11 בדצמבר 2014
אנו מדווחים כי ניתן להתגבר על מגבלת העקיפה של ליתוגרפיה אופטית קונבנציונלית על ידי ניצול המעברים של נגזרות פוטוכרומיות אורגניות הנגרמות על ידי הפוטואיזומריזציה שלהן בעוצמות אור נמוכות. 1-3 מאמר זה מתאר את טכניקת הייצור שלנו ושני מנגנוני נעילה, כלומר: פירוק של פוטואיזומר אחד וחמצון אלקטרוכימי.
המטרה הכוללת של הניסוי הבא היא לייצר ננו-מבנים תת-אורכי גל באמצעות טכניקה ליטוגרפית אופטית חדשה של פוטון יחיד. זה מושג על ידי מריחת שכבה של מולקולה פוטוכרומית על מצע סיליקון. כשלב שני, הדגימה מוקרנת באור אולטרה סגול באורך גל קצר, הממיר את איזומרי הטבעת הפתוחה לאיזומרים טבעתיים סגורים.
לאחר מכן, הדגימה מוארת בגל עומד כדי להמיר את המולקולות בחזרה לצורת הטבעת הפתוחה, למעט בסביבה הקרובה של הצמתים. על ידי רוויה אופטית של מעבר זה, המולקולות באיזומר הטבעת הסגורה נשארות באזור קטן בהרבה מגבול עקיפה של השדה הרחוק. לבסוף, הדגימה ממוקמת בממס קוטבי שבו איזומר הטבעת הסגורה מתמוסס בקצב מהיר יותר מאיזומר הטבעת הפתוחה המשאיר אחריו תוצאות טופוגרפיה בקנה מידה ננומטרי, המראות כי דפוס באמצעות מעברים אופטיים הניתנים לרוויה הוא טכניקת דפוס ננו אופטית חלופית להשגת תכונות תת-אורכי גל.
היתרונות העיקריים של טכניקה זו על פני שיטות קיימות כמו סריקת ליתוגרפיה של קרן אלקטרונים הם שדפוס באמצעות מעברים אופטיים יכול להיות מהיר יותר בסדרי גודל, לספק דפוס מדויק יותר ולהיות פשוט וזול יותר ליישום. מי שידגים את ההליך יהיה קאנטו היקר, סטודנט לתואר שני מהמעבדה שלי. פרוטוקול זה דורש שכל השלבים יבוצעו בחדר נקי מסוג 100 ומעלה.
כדי להכין את הדגימה לנעילת המסה, התחל עם פרוסת סיליקון בגודל 2 אינץ' שנוקה בתמיסת תחריט תחמוצת חוצצת ויובשה בחנקן יבש עם רקיק ביד, המשך לשלב האידוי התרמי. מעבדה זו משתמשת במאייד מותאם אישית בטמפרטורה נמוכה, טוענת את הוופל לתוך מחזיק דגימת המאייד, ולאחר מכן מרכיבה את המחזיק על המאייד. עבור פרוטוקול זה, סירת תחמוצת אלומיניום מולאה ב-30 מיליגרם של BTE.
טען את הסירה הזו למקור. ובכן של המאייד, המשך על ידי איטום יציאות התא ושאיבת התא ללחץ בסיס של 10 לשש השלילי. לאחר מכן Tor מאדה את ה-BTE בטמפרטורה מוגדרת של 100 מעלות צלזיוס בעובי סרט של כ-30 ננומטר.
מיד לאחר השלמת תהליך האידוי וניתן לפתוח את המערכת, שחרר את הדגימה. לאחר מכן קח אותו להעמיס אותו לתא כפפות עם סביבת חנקן ומנורת UV. כאן הדגימה נטענה לתא הכפפות.
בתא הכפפות. יש למקם את הדגימה מתחת לאור ה-UV לשיטפון תאורת שיטפון. האירו את הדגימה ב-UV למשך חמש דקות כדי להפוך את BTE לצורה הסגורה.
לאחר תאורת ה-UV, קח חלק מהדגימה לאפיון. עשה זאת על ידי שימוש בסופר יהלום להגדרת אזור קטן על ידי גירוד קו מקצה משטח הסיליקון. לאחר מכן תפוס את הוופל משני צידי הקו וכופף אותו כלפי מטה עד שהוא נשבר לאורך מישור הקריסטל.
החלק הקטן יותר ישמש לאפיון לאחר הוצאתו מתא הכפפות. קח את פיסת הדגימה הקטנה לפרופילומטר כדי לאמת את עובי סרט ה-BTE. כדי לבצע את המדידה השתמש בפינצטה עדינה כדי ליצור שריטה במשטח הוופל על הדגימה.
לאחר מכן מדוד את גובה המדרגה משריטה זו. לאחר מדידת עובי סרט BTE, חזור לדגימה בתא הכפפות כדי להכין אותה לחשיפה. עבודה באווירה האינרטית של תא הכפפות.
השתמש בסופר יהלומים כדי לבקע את הוופל ולנתק חתיכה לחשיפה. במקרה זה, היצירה היא בערך סנטימטר רבוע אחד. הניחו את היצירה הגדולה יותר בצד וקבלו מחזיק דגימה לאווירה אינרטית.
טען את דגימת החשיפה במחזיק המדגם. התכוננו להסיר את מחזיק הדגימה מתא הכפפות. כשהוא מוכן, הסר את מחזיק הדגימה מתא הכפפות על מנת לקחת אותו לאינטרפרומטר.
בתושבת האינטרפרומטר, מחזיק דגימת האטמוספירה האינרטית על שלב הדגימה. לאחר שהוא במקומו, חבר קו חנקן למחזיק הדגימה. פתח את היציאה במחזיק המדגם כדי לטהר את הדגימה בחנקן.
לאחר מכן סגור את היציאה. שמירה על קו החנקן במקומו. השתמש באינטרפרומטר כדי לחשוף את הדגימה לחשיפה הרצויה.
זמן לאחר החשיפה עם האינטרפרומטר, הסר את האטמוספירה האינרטית, מחזיק הדגימה והדגימה שלו. העבירו אותם בחזרה לתא הכפפות והניחו אותם בפנים. עם הדגימה בתא הכפפות, קבלו זכוכית נקייה המכילה 100 מיליליטר אתילן גליקול.
הסר את הדגימה החשופה מהמחזיק והנח אותה בכוס למשך זמן הפיתוח הרצוי. לאחר שחלף זמן הפיתוח, הסר את הדגימה מהביג. הוא יתייבש במהירות באווירת החנקן.
לאחר מכן, בהקדם האפשרי, הרכיב את הדגימה להארה באור UV וחשוף אותה למשך חמש דקות. זוהי תרשים של עובי השכבות המולקולריות לעומת זמן ההתפתחות של שתי הצורות של מולקולות BTE. הנתונים עבור הטופס הפתוח מחוברים בקו כחול.
הנתונים עבור הטופס הסגור מחוברים באמצעות קו אדום. התרשים מדגים את המסיסות הגבוהה יותר של מולקולת הצורה הסגורה בממיסים קוטביים. כדי לאסוף נתונים אלה, מחצית מהדגימה הומרה לטופס סגור והמחצית השנייה לטופס פתוח.
הדגימה פותחה באתילן גליקול למספר תקופות התפתחות שונות, ולאחר מכן נמדד עובי השכבה הנותרת באמצעות פרופילומטר. להלן תמונות מיקרוסקופ אלקטרונים סורקות של דגימות דפוס מחשיפות פיתוח בודדות שבוצעו באטמוספירה האינרטית מחזיק דגימה. גדלי התכונות הם 196 ננומטר, 160 ננומטר ו-85 ננומטר.
האחרון מתאים לרוחב קו של למבדה בקירוב. מעל 7.4. נתונים ממספר חשיפות מוצגים עם צלבים בתרשים של רוחב הקו לעומת זמן החשיפה.
לשם השוואה, העקומה הכחולה מייצגת חיזוי של מודל פשוט, בהנחה של תאורה סינוסואידית עם תקופה של 457 ננומטר, ושימוש בסף החשיפה כפרמטר המתאים היחיד. לאחר צפייה בסרטון זה, אתה אמור להבין היטב כיצד ליישם דפוס סופר רזולוציה באמצעות מעברים אופטיים.
צפו בתמליל המלא וקבלו גישה לאלפי סרטונים מדעיים
מחקר זה מציג טכניקה חדשנית של ליתוגרפיה אופטית של פוטון בודד ליצירת ננו-מבנים קטנים מאורך הגל. באמצעות שימוש במולקולות פוטוכרומיות ובאיזומריזציה שלהן, הטכניקה עוקפת את מגבלת הדיפרקציה של ליתוגרפיה אופטית קונבנציונלית.
דפוס באמצעות מעברים אופטיים רווים (POST) מאפשר ייצור של מאפיינים בסב-אורך גל באמצעות תגובות פוטון יחיד במולקולות פוטוכרומיות, ומציע חלופה בעוצמה נמוכה ובספיקת ייצור גבוהה לליתוגרפיה אופטית קונבנציונלית. גישה זו פותרת את מחסום גבול הדיפרקציה בדפוס ננו-סקאלי, ותומכת באבטייפ מהיר של ננו-מבנים למחקרי חומרים מתקדמים. על ידי ניצול איזומריזציה מולקולרית והמסה סלקטיבית, POST מספק נתיב יעיל מבחינה כלכלית ליצירת טופוגרפיות מדויקות על פני שטחים גדולים, הרלוונטיים לתהליכי גילוי בשלבים מוקדמים הדורשים שינויים ניתנים לשחזור של פני השטח בננו-סקאלה.
שיטת ה-POST משתלבת ברצף הגילוי על ידי כך שהיא מאפשרת הנדסת פני שטח לצורך תיקוף מטרות, הכנת מערכי בדיקה ופיתוח מודלים פרה-קליניים באמצעות יצירת ננו-טופוגרפיה מבוקרת.