מחקר של תהליך הדפסת נקודות על חומרים גמישים באמצעות הדפסה השפעה-סוג טכנולוגיית הבלטה חמה

Summary

טכנולוגיית הטבעה של השפעה מסוג הדפסה חמה משתמשת בכותרת השפעה כדי לממש את דפוסי הנקודה על חומרים גמישים בזמן אמת. לטכנולוגיה זו יש מערכת בקרה לשליטה בתנועה ובמיקום של כותרת ההשפעה כדי ליצור תבניות של נקודות ברוחב ובעומקים שונים בסרטים פולימריים שונות.

Abstract

כאן אנו מציגים את המחקר שלנו על ההשפעה הדפס-סוג תהליך הבלטה חם אשר יכול ליצור תבניות נקודה עם עיצובים שונים, רוחב, ומעמקי בזמן אמת על סרט פולימרי. בנוסף, אנו מיושמים מערכת בקרה לתנועה ולמיקום של כותרת ההשפעה כדי לקבור דפוסי נקודה שונים. ביצעו בדיקת מידות בסרטים פולימריים שונים, כגון סרט פוליאסטר (PET), סרט הסרט פולימתיל (PMMA), וסרטי פוליוויניל כלוריד (PVC). דפוסי הנקודה נמדדו באמצעות מיקרוסקופ קונפוקלית וקד, ואנו אישר כי ההשפעה השפעה תהליך הבלטה חם מייצר פחות שגיאות במהלך התהליך הדפוס נקודה. כתוצאה מכך, ההשפעה על תהליך הטבעה חם של השפעה מתגלה להיות מתאים לתבניות של נקודות חריטה על סוגים שונים של סרטים פולימריים. בנוסף, בניגוד לתהליך ההבלטה החם המקובל, תהליך זה אינו משתמש בחותמת הבלטה. לכן, התהליך הוא פשוט והוא יכול ליצור תבניות נקודה בזמן אמת, הצגת יתרונות ייחודיים עבור ייצור המוני וייצור אצווה כמות קטנה.

Introduction

חוקרים מנסים באופן פעיל למזער התקנים קיימים ומציג ולהגדיל את הגמישות של התקנים אלה^1,2. כדי להקטין את הרוחב והעומק של ערוצי חשמל לקנה מידה מיקרו או ננו, טכנולוגיית דיוק גבוהה היא הכרחית. בנוסף, כדי להגביר את הגמישות של התקנים אלה, הדפוסים של ערוצי החשמל חייבים להיות ממוקמים על חומר גמיש, כגון סרט פולימרי^3,4. כדי לעמוד בתנאים אלה, המחקר של טכנולוגיית מיקרו-עיבוד ultrafine מתבצעת באופן פעיל.

לטכנולוגיה מיקרוליפיין ultrafine יש יתרון בחומרים הדקים האפשריים כוללים לא רק חומרים קשיחים מאוד כגון ברזל או פלסטיק, אך גם חומרים רכים כגון סרטים פולימריים. בשל יתרונות אלה, טכנולוגיה זו משמשת רבות כתהליך ליבה בתחומים שונים, כגון תקשורת, כימיה, אופטיקה, תעופה וחלל, מוליך למחצה, וחיישנים^5,6,7. בתחום המיקרו-עיבוד האולטרה-ממדי,^{משתמשים ב}-ליגה (ליטוגרפיה, ציפוי אלקטרוליגרפיות ודפוס) או שיטות מיקרוליניג. עם זאת, שיטות קונבנציונליות אלה משויכות למספר בעיות. שיטות ליגת העל דורשות כמות משמעותית של זמן ומספר שלבי תהליך ליצירת תבניות אולטרה-משובחות וכרוכות בעלויות גבוהות גם משום שהן זקוקות לסוגים רבים ושונים של ציוד במהלך התהליכים. בנוסף, שיטות ליגת העל משתמשות בכימיקלים שיכולים לזהם את הסביבה.

כדי לטפל בבעיה זו, טכנולוגיית תהליך הבלטה חם כבר להיות הדליק בין טכנולוגיות מיקרו בסדר ultrafine. הטבעה חמה היא טכנולוגיה היוצרת תבנית על סרט פולימרי מחומם באמצעות תבנית הבלטה מיקרו או ננו-סקאלה. טכנולוגיית הבלטה חמה רגילה מחולקת לסוג הלוחית וסוג גליל-אל-רול בהתאם לצורת התבנית. שני סוגים של טכנולוגיית הבלטה חם שונים מבחינת הצורה של העובש, אבל אלה שני תהליכים דומים בכך עובש הבלטה לוחץ על הסרט פולימר על צלחת מחוממת כדי לחרוט דפוס על הסרט פולימר. כדי לחרוט את התבנית באמצעות תהליך הבלטה חם, יש צורך לחמם את הסרט פולימר מעל טמפרטורת המעבר זכוכית כדי להחיל כמות נאותה של לחץ (~ 30-50 MPa)⁹. בנוסף, הרוחב והעומק של התבנית משתנים בהתאם לטמפרטורת הצלחת המחוממת, לחומר ולצורה של תבנית ההבלטה. יתר על כן, שיטת הקירור לאחר תהליך הדפוס משפיע על צורת התבנית על הסרט פולימר.

בתהליך הבלטה חם קונבנציונלי, חותמות הבלטה או רולים יכול להיות מובלט עם התבנית הרצויה, ואת עובש הבלטה ניתן להשתמש כדי להדפיס את דפוס זהה על משטחי הסרט פולימר ברציפות. תכונה זו עושה את התהליך הזה מתאים לא רק עבור ייצור המוני אלא גם עבור בדיית התקנים עם חומרים רכים, כגון סרטים פולימריים^{10,11,12,13,14}. עם זאת, שיטת הבלטה חמה המקובלת יכולה ליצור רק את התבנית היחידה החקוקה בתבנית ההבלטה. לכן, כאשר המשתמש רוצה ליצור דפוס חדש או לשנות את התבנית, הם חייבים ליצור עובש חדש כדי לשנות את דפוס ההטבעה. מסיבה זו, הטבעה חמה קונבנציונאלי הוא יקר וגוזלת זמן בעת יצירת דפוסים חדשים או החלפת עיצובים קיימים.

עבודה קודמת הציגה את תהליך ההשפעה-סוג חם הבלטה להפקת דפוסי נקודה עם רוחב ומעמקי שונים בזמן אמת¹⁵. בניגוד לתהליך ההבלטה החם המקובל, שיטת ההבלטה החמה מסוג ההדפסה משתמשת בכותרת השפעה כדי ליצור תבניות בסרט הפולימרי. טכנולוגיה זו מזיזה את כותרת ההשפעה למיקום הרצוי עם מערכת מיקום מדויקת. אות פקד מוחל על תבניות הדפסה ברוחב ועומק רצויים ובמצב שרירותי. מבנה כותרת ההשפעה מורכב ממאלף, קפיץ, סליל מתפתל, וליבה (ראה איור 1א)¹⁵. העבודה הקודמת אושרה באמצעות ניתוח ולהתנסות כי כותרת השפעה כזו יכולה לייצר את הכוח המתאים עבור הטבעה חמה¹⁶. הפרוטוקול של נייר זה מכסה את העיצוב של החומרה עבור תהליך הבלטה חם של סוג ההשפעה וסביבת הבקרה עבור בקרת תהליכים. בנוסף, אנו לנתח את דפוסי הנקודה על הסרט PET, הסרט PMMA, וסרט PVC, כולם מעובדים עם הפרוטוקול המוצע כדי לוודא כי ההשפעה השפעה בתהליך הבלטה חם יכול ליצור דפוסי נקודה עם רוחב ומעמקי שונים בזמן אמת. התוצאות של ניסויים אלה מוצגים להלן בסעיף התוצאות, המאשר כי תהליך ההבלטה יכול כראוי לייצר דפוסים בסדר ultrafine.

Protocol

1. ייצור תהליך הטבעה חמה של ההשפעה השפעה

1. הפוך דגם 1 ושנה אותו באמצעות X-stage (ראה איור 1).
   הערה: מומלץ כי דגם 1 יהיה עשוי אלומיניום כדי למנוע החום מתנהל על ה-X-stage. כמו-כן, מומלץ לאורך הדגם 1 להיות המרחק בין המשטח של צלחת החום לבין הגובה הנמוך ביותר של לוחית הנושא של ה-Z-stage כעיצוב של דגם 1 משתנה עם גודל צלחת החום.
2. לשלב את X-שלב ו-Z-שלב ולהרכיב את Z-stage ודגם 2.
   הערה: ודא שדגם 2 עשוי ממתכת שיכולה לשאת את החום מהצלחת החום (למשל, אלומיניום). תיקון דגם 2 לשלב Z בחוזקה יבטיח את היכולת של שלב Z להכיל את המשקל של דגם 2 ואת כותרת ההשפעה.
3. שלב את דגם 2 ואת כותרת ההשפעה ומניחים את צלחת החום מתחת לדגם 1.
   הערה: הצטרפות לכותרת ההתנגשות עם המיקום הנמוך ביותר בדגם 2 תבטיח שהמחבר יגיע למשטח של צלחת החום. מומלץ להתקין את לוחית החום לאחר העלאת השלב Z מקסימאלית כדי למנוע כל מגע של ראש השפעה עם פני השטח של צלחת החום. השתמש בתוכנה מתאימה כדי לשלוט על הבמה.
4. המירו את קובצי STL של מחזיק הסרט (קובץ משלים 1 וקובץ משלים 2) לקובצי gcode באמצעות תוכנה מתאימה להדפסת מחזיק הסרט במדפסת תלת ממדית (3d).
   הערה: התוכנה עשויה להשתנות עם המדפסת התלת-ממדית שבשימוש, וסביבות מסוימות עשויות לתמוך בסביבות מדפסת תלת-ממדית ללא המרת GCODE.
5. השתמש במדפסת התלת-ממדית כדי להדפיס את מחזיק הסרט בקובץ ה-GCODE.
   הערה: מומלץ להשתמש בחוט (לדוגמה, Z-ירכיך) מכיוון שהכיווץ הקטן יותר יתרחש בעת הדפסת חלקים גדולים, כגון מחזיק הסרט.
6. התקן שני מחזיקי סרטים על קצה צלחת החום ותקן את הסרט הפולימרי על מחזיק הסרט, כמוצג באיור 1. כדי להבטיח כי הסרט פולימר הוא שטוח על צלחת החום, למשוך את הסרט פולימר ככל האפשר באמצעות תנועה 1 של בעל הסרט (ראה איור 1ב). כדי להזיז את הסרט הפולימרי לצד, הזז את בעל הסרט דרך תנועה 2 (ראה איור 1ב).
   הערה: כדי לתקן את הסרט הפולימרי על בעל הסרט, מומלץ להשתמש בבורג. הדבק אינו מספיק כדי לצרף את הסרט פולימר על מחזיק הסרט, והוא הטוב ביותר עבור התנתקות של הסרט פולימר לאחר הניסוי הקרום.

2. ייצור מעגל הבקרה

הערה: תהליך זה מתאר את התהליך של בניית מעגל הבקרה של כותרת ההשפעה והשלב X-Z.

1. חבר את התקן הבקרה ששולח את האותות (ראה טבלת חומרים) לכותרת ההשפעה כדי לשלוט בו.
2. לאחר חיבור התקן הבקרה לכותרת הפגיעה, קלט-3 V ו-+10 V כאותות שליטה לתוך כותרת ההתנגשות.
   הערה: אם אות בקרה של +10 V נשלחת לכותרת ההשפעה (ראה איור 1), המשדר (ראש השפעה) יורד ונכנס למצב הפעלה. במצב זה, המונבר פוגע בסרט הפולימרי ומקברי את התבנית בסרט הפולימרי.
   1. הרימו את המונרים כדי לחרוט את התבנית הבאה לאחר חריטה על תבנית באמצעות מחבר הכותרת של כותרת ההשפעה. כדי להעלות את המשדר (ראש השפעה), החל את אות הבקרה 3 V.
      הערה: מתח שלילי מגיע לכותרת ההשפעה כדי למנוע מהמונע להיות ממוגנט על-ידי שטף השריד הפנימי של כותרת ההשפעה.
3. אם להתקן הבקרה אין אפשרות לספק אות שליטה מספקת, השתמש במגבר פעולה בעל צריכת חשמל גבוהה (לדוגמה, OP-AMP) אשר מגביר את אות הבקרה ~ 0 V – 5 V עד ~ 3 V – +10 v, כפי שמוצג באיור 2, כדי לשלוט בכותרת ההשפעה.
   1. ראשית, הכן ספק כוח DC של ערוץ כפול (ראה טבלת חומרים). לאחר שלב זה, לחבר ארבעה צמתים כדי לספק משותף הקרקע (GND) צמתים לכל הערוצים: מסוף מתח חיובי (V1 +) ו הקרקע (GND) מסוף ערוץ 1 ו מסוף מתח שלילי (V2-) והקרקע (GND) עבור ערוץ 2. דיאגרמת חיבור כוללת מוצגת באיור 2.
      הערה: בהתאם לשלב המתואר ב2.3.1, ניתן לספק מתח חיובי ושלילי עם ערכים מוחלטים שונים למגבר התפעולי (OP-AMP).
   2. חבר את מסוף המתח השלילי של ערוץ 1 (V1-) של ספק הכוח למסוף מתח החשמל השלילי (Vs-) של ה-OP-AMP, כפי שמצוין על-ידי הקו הכחול באיור 2. לאחר מכן, הקלט 3 V Vcc מתח לערוץ 1.
      הערה: לפי שלב 2.3.1, המתח 3 V וולט מסופק כ-3 מתח שלילי V למסוף המתח השלילי של אספקת החשמל (Vs-) של ה-OP-AMP.
   3. חבר את מסוף המתח החיובי של ערוץ 2 (V2 +) של ספק הכוח למסוף המתח החיובי של אספקת החשמל (Vs +) של ה-OP-AMP, כפי שמצוין בקו האדום באיור 2. לאחר מכן, קלט 10 V וולט מתח לערוץ 2.
      הערה: לפי שלב 2.3.1, המתח 10 V Cc מסופק כ + 10 V מתח חיובי מסוף מתח חיובי אספקת החשמל (Vs +) של ה-OP-AMP.
   4. חבר את ערוץ + הפלט של התקן בקרה (Vcon +) לערוץ הקלט החיובי (Vin +) של ה-OP-AMP, כפי שמוצג על-ידי הקו הירוק באיור 2.
   5. חבר את ערוץ הפלט של התקן בקרה (Vcon-) לקרקע (GND) של ערוץ 2 של ספק הכוח, כפי שמוצג על-ידי הקו השחור באיור 2.
      הערה: בעת חיבור (Vcon-) לקרקע (GND), ניתן לחבר אותו לאחד המסופים המחוברים במהלך שלב 2.3.1 בנוסף ל-GND של ערוץ 2.
   6. הכינו עמידות חשמלית של 1 kΩ ו -10 ערכי kΩ בכל מקרה וחברו בין הקו האדום לקו השחור, כפי שמוצג באיור 2.
   7. חבר את המסוף בין 1 kΩ ו-10 kΩ לערוץ הקלט השלילי של ה-OP-AMP (Vin-), כפי שמוצג על-ידי הקו הסגול באיור 2.
   8. משוך את הקווים מערוץ הפלט של אופ-AMP (Vout) ואחד המסופים החשמליים המתוארים בשלב 2.3.1. חבר את הקווים לכותרת ההשפעה, כפי שמוצג על-ידי הקו הכתום באיור 2.
   9. בנוגע לאספקת החשמל, קבע את המתח של ערוץ 1 – 3 Vcc וערוץ 2 – 10 Vcc. לאחר מכן, צור אותות שליטה של ~ 0 V – 5 V מהתקן הבקרה.
      הערה: שנוצר ~ 0 V – 5 בקרת V אותות יהיה מוגבר על ידי ה-OP-AMP כדי ~-3 v – +10 V, אשר הכרחי כדי לשלוט על כותרת ההשפעה כפי שמתואר בשלבים 2.2.1 ו 2.2.2.

3. עיצוב הניסוי

הערה: סעיף זה מתאר את התהליכים של שליטה בהתקן הבלטה מסוג ההשפעה החמה ודפוסי החריטה על הסרט הפולימרי.

1. התקן תוכנית בקרת שלב (לדוגמה, מיקרומטר) כדי לשלוט בשלב X ו-Z-stage באמצעות מחשב בקרה (PC).
2. התקן תוכנת מנהל התקן DAQ כדי לזהות את התקן הבקרה במחשב הבקרה השולט בכותרת ההשפעה ולהתקין תוכנית הפעלה (לדוגמה, MATLAB) כדי לשלוט בהתקן הבקרה.
3. לאחר התקנת התוכנה, לבנות את סביבת החומרה כפי שמוצג באיור 3א לנהל את הניסוי מפענח.
   1. התקן את שלב ה-X, שלב Z, כותרת ההשפעה, מחזיק הסרטים וצלחת החום כמוצג באיור 3א לבניית סביבת החומרה.
   2. לתקן את הסרט פולימר על מחזיק הסרט ולהתאים את המיקום של הסרט פולימר באמצעות תנועות 1 ו 2 (ראה איור 1ב) כדי לתקן את הסרט בזריזות.
      הערה: כדי לשמור על שטוח בסרט בזמן התאמת כיוון 2, המיקומים של שני מחזיקי הסרטים צריכים להיות מקבילים. כדי להפוך את הסרט לשטוח על צלחת החום, מומלץ לכוונן את מחזיק הסרט על-ידי הנמכת התנוחה לפי כיוון 1, כפי שמוצג באיור 1ב.
   3. לאחר תיקון הסרט פולימר, להתאים את הטמפרטורה של צלחת החום לחמם את הסרט מעל טמפרטורת המעבר זכוכית.
      הערה: לכל סוג של סרט יש טמפרטורת מעבר זכוכית משלו. לכן, מומלץ להתאים את הטמפרטורה של צלחת החום לטמפרטורה מעבר הזכוכית שלה לאחר בדיקת תכונות החומר של הסרט בגליון הנתונים המתאים.
4. לאחר הגדרת החומרה, מקם את מעגל הבקרה ביחד כמוצג באיור 3ב כדי לשלוט בשלב ובכותרת ההשפעה.
   1. הכן את המחשב, לוח הבקרה, ספק הכוח ו-OP-AMP כדי לבנות את סביבת הבקרה כמוצג באיור 3ב. חבר את ההתקנים כמוצג באיור 2 ולאחר מכן חבר את המחשב ללוח הבקרה.
   2. הזן את 3 Vcc ו 10 ערכי Vcc לתוך OP-AMP דרך ערוצים 1 ו-2 של ספק הכוח בהתאמה, כפי שמתואר בשלב 2.3.9.
5. שלוט בכותרת השלב וההשפעה באמצעות מחשב הבקרה.
   1. התאם את המיקום ההתחלתי של כותרת ההשפעה על-ידי שליטה בשלבי X ו-Z באמצעות תוכנית בקרת השלבים.
      הערה: בעת התאמת המיקום ההתחלתי של כותרת ההשפעה, ודא שאין התנגשות בין כותרת ההתנגשות לבין צלחת החום. אם המיקום של השלב Z הוא נמוך מדי, המונבר יהיה מתנגשים עם צלחת החום, נזק הן המונגם ואת צלחת החום. אם יש נזק לשני המכשירים, זה יהיה לעכב את יצירת דפוסים עדינים על חומר פולימרי.
   2. באמצעות תוכנית ההפעלה, צור אות בקרה של 5 V מהתקן הבקרה. על פי צעדים 2.3.1 – 2.3.9, OP-AMP יהיה להגביר את האות בקרת 5 V ל +10 V, להפוך את כותרת ההשפעה על, ולחרוט את דפוסי על הסרט פולימר.
   3. כעת צור אות בקרה של 0 V מהתקן הפקד באמצעות תוכנית ההפעלה. על פי השלבים 2.3.1 – 2.3.9, OP-AMP יהיה להגביר את אות הבקרה 0 V ל-3 V ולהפעיל את כותרת ההשפעה.
      הערה: מחדש של כותרת ההשפעה יהיה מוגבה, מחכה לקבור את התבנית החדשה.
   4. להעביר את השלב X לעמדה כדי לקבור את התבנית הבאה.
   5. אנגרייב דפוסי 3x על הסרט פולימר על ידי חוזר צעדים 3.5.1 – 3.5.4 ברצף.
   6. להוריד את Z-שלב 10 יקרומטר מהמיקום הראשוני ולבצע שלב 3.5.5, לספור את מספר המהלכים z-stage. כאשר מספר התנועות של שלב Z חורג משלוש, הזז את ה-X-stage למיקום ההתחלתי והרם את כותרת ההשפעה באופן מקסימאלי על-ידי הזזת שלב Z.
      הערה: שינוי גובה Z-stage יבטיח את ההתאמות בעומק וברוחב של תבנית הנקודה.
6. ניתוק הסרט הפולימרי ממחזיק הסרט ולמדוד את הרוחב והעומק של כל תבנית באמצעות מיקרוסקופ קונפוקלית וקד (ראה טבלת חומרים), כפי שמוצג באיור 4א.
   1. לפני תחילת תהליך המדידה, בחרו בערך ההגדלה של המיקרוסקופ והשתמשו במצב התצפית הישיר בתחילה כדי לכוונן את מיקום הסריקה של הסרט הפולימרי. לאחר התאמת המיקום באמצעות התבוננות ישירה, לתקן את הסרט פולימר ולשנות את מצב הסריקה למצב סריקת לייזר.
      הערה: כאשר משתמשים במיקרוסקופ הקונמוקד, מומלץ לתקן את המדגם, כפי שמוצג באיור 4ב.
   2. באמצעות מצב סריקת לייזר, למדוד את עומק ורוחב של דפוס הנקודה.
7. חזור על שלבים 3.3.2 – 3.6.2 לאחר שינוי סוג הסרט.
   הערה: בהתחשב בטמפרטורת המעבר זכוכית של כל סוג של סרט, להגדיר את הטמפרטורה של צלחת החום לפני הצבת כל סרט על צלחת החום. במחקר זה, טמפרטורת המעבר זכוכית של הסרט PVC הוא 100 ° c; עבור הסרט PMMA הוא 95 ° c, ועבור סרט PET הוא 75 ° c.

Results

תהליך הטבעה חמה של סוג ההדפסה הוא תהליך שניתן להשתמש בו כדי לחרוט תבניות נקודה בתוך סרט פולימרי בזמן אמת, כמוצג באיור 1. תהליך זה יכול לפתור את הבעיות של העלות הגבוהה והמועדים הארוכים עבור החלפת דוגמת מילוי המשויכת לתהליך ההבלטה החם הקיים. מעגל שליטה נבנה, כפי שמוצג באיור 2 (ראה שלבים 2.3 – 2.3.9), באמצעות DAQ, OP-AMP, ואספקת הכוח לגלף דפוסים על סוגים שונים של סרטים פולימריים על ידי יישום כותרת ההשפעה במהלך המבצע ביטול. ההשפעה המיושמת של תהליך הטבעה חמה של סוג ה...

Discussion

במחקר זה, אנו ליישם את ההשפעה השפעה להדפיס את התהליך הבלטה חם וחריטה נקודות עם רוחב שונים במעמקי על מגוון של סרטים פולימריים בזמן אמת. בין שלבי הפרוטוקול, יש להתייחס לשני צעדים בצורה קריטית בין כל השלבים. הראשון הוא ההגדרה של הטמפרטורה של צלחת החום (שלב 3.3.3), והשני הוא ההגדרה של המיקום הראשוני של כותרת ההשפעה (שלב 3.5.1). בשלב 3.3.3, אם הטמפרטורה של צלחת החום גבוהה מדי, זה הופך להיות קשה ליצור תבנית משום שהצמיגות של הסרט מעכבת את יצירת התבנית העדינה. מצד שני, אם הטמפרטורה של צלחת החום נמוכה מדי, התבנית אינה חקוקה בצורה...

Materials

List of materials used in this article

Name	Company	Catalog Number	Comments
0.3 מ"מ אריזה קשיחה שקופה באיכות גבוהה גליל סרט PVC ליצירת ואקום	Sunyo	SY1023	סרט PVC / עובי: 300 ומיקרו;
מ סרט אקריל (PMMA)	SEJIN TS	C200	PMMA סרט / עובי: 175 ומיקרו; m
מיקרוסקופ סריקת לייזר קונפוקלי: טופוגרפיה תלת מימדית לניתוח ובדיקת חומרים	Carl Zeiss	LSM 700	מיקרוסקופ קונפוקלי תלת מימדי / מצב תומך: 2D, 2.5D, טופוגרפיה תלת מימדית
לוח DAQ	NATIONAL INSTRUMENTS	USB-6211	לוח בקרה לשני שלבים וכותרת השפעה / 16 כניסות, 16 סיביות, 250kS/s, ספק כוח רב תכליתי I/O
DC	SMART	RDP-305AU	ספק כוח 3 ערוצים / מתח יציאה: 0 ~ 30V, זרם פלט: 0 ~ 5A
L511 שלב	PI	L511.20SD00	Z-stage / טווח נסיעה: 52 מ"מ
פלטת חימום דיגיטלית גדולה	DAIHAN Scientific	HPLP-C-P	פלטת חום / טמפ' מקסימלית: 350º
C M531 שלב	PI	M531.2S1	X-stage / טווח נסיעה: 306 מ"מ
סרטי PET פוליאסטר מיילר	CSHyde	48-2F-36	סרט PET / עובי: 50µ m
OPA2541	BURR-BROWN	OPA2541BM	OP-AMP / זרמי פלט: 5A, מתח יציאה: ± 40 וולט