33.11
光学顕微鏡は可視光線を使用して物体を照らし、そのレンズは画像を最大2000倍に拡大できます。電子顕微鏡は、光の代わりに非常に短い波長の電子ビームを使用するため、物体の倍率を2000万〜5000万倍にすることができます。
電子を放出するフィラメントで電子ビームを生成し、静電レンズと電磁レンズでビームを試料に集束させます。電子顕微鏡の内部環境は、空気分子が電子ビームを偏向させる可能性があるため、真空下で維持されます。
電子ビームがサンプルとどのように相互作用するかによって、電子顕微鏡は透過型電子顕微鏡(TEM)と走査型電子顕微鏡(SEM)の2種類に分けられます。
TEMでは、電子は薄いサンプルを透過し、2D画像を生成するために使用されます。電子ビームが試料を通過すると、TEMを使用してその内部組成と構造に関する情報を取得できます。
SEMでは、電子ビームがサンプルの表面をスキャンし、反射した電子を使用して、表面の3Dトポグラフィーと組成に関する情報を生成します。
可視光の波長は、光学顕微鏡によって作成される画像の理論上の最大解像度を最終的に制限します。 ほとんどの光学顕微鏡は 1000 倍までしか拡大できませんが、最大 1500 倍まで拡大できるものもあります。 電子は、電磁放射と同様、波のように振る舞うことができますが、波長 0.005 nm では、可視光…
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