au nanotube 13, (c) la conception et le cachet d'un polydiméthylsiloxane (PDMS) de la chambre micro-fluidique 14 sur l'appareil, et (d) effectuer la détection à haute fréquence de différentes solutions de force ionique 11.

Introduction

Quand une molécule chargée lie à un capteur électronique SWNT ou NW, il peut soit faire un don / accepter des électrons ou agir comme une barrière électrostatique local. Dans les deux cas, la molécule liée peut modifier la densité de charge dans le canal SWNT ou NO, ce qui conduit à une variation de la conductance de courant continu mesurée du capteur. Une grande variété de molécules 15-20 ont été détectées avec succès par l'étude des caractéristiques continues des nanocapteurs lors de tels événements contraignants. Même si mécanisme de détection basé charge détection présente de nombreux avantages, y compris la détection sans étiquette 21, ....

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Protocole

1. Modélisation de catalyseur pour la croissance SWNT

  1. Commencer avec une tranche de silicium, par un dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (CVD), augmenté de 500 nm de Si 3 N 4 / SiO 2 de 500 nm film sur le dessus.
  2. Spin enduire une couche de résine photosensible (PR) à 500 tours par minute pendant 5 secondes, puis 4000 tours par minute pendant 40 sec.
  3. Faire cuire la galette à 115 ° C pendant 90 secondes.
  4. Utilisez un masque photographique avec des fosses rectangulaires de catalyseurs (Figure 1) et exposer la plaquette en UV (365 nm) irradiance de 300 mJ / cm 2

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Résultats

Une image au microscope électronique à balayage de transistor SWNT avec une grille supérieure en suspension est illustré à la figure 7a. Les dimensions de porte sont essentiels pour suspension 25. Les dimensions de conception actuelles sont (longueur x largeur x épaisseur = 25 um um x 1 x 100 nm). L'électrode de grille est constituée de 50 nm nm Cr/50 Au, une couche de chrome d'épaisseur ajoute plus de force à la structure suspendue. La structure suspendue est confirmée par l'abse.......

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Discussion

La croissance des nanotubes de carbone dépend non seulement des conditions de four, mais aussi la propreté du substrat. Le gaz optimale le débit, la température et la pression de la croissance doivent soigneusement calibrée et une fois fixé, ils sont plus ou moins stable. Même avec ces conditions soient remplies, nous avons constaté que la croissance dépend de la surface du catalyseur motifs, la quantité de catalyseur et de la propreté du substrat. Par conséquent, nous avons intégré plusieurs tailles de puits de catalys.......

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Déclarations de divulgation

Les auteurs déclarent qu'ils n'ont aucun intérêt financier concurrents.

Remerciements

Nous remercions le Professeur Paul McEuen à l'Université Cornell pour les premières discussions. Le travail est soutenu par le fonds de démarrage fournir par l'Université du Michigan et de la Fondation Programme de nanofabrication évolutive National Science (DMR-1120187). Ce travail a utilisé la nanofabrication Lurie de l'Université du Michigan, membre du Réseau National Nanotechnology Infrastructure financée par la National Science Foundation.

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Matériaux

Liste des matériaux utilisés dans cet article
NomEntrepriseNuméro de catalogueCommentaires
REAGENTS
Les réactifs qui ont été fournis au sein de l’installation de nanofabrication de Lurie (Université du Michigan) sont marqués comme LNF dans la colonne du catalogue. Les produits chimiques qui nécessitent un équipement de protection (gants, lunettes de sécurité, masque facial, tablier) et/ou une hotte sont signalés par un EPI dans la section des commentaires.
Plaquettes de silicium (type P, < 100>, 500-550 &mu ; m d’épaisseur)Silicon Valley Microelectronics
SPR 220 3.0Dow (Rohm and Haas)Megaposit SPRPPE
AZ 300MIFAZ Electronic Material CorporationPPE
AcétoneJ T Baker9005-05
EPI Isopropanol (IPA)J T Baker9079-05
Acide fluorhydrique tamponnéTransènePPE
1-Pyrène Acide butanoïque, ester succinimidyliqueSondes moléculairesP130PPE
Biotine PEO AmineThermo ScientificEZ-Link PEG2 Biotine, # 21346PPE
StreptavidinInvitrogenS 888
PPE DiméthylformamideMP BiomedicalsPPEd’élastomère
agent de durcissement PolydiméthylsiloxaneDow CorningSylgard 184 Kit élastomèrePPE
SU-8 2015MicrochemY111064PPE
SU-8 DéveloppeurMicrochemY020100PPE
SilanisantSigma Aldrich452807PPE
HydrogenPurity PlusLNF
EthylenePurity PlusLNF
ArgonLNF
Sigma AldrichPBS1
EQUIPMENT
L’équipement fourni par Lurie Nanofabrication Facility (Université du Michigan) est désigné LNF dans la colonne Catalogue.
GCA 200 AutostepperGCALNF
Outil de dépôt chimique en phase vapeur basse pressionTempressLNF
E-beam ÉvaporateurEnerjetLNF
CNT four de croissanceFirst Nano EasyTube 3000 (LNF)
PhotomasquesNanofilmLNF
Boîte de Petri (150mm)LNF
DessiccateurBel-ArtF420100000
Biopsie PunchTed Pella15071/78
ScalpelTed Pella548
Tube en polyéthylène PE-50VWR20903-414
Pousse-seringueNew Era Pump SystemsNE-1000
SeringueFisher ScientificBD Safety-Lok Seringues
Aiguilles pour seringuesFisher Scientific14-821-13A
Carte d’acquisition dedonnées National Instruments779111-01
Connecteur GPIBNational Instruments778032-51
Amplificateur à verrouillageStanford Research SystemsSR 830
Générateur de fréquenceHP Agilent8648B, 9kHz -2GHz
Bias TeePicosecond5575A-104
Préamplificateur de courantDL Instruments, LLCDL 1211
Câbles BNCAllied Electronics665-xxxx
Câbles SMASentro Tech CorpSCF65141
0219514791 Base et Système salin tampon phosphate Purity Plus

Références

  1. Dekker, C. Carbon nanotubes as molecular quantum wires. Phys. Today. 52, 22-28 (1999).
  2. McEuen, P. L., Fuhrer, M. S., Park, H. K. Single-walled carbon nanotube electronics. IEEE Transactions on Nanotechnology. 1, 78-85 (2002).
  3. Duan, X. F., Huang, Y., Cui, Y., Wang, J. F., ....

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Réimpressions et autorisations

Mots-clés

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