שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה

6.9K צפיות

צוטט 1 פעמים

07:47 דק׳

12 בפברואר 2017

10.3791/54551-v

12 בפברואר 2017

6.9K צפיות

Shankar B. Rananavare¹ , Moshood K. Morakinyo²

¹Department of Chemistry, Portland State University, ²Logic Technology Department, Intel Corporation

באופן אחיד חלקיקים בגודל יכולים להסיר תנודות בממדי קשר חור בדוגמת פולי (methacrylate מתיל) (PMMA) סרטי photoresist על ידי קרן אלקטרונים (E-beam) ליתוגרפיה. התהליך כרוך תיעול אלקטרוסטטית חלקיקים במרכז הפקדה חורה קשר, ואחריו הזרמה מחדש photoresist ו פלזמה וצעדים רטוב-תחריט.