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DOI: 10.3791/50738-v
Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.
This article presents a technique for removing Ni/Au contact metal films from their substrate, enabling the examination of contact/substrate and contact/nanowire interfaces in single GaN nanowire devices.
技術は、単一のGaNナノワイヤーデバイスの接触/基板とコンタクト/ NWインタフェースの検査と特徴付けを可能にするために、それらの基質からのNi / Auのコンタクト金属膜を除去するように開発された。
この手順の全体的な目標は、単一窒化ガリウムナノワイヤデバイスの接触基板および接触ナノワイヤ界面の検査と特性評価を可能にすることです。これは、最初にナノワイヤ懸濁液を調製し、それを基板上に分散させることによって達成されます。2番目のステップは、ニッケル金接点をナノワイヤーに堆積させ、次にサンプルをひざまずかせることです。
最後のステップは、アナルとニッケル金の接点をカーボンテープに接着して、基材から取り除くことです。最終的には、走査型電子顕微鏡を使用して、ボイド形成の接触界面を調べます。この方法は、半導体ナノワイヤの加工方法に関する質問に答えるのに役立ちます。
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