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Qui, noi dimostrare i vantaggi del vibrometro di laser Doppler (LDV) sopra le tecniche convenzionali (l'analizzatore di rete), così come le tecniche per creare un filtro di basato sull'applicazione microelectromechanical systems (MEMS) e come usarlo in modo efficiente ( cioè, la capacità di messa a punto di ottimizzazione ed evitando sia guasto e attrito statico). LDV consente misurazioni cruciali che sono impossibili con l'analizzatore di rete, ad esempio superiore modalità rilevamento (applicazione di biosensore altamente sensibile) e la misurazione di risonanza per dispositivi molto piccoli (prototipazione rapida). Di conseguenza, LDV è stato utilizzato per caratterizzare la gamma di sintonizzazione di frequenza e la frequenza di risonanza alle diverse modalità dei filtri MEMS costruiti per questo studio. Questo meccanismo di regolazione frequenza ampia gamma si basa semplicemente sul riscaldamento dal riscaldatori incorporati e stress termico relativamente alto rispetto alla temperatura di un fascio fisso-fisso di Joule. Tuttavia, dimostriamo che un'altra limitazione di questo metodo è la sollecitazione termica alta risultante, che può bruciare i dispositivi. Ulteriore miglioramento è stato realizzato e mostrato per la prima volta in questo studio, in modo tale che la capacità di ottimizzazione è stata aumentata del 32% tramite un aumento nella tensione bias DC applicata (25 V a 35 V) tra i due fasci adiacenti. Questa individuazione importante Elimina la necessità per il Joule extra riscaldamento presso la più ampia gamma di sintonizzazione di frequenza. Un altro possibile guasto è attraverso attrito statico e l'esigenza di ottimizzazione della struttura: proponiamo una tecnica semplice e facile di applicazione di segnale onda quadra di bassa frequenza che può separare correttamente le travi ed elimina la necessità per i più metodi sofisticati e complicati, dati nella letteratura. I risultati di cui sopra richiedono una metodologia di progettazione, e quindi forniamo anche un design basato sull'applicazione.