תרסיס בסיוע בתצהיר אדים כימיים של תחמוצת מתכת מבנים: תחמוצת אבץ מוטות

14K צפיות

צוטט 19 פעמים

06:39 דק׳

14 בספטמבר 2017

10.3791/56127-v

14 בספטמבר 2017

14K צפיות

Stella Vallejos¹^,² , Naděžda Pizúrová³ , Jan Čechal⁴ , Isabel Gràcia¹ , Carles Cané¹

¹Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), ²SIX Research Centre, Brno University of Technology, ³Institute of Physics of Material, Academy of Science of Czech Republic, ⁴Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology, Brno University of Technology

תחמוצת אבץ טורי מבנים בצורת מוטות הם מסונתז דרך בתצהיר אדים כימיים בסיוע תרסיס ללא השימוש של חלקיקי הזרז-זרע הפקיד מראש. שיטה זו היא מדרגית ותואמת סובסטרטים שונים על בסיס סיליקון, קוורץ או פולימרים.