Waiting
Traitement de la connexion…

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Изготовление однородных наномасштабных полостей с …
JoVE Journal
Engineering

Un abonnement à JoVE est nécessaire pour afficher ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.

JoVE Journal Engineering
Изготовление однородных наномасштабных полостей с помощью кремниевой прямой вафельной связи
Impacts of Free-falling Spheres on a Deep Liquid Pool with Altered Fluid and Impactor Surface Conditions
Journal (Engineering)
Impacts of Free-falling Spheres on a Deep Liquid Pool with Altered Fluid and Impactor Surface Conditions
Deep Neural Networks for Image-Based Dietary Assessment
Journal (Engineering)
Deep Neural Networks for Image-Based Dietary Assessment
 
Click here for the English version

Изготовление однородных наномасштабных полостей с помощью кремниевой прямой вафельной связи

Article DOI: 10.3791/51179-v • 10:32 min • January 9th, 2014
January 9th, 2014 •
1, 2,3, 4, 5, 1
1Department of Physics, The State University of New York at Buffalo, 2Joint Quantum Institute, University of Maryland, 3The National Institute of Standards and Technology, 4Cryogenics and Fluids Branch, NASA Goddard Space Flight Center, 5HRL Laboratories

Chapitres

résumé
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Описан метод постоянного склеивания двух кремниевых пластин, чтобы реализовать единый корпус. Это включает в себя подготовку пластины, очистка, RT связи, и annealing процессов. Полученные кабальные (клетки) имеют однородность корпуса 1%1,2. Полученная геометрия позволяет измерять ограниченные жидкости и газы.

Tags

Физика выпуск 83 кремниевая прямая пластинная связь наномасштабные кабические кремниевая пластина ограниченные жидкости литографические методы
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter