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Articolo metodologico

Fabbricazione, il funzionamento e la visualizzazione del flusso in superficiali acustiche onda-driven Microfluidics Acoustic-controcorrente

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DOI:

10.3791/50524

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27 agosto 2013

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In questo articolo

Sommario

In questo video vengono descritti i processi di fabbricazione e di funzionamento delle onde acustiche di superficie (SAW), dispositivo controcorrente acustico. Abbiamo quindi dimostrare un apparato sperimentale che consente sia la visualizzazione del flusso analisi qualitativa e quantitativa dei flussi complessi all'interno del dispositivo di pompaggio SAW.

Abstract

Onde acustiche di superficie (SAW) possono essere usati per guidare liquidi in chip microfluidici portatili tramite il fenomeno acustico controflusso. In questo video vi presentiamo il protocollo di fabbricazione di un dispositivo controcorrente acustica SAW multistrato. Il dispositivo è fabbricato a partire da un niobato (LN) substrato di litio su cui due trasduttori interdigitali (IDT) e marcatori appropriati sono modellati. A (PDMS) canale polydimethylsiloxane gettato su uno stampo maestro SU8 è finalmente incollato sul substrato fantasia. Seguendo la procedura di fabbricazione, mostriamo le tecniche che permettono la caratterizzazione e funzionamento del dispositivo controflusso acustico per pompare liquidi attraverso la griglia canale PDMS. Abbiamo finalmente presentiamo la procedura per visualizzare il flusso di liquido nei canali. Il protocollo viene utilizzato per mostrare fluido on-chip di pompaggio sotto diversi regimi di flusso, quali il flusso laminare e le dinamiche più complesse caratterizzate da vortici e domini di accumulo di particelle.

Introduzione

Una delle continue sfide che la comunità microfluidica è la necessità di disporre di un meccanismo di pompaggio efficiente che può essere miniaturizzato per l'integrazione in sistemi micro-totale-analisi veramente portatili (μTAS di). Sistemi di pompaggio macroscopici normali semplicemente non riescono a fornire la portabilità richiesto per μTAS di, a causa della scalatura sfavorevole delle portate volumetriche come dimensione canale diminuisce fino alla gamma micron o inferiore. Al contrario, seghe hanno guadagnato crescente interesse come meccanismi attuatori fluide e appaiono come una strada promettente per la soluzione di alcuni di questi problemi 1,2.

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Protocollo

1. Fabbricazione di dispositivi

  1. Design a due delle maschere, la prima per patterning l'onda acustica di superficie (SAW) strato, e la seconda per il polidimetilsilossano (PDMS) stampo a microcanali.
    1. La prima fotomaschera ha una coppia di opposti trasduttori interdigitali (IDT), conosciuto anche come SAW linea-e delay marcatori per l'allineamento dei canali e riferimento spaziale durante microscopia. Nel nostro dispositivo di serie abbiamo IDTs singolo elettrodo con una larghezza dito p = 10 micron, apertura di 750 micron, e 25 coppie di dita dritte. La risultante IDT genera SAW con una lunghezza d'onda λ = 4 p

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Risultati

La Figura 2 mostra i risultati rappresentativi di test RF dispositivo che sono stati presi prima dell'incollaggio strato LN allo strato microcanali: tipico S 11 e S 12 spettri sono riportati in pannello a) e b), rispettivamente. La profondità della valle a frequenza centrale a S 11 spettro è correlata alla efficienza della conversione di potenza RF SAW in potenza meccanica. Quindi, per un numero fisso di coppie dito IDT, una riduzion.......

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Discussione

Una delle più grandi sfide per la comunità microfluidica è la realizzazione di una piattaforma di comando per i dispositivi point-of-care realmente portatile. Tra il micropumps integrato proposto 23, quelli basati su onde acustiche di superficie (SAW) sono particolarmente interessanti grazie alla loro capacità associate a concentrazione del liquido di miscelazione, atomizzazione e la particella e la separazione 4. In questo lavoro abbiamo dimostrato come fabbricare e utilizzare un dispositivo di la.......

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Dichiarazioni

Gli autori non hanno nulla da rivelare.

Ringraziamenti

Gli autori non hanno nessuno a riconoscere.

....

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Materiali

Elenco dei materiali utilizzati in questo articolo
NomeAziendaNumero di catalogoCommenti
Doppio lato lucido 128 gradi Wafer di niobato di litio YXCrystal Technology, LLC
Wafer di silicioSiegert Wafersche usiamo < 100>
IDT Maschera per litografia ottica con segni di allineamento (positivi)Qualsiasi fornitore 
Maschera per litografia ottica a canale (negativo)Qualsiasi fornitore
Fotoresist positivoShipleyS1818 
Rivelatore di fotoresist positivoMicropositMF319 
Fotoresist a tono negativoAllresistAR-N-4340 
Rivelatore di fotoresist a tono negativoAllresistAR 300-475 
Fotoresist a tono negativo spesso SU8MicrochemSU-8 2000 Series 
Sviluppatore di fotoresist a tono negativo spesso SU8 SviluppatoreMicrochemSU-8
EsadecanoSigma-AldrichH6703 
Tetracloruro di carbonio (CCl4)Sigma-Aldrich107344 
Ottadeciltriclorosilano (OTS)Sigma-Aldrich104817 
Acetone grado CMOSSigma-Aldrich40289 
2-propanolo grado CMOSSigma-Aldrich40301 
TitanioQualsiasi fornitore99,9% di purezza 
OroQualsiasi fornitore99,9% di purezza 
Kit dielastomeri siliconici PDMS Dow Corning Sylgard 184 con agente indurente 
Piastra di PetriQualsiasi venditore 
Strumento di carotaggio multiuso Harris Uni-Core con ID 5 mmSigma-AldrichZ708895Qualsiasi diametro superiore a 2 mm è adatto
Assorbitore acusticoTecnologie di pulizia fotonica Kitnormale di primo contatto...
RF-PCBQualsiasi fornitore 
SpinnerLaurell technologies corporationWS-400-6NPPÈ possibile utilizzare qualsiasi spinner
Allineatore per maschere UVKarl SussMJB 4È possibile utilizzare qualsiasi allineatore
Evaporatore termicoKurt J. LeskerNano 38È possibile utilizzare qualsiasi evaporatore termico, e-beam o sistema di sputtering
Oxygen plasmaasher Gambetti Kenologia SrlColibrìÈ possibile utilizzare qualsiasi macchina al plasma o RIE
CentrifugaEppendorf5810 RÈ possibile utilizzare qualsiasi centrifuga
Wire bonderKulicke Soffa4523ADÈ possibile utilizzare qualsiasi wire bonder se il PCB viene utilizzato senza connettori pogo
Misuratore dell'angolo di contattoKSVCAM 101È possibile utilizzare qualsiasi misuratore dell'angolo di contatto
Analizzatore di spettroAnristu56100AÈ possibile utilizzare qualsiasi analizzatore di spettro o di rete
Segnale RF generatoreAnristuMG3694AÈ possibile utilizzare qualsiasi generatore di segnale RF
Amplificatore RF ad alta potenzaMini CircuitsZHL-5W-1È possibile utilizzare qualsiasi amplificatore RF ad alta potenza
Sospensione a microsfereSigma-AldrichL3280A seconda dello scopo sperimentale, è possibile utilizzare diverse sospensioni di diverso diametro e diverse proprietà del materiale
Microscopio otticoNikonTi-EclipseÈ possibile utilizzare qualsiasi microscopio ottico con risoluzione spaziale che soddisfi scopi sperimentali
VideocameraBaslerA602-fÈ possibile utilizzare qualsiasi videocamera che abbia un frame rate e una sensibilità sufficienti per scopi sperimentali

Riferimenti

  1. Masini, L., Cecchini, M., Girardo, S., Cingolani, R., Pisignano, D., Beltram, F. Surface-acoustic-wave counterflow micropumps for on-chip liquid motion control in two-dimensional microchannel arrays. Lab on a Chip. 10 (15), 1997-2000 (2010).
  2. Travagliati, M., De Simoni, G., Lazzarini, C. M., Piazza, V., Beltram, F., Cecchini, M.

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Ristampe e permessi

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