Focused Ion Beams in Microfabrication

Focused ion beams are used in microfabrication and nano-fabrication. A focused ion beam, or FIB, is an instrument that can fabricate, trim, analyze, and characterize materials on micro- and nano-scales. These tools are used in many fields, from nano-electronics to medicine.

FIB systems work with ...

集束イオンビームは、マイクロおよびナノスケールの材料を製造、トリミング、分析、および特性評価するために使用できる装置です。集束イオンビームは、エレクトロニクスから医療まで幅広い分野で使用されています。

集束イオンビームシステムは、真空中で液体金属イオンを加速してビームを形成します。一連の電磁レンズを使用して、ビームを直径約10ナノメートルの領域に集束させることができます。集束イオンビームからのイオンがターゲットに当たると、ターゲット材料の一部がスパッタリングされます。

一次ビーム電流が低い場合、スパッタリングはほとんど発生せず、ビームをイメージングに使用できます。より高い電流では、表面原子が放出されます。これにより、サイトスペシフィックなスパッタリングやサンプル...