Les propriétés de matériaux fonctionnels dépendent de leurs paramètres 3D. Pour bien comprendre leurs propriétés et améliorer leurs fonctions, il est important d’analyser leur morphologie et la distribution de produits chimiques en 3D. Electron tomography1 (HE) est l’une des meilleures techniques de fournir cette information à l’échelle nanométrique2,3. Il se compose de rotation de l’échantillon sur une grande plage angulaire et enregistrement d’une image à chaque étape angulaire. La série tilt obtenu est utilisée pour reconstruire le volume de l’échantillon en utilisant des algorithmes mathématiques basées sur la transformation de Radon4,5. Sélection de niveaux de gris dans le volume permet de modéliser l’échantillon en 3D et quantifier les paramètres 3D comme particule localisation6 et taille distribution7, pore position et taille distribution8, etc.
En général, ET est réalisée avec un microscope électronique en inclinant l’échantillon à l’angle maximal possible, de préférence plus de 70° dans les deux sens. Chaque angle d’inclinaison, une projection de l’échantillon est enregistrée en formant une série d’inclinaison des images. Cette série d’inclinaison est alignée et utilisée pour reconstruire le volume de l’échantillon qui sera segmenté et quantifiée. Parce que l’échantillon ne peut être tourné de 90 ° à + 90 °, le volume reconstruit a une résolution anisotrope le long de l' axe orthogonal9 en raison de l’angle de prise aveugle.
ET peut être effectuée dans les différents modes d’imagerie. Le mode TEM de champ lumineux (BF-TEM) est utilisé pour étudier les matériaux amorphes, les échantillons biologiques, les polymères ou catalyseur prend en charge avec des formes complexes. L’analyse d’image est basée sur la différenciation des niveaux de gris qui caractérisent la densité des composants10 (un composant dense sera plus sombre qu’un briquet, c'est-à-dire, moins dense composant). High angle rasant annulaire en mode TEM (HAADF-STEM) balayage sert à analyser des échantillons cristallins. Le signal fournit information chimique en fonction du nombre atomique ; une composante forte de l’échantillon paraîtra plus lumineuse qu’un briquet un9. Autres modes, tels que la spectroscopie x Dispersive en énergie (EDX), qui recueille les rayons x émis par la matière11et l’énergie filtré d’imagerie mode (EFTEM)12,13, sont également capables d’évaluer la distribution de produits chimiques 3D au sein de l’échantillon.
En imagerie EFTEM, les cartes 2D chimiques peuvent être enregistrées à l’aide d’un TEM avec un spectromètre à électrons énergétiques. Le spectromètre agit comme un prisme magnétique en dispersant les électrons en fonction de leur énergie. Une image est créée par les électrons selon l’énergie perdue d’interagir avec un atome spécifique. Si la même carte chimique 2D est calculée à des angles d’inclinaison différente, une inclinaison de la série de projections chimiques est obtenue, qui peut servir à reconstruire le volume 3D chimique.
Pas tous les matériaux peuvent être analysés par tomographie EFTEM. La technique est réservée aux échantillons avec des matériaux de faibles ou de troubles. Néanmoins, il peut être utilisé pour analyser des éléments légers qui sont très difficiles à différencier en utilisant d’autres techniques d’imagerie. En outre, pour obtenir des cartes chimiques 2D fiables, l’épaisseur du matériau doit être moins que le libre parcours moyen des électrons à travers la matière14. Dans ces conditions, la probabilité d’avoir un seul électron interagit avec un seul atome est le plus élevée. Deux méthodes sont utilisées pour calculer une carte chimique 2D. Le premier et le plus utilisé est la « méthode des trois-windows », où deux fenêtres énergie filtrées sont enregistrées avant le bord de l’ionisation de l’élément sous analyse et un troisième après l’ionisation bord13. Les deux premières images sont utilisées pour estimer l’arrière-plan, ce qui est extrapolé en utilisant une loi de puissance à la position de la troisième fenêtre et soustraite d’elle. L’image obtenue est la projection de la distribution 3D d’un élément chimique dans le volume de l’échantillon analysé. La deuxième méthode est appelée le « saut-ratio » ; Il utilise seulement deux images énergie filtré, un avant et un après le bord de l’ionisation. Cette méthode est qualitative, que l’image finale est calculée uniquement en effectuant le rapport entre ces deux images et ne tient pas compte de la variation d’énergie de fond.
En combinant EFTEM avec ET, la tomographie analytique de l’énergie filtré peut être obtenue. Tomographie par EFTEM et atom sonde tomographie (APT) sont des techniques complémentaires. Par rapport à APT, la tomographie EFTEM est une analyse de caractérisation non destructive ne nécessitant pas de préparation des échantillons complexes. Il peut être utilisé pour effectuer diverses caractérisations sur une NANOPARTICULE unique. Tomographie EFTEM permet d’analyser les matériaux isolants, tandis que l’APT a besoin à l’aide de laser tout le moins, de les mesurer. APT fonctionne à l’échelle atomique, tandis que la tomographie EFTEM effectue correctement avec une résolution inférieure. EFTEM la tomographie est pertinente uniquement pour les échantillons qui résistent à la dégradation de la poutre pendant l’expérience. Pour enregistrer toutes les images filtrées selon tous les angles inclinées, l’échantillon peut être exposé pour le faisceau d’électrons pour aussi longtemps que 2 h. En outre, pour enregistrer un signal chimique maximal dans les cartes 2D, les durées d’exposition plus longues à faisceau de haute intensité peuvent être nécessaires. Dans de telles conditions, les échantillons sensibles de faisceau subissent des changements morphologiques et chimiques. Par conséquent, un mesurage précis de la sensibilité de l’échantillon pour le faisceau d’électrons doit être établi avant l’expérience. En outre, la tomographie EFTEM est le résultat de l’enregistrement des tomographies autant que nécessaire pour déterminer l’emplacement dans l’espace et la nature des éléments chimiques présents dans l’échantillon. Néanmoins, la tomographie EFTEM peut fournir des informations importantes concernant la distribution de produits chimiques 3D pour les échantillons, tels que les supports de catalyseurs, de donner de nouvelles perspectives pour la modélisation de leurs applications catalytiques.
Aujourd'hui, il est possible d’utiliser un logiciel dédié qui peut choisir l’intervalle de l’énergie, enregistrement filtré images fenêtre énergie et calculer le produit chimique correspond à des angles d’inclinaison différentes. Ils permettent l’inclinaison de l’échantillon, suivi, en se concentrant et en enregistrant l’image filtrée en mode EFTEM. Les cartes chimiques 2D peuvent être calculées et puis la série d’inclinaison peut être alignée, le volume de produits chimique calculé à l’aide des algorithmes itératifs, et enfin la série peut être segmentée et quantifiés15,16.