SEM Imaging of Conductive Samples

Scanning electron microscopy, or SEM, uses electrons to create detailed images of conductive samples. It is a powerful tool for seeing surface features at magnifications that are much higher than a traditional light microscope can reach. Modern light microscopes can reach about 1,000X, while a typical SEM can reach more than...

走査型電子顕微鏡(SEM)は、走査型電子ビームを使用してサンプルの表面構造と化学組成を分析する化学および材料分析で使用される強力な技術です。

現代の光学顕微鏡は、可視光波と物体との相互作用(回折と呼ばれる)によって制限されます。2つのオブジェクト間の最小の解決可能な距離、または横方向の解像度は、オブジェクトのサイズと比較した回折パターンのサイズによって異なります。その結果、光学顕微鏡の最大倍率は最大1,000倍、理想的な状況では最大200nmの横方向の分解能を備えています。

SEMは、光ではなく電子ビームを使用するため、回折に制限されません。したがって、SEMはサブナノメートルの横方向の分解能で最大100万Xの倍率に達することができます。さらに、SEMは、光学顕...