הוכחת הרעיון עבור ממברנות גז-הראפ נגזר מהמים אוהבי מים2/Si/sio2 וופלים עבור התפלה ירוק
7.5K צפיות
•
צוטט 9 פעמים
•
09:39 דק׳
•
1 במרץ 2020
DOI :10.3791/60583-v
1 במרץ 2020
•7.5K צפיות
מוצג כאן הוא פרוטוקול החורגים למימוש ממברנות גז הראפ (אבני חן) מ SiO2/Si וופלים באמצעות טכנולוגיית מיקרו מעגלים משולבים. כאשר סיליקה-אבני חן שקועים במים, החדירה של מים נמנעת, למרות הרכב חובב מים של סיליקה.
Chapters in this video
0:05
Introduction
1:04
Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
3:28
Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
4:46
Etching and Final Cleaning
7:41
Results: Immersing Silica-GEMs in Water
9:02
Conclusion
Related Videos
זכויות יוצרים © 2026 MyJoVE Corporation. כל הזכויות שמורות.