Name: 光可飽和遷移を経由してパターニング - 作製と特性評価 (動画) | JoVE Journal
Uploaded: 2014-12-11T14:00:00.000+00:00
Duration: 8 min 19 s
Description: 学ぶ光可飽和遷移を用いた単一光子光学リソグラフィーによるサブ波長ナノ構造の作製法。フォトクロミック分子の異性化を利用し、回折限界を克服してナノスケールパターニングを実現する革新的技術です。

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Michael Knutson、Paul Hamric、Greg Scott、Chris Landesに感謝します。カスタム不活性雰囲気サンプルホルダーに関する有益な議論と支援、そしてユタ大学の学生機械工場での支援について。 P.C.が助成金No.0750758の下でNSF GRFPを承認。 P.C.がUniversity of Utah Nanotechnology Training Fellowshipを承認。 R.M.がNSF CAREER Award No. 1054899とUSTAR Initiativeからの資金提供を承認。

注：クリーンルームクラス100条件またはより良い下のすべての次の手順を実行します。 1.サンプルの調製<ol><li> （：有害な化学物質注意 ）2分間の緩衝酸化物エッチング（BOE）溶液（6部40％のNH 4 Fと1部の49％HF）との2「直径のシリコンウエハーを清掃してください。表面上の任意の有機物や汚染物質を除去する。このエッチング時間を選択してください。約5分間、脱イオン（DI）水で洗い流してください。乾燥N 2とドライウェハ。 注：HFを使用しているとき人で作業しないでください。常に流出の場合のフェイスシールドと個人用保護具（P​​PE）と目の保護を身に着けている。エッチングを行う実験室での使用とHF廃棄物の処理のためのポストのガイドライン。 注：1.2〜1.7にのみ電気化学ロッキングためのものであるが、手順。解散を経由してロックを実行した場合は、ステップ2に進みます。 </li><li>作用電極を置くクリーン直径2 &quot;のケイに白金（Pt）を100nmスパッタするためにウェハ上。 </li><li>白金薄膜をエッチングする前に、以前のドライ·エッチングから任意の不純物や余ったフォトレジストのRIE室を清掃してください。 </li><li>トルが達成される1×10 -5のベース圧力までチャンバをポンプダウン。 RF電力が200 Wに設定され、酸素とアルゴンのための流量がそれぞれ50 SCCMと10 SCCMに設定されていることを確認してください。 AR / O 2プラズマを点火し、少なくとも1時間のために実行。 </li><li> AR / O 2プラズマをオフにして、チャンバーは約10分間のベントが可能。 </li><li>白金薄膜の表面をエッチングするために、RIEチャンバ内にサンプルをロードし、1×10 -5 Torrのベース圧力までチャンバをポンピングする。この時間は、0sccmのアルゴン流量を設定する。 O 2プラズマを点火し、このプロセスは、30分間実行してみましょう。 </li><li> O 2プラズマをオフにして、チャンバーを10分間通気しましょう。 </li></ol>カスタムLを使用して、フォトクロミック分子の2。熱蒸発OW温度蒸発器（LTE） <ol><li> BTEの30 mgののAlO 2ボートを記入し、カスタムのLTE源（ 図6）にロードする。 </li><li>サンプルにロードシリコンウエハをマウントします。 </li><li>シール室ポートとポンプ室1×10 -6 Torrのベース圧力まで。 </li><li> 30nmの膜厚で、100℃の設定温度でBTEを蒸発させる。 </li><li>すぐに蒸発した後に、洪水が閉じた形、1cにBTE材料を変換するために、UVの5分にサンプルを照らす。 </li><li>サンプルサイズを定義するために、シリコン表面の縁からラインに傷を付け、ダイヤモンドスクライブを用いてウエハの小片を切断する。スクラッチ線の両側上のウエハをつかみ、それが結晶面に沿って破断するまで下方向にウェハを曲げる。 </li><li> BTEの薄膜の厚さを検証するためにプロフィル測定を行う。これを行うには、細かいエッジピンセットを使用してサンプルを傷つける。あちこちにステップ高を測定します左右のカーソルの位置との間の高さの差であり、この傷を、メートル。 NOTE：膜厚の不正確さは、露光量の矛盾をもたらすであろう。 </li><li> N 2満たされたグローブボックス内に保管して残りのサンプル。 </li></ol> 3.エクスポージャー注：サンプルの分解を防ぐために不活性雰囲気条件の下ですべてのエクスポージャーを実行します。 <ol><li>ステップ2.6において概説されているのと同じ手順に従って、サンプルを切断する。 </li><li>不活性雰囲気のサンプルホルダーにサンプルをロード。 </li><li>ステージ上の不活性試料ホルダーをマウントします。 N 2でパージサンプル。 </li><li>このような、図8に示すように、干渉計を用いて所望の露光時間にサンプルをさらす。 </li></ol>三電極セルを使用して、4。電気化学的酸化注：サンプルの劣化を防ぐために、不活性雰囲気条件下で電気化学を実行する。 <ol><li>ホットプレートの上にきれいなガラスバイアルをクランプ。バイアル中のきれいな撹拌棒を置きます。攪拌機の電源をオンにします。 </li><li>メタノールを使用して新しい銅クリップを清掃してください。メタノールの白金対極を清掃してください。 </li><li>清浄な銅クリップを使用して、テフロンバイアルキャップの穴のいずれかを使用してサンプルをクリップする。唯一の暴露プラチナ上にクリップすることを確認してください。 </li><li>バイアルにテフロンバイアルキャップを置きます。試料を保持する銅クリップ上に白金対電極と黒のリード線上に赤のリードをクリップ。 </li><li>クリーンなシリンジを用いて、テフロンバイアルキャップにおける第2の穴に通して濾過し、脱イオン（DI）水を有するバイアルを充填する。サンプルの塗装されていないプラチナのいずれかを浸漬せずに高い記入してください。 </li><li> 3-5分間水を通してバブル窒素。窒素をオフにします。 </li><li>テフロンバイアルキャップで第2の穴に参照電極を配置します。基準電極上に白のリードをクリップ。裸のプラチナoのがないことを確認しを確認n個のサンプルは浸漬される。 </li><li> voltammographを使用して、0.5 V /秒に酸化電圧を設定します。 </li><li>所望の酸化時間が経過した後、voltammographオフに電源を入れてください。 </li><li>白金対電極、銅クリップ、および基準電極から、赤、黒、白のクリップを削除する。 </li><li> 5分間UVにサンプルを公開します。 </li></ol> 5.サンプル開発-電気ロック 注：サンプルの劣化を防ぐために、不活性雰囲気条件下で開発を行います。 <ol><li>ろ過5（重量％）のイソプロパノール中のサンプルを開発、所望の時間のための95（重量％）のエチレングリコール。注：80nmの試料を、60〜180秒のために開発されている間に一般的に50nmの試料を、30〜60秒のために開発されている。 </li><li>乾燥N 2で乾燥サンプル。 </li><li>すぐにUVの5分にサンプルを公開します。 </li></ol> 6.サンプル開発-解散のロック </eM&gt; 注：サンプルの劣化を防ぐために、不活性雰囲気条件下で開発を行います。 <ol><li>きれいなガラスビーカー中のエチレングリコールを100mlを使用して、所望の現像時間で露光されたサンプルを開発する。 </li><li>乾燥N 2で乾燥サンプル。すぐにUVの5分にサンプルを公開します。 </li></ol> 7.多重露光<ol><li>多重露光を行う場合には光学系に対する試料の翻訳を手順3-6を繰り返します。 </li></ol>

<ol><li>Brimhall, N., Andrew, T. L., Manthena, R. V., Menon, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Breaking+the+far-field+diffraction+limit+in+optical+nanopatterning+via+repeated+photochemical+and+electrochemical+transitions+in+photochromic+molecules%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Breaking the far-field diffraction limit in optical nanopatterning via repeated photochemical and electrochemical transitions in photochromic molecules.</a> Physical Review Letters. 107 (20), 205501(2011).</li>
<li>Cantu, P., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Subwavelength+nanopatterning+of+photochromic+diaryethene+films%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">Subwavelength nanopatterning of photochromic diaryethene films.</a> Applied Physics Letters. 100 (18), 183103(2012).</li>
<li>Cantu, P., Andrew, T. L., Menon, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Nanopatterning+of+diarylethene+films+via+selective+dissolution+of+one+photoisomer%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">Nanopatterning of diarylethene films via selective dissolution of one photoisomer.</a> Applied Physics Letters. 103 (17), 173112(2013).</li>
<li>Abbe, E. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Beitr%C3%A4ge+zur+Theorie+des+Mikroskops+und+der+mikroskopischen+Wahrnehmung%5BTitle%5D)+AND+%22Archiv+f%C3%BCr+mikroskopische+Anatomie%22%5BJournal%5D)">Beiträge zur Theorie des Mikroskops und der mikroskopischen Wahrnehmung.</a> Archiv für mikroskopische Anatomie. 9 (1), 413-418 (1873).</li>
<li>Li, L., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Achieving+%CE%BB%2F20+resolution+by+one-color+initiation+and+deactivation+of+polymerization%5BTitle%5D)+AND+%22Science%22%5BJournal%5D)">Achieving λ/20 resolution by one-color initiation and deactivation of polymerization.</a> Science. 324 (5929), 910-913 (2009).</li>
<li>Fischer, J., von Freymann, G., Wegener, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((The+materials+challenge+in+diffraction-unlimited+direct-laser-writing+optical+lithography%5BTitle%5D)+AND+%22Advanced+Materials%22%5BJournal%5D)">The materials challenge in diffraction-unlimited direct-laser-writing optical lithography.</a> Advanced Materials. 22 (32), 3578-3582 (2010).</li>
<li>Mirkin, C. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Beam+pen+lithography%5BTitle%5D)+AND+%22Nature+Nanotechnology%22%5BJournal%5D)">Beam pen lithography.</a> Nature Nanotechnology. 5, 637-640 (2010).</li>
<li>Xie, X., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Manipulating+spatial+light+fields+for+micro-+and+nano-photonics%5BTitle%5D)+AND+%22Physica+E%3A+Low-dimensional+Systems+and+Nanostructures%22%5BJournal%5D)">Manipulating spatial light fields for micro- and nano-photonics.</a> Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures. 44, 1109-1126 (2012).</li>
<li>Leroy, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((High-speed+metal-insulator+transition+in+vanadium+dioxide+films+induced+by+an+electrical+pulsed+voltage+over+nano-gap+electrodes%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">High-speed metal-insulator transition in vanadium dioxide films induced by an electrical pulsed voltage over nano-gap electrodes.</a> Applied Physics Letters. 100 (21), 213507(2012).</li>
<li>Carr, D., Sekaric, L., Craighead, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Measurement+of+nanomechanical+resonant+structures+in+single-crystal+silicon%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Vacuum+Science+%26+Technology+B%22%5BJournal%5D)">Measurement of nanomechanical resonant structures in single-crystal silicon.</a> Journal of Vacuum Science & Technology B. 16 (6), 3821-3824 (1998).</li>
<li>Wilhelmi, O., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Rapid+prototyping+of+nanostructured+materials+with+a+focused+ion+beam%5BTitle%5D)+AND+%22Japanese+Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Rapid prototyping of nanostructured materials with a focused ion beam.</a> Japanese Journal of Applied Physics. 47 (6), 2010-5014 (2008).</li>
<li>Hell, S. W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Far-field+optical+nanoscopy%5BTitle%5D)+AND+%22Science%22%5BJournal%5D)">Far-field optical nanoscopy.</a> Science. 316 (5828), 1153-1158 (2007).</li>
<li>Chou, S. Y., Krauss, P. R., Renstrom, P. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Nanoimprint+lithography%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Vacuum+Science+%26+Technology+B%22%5BJournal%5D)">Nanoimprint lithography.</a> Journal of Vacuum Science & Technology B. 14, 4129(1996).</li>
<li>Guillemette, M. D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface+topography+induces+3D+self-orientation+of+cells+and+extracellular+matrix+resulting+in+improved+tissue+function%5BTitle%5D)+AND+%22Integrative+Biology%22%5BJournal%5D)">Surface topography induces 3D self-orientation of cells and extracellular matrix resulting in improved tissue function.</a> Integrative Biology. 1 (2), 196-204 (2009).</li>
</ol>

著者らは開示するものは何もない。

光飽和遷移(POST)によるパターニングの製造、実験セットアップ、および関連する操作手順について説明しました。POSTは、熱的に安定したフォトクロミック分子の線形スイッチング特性を利用することで、遠方界回折限界を回避するための新しい視点を提供します。1-2,4
以前のサンプルの長期保存要件は、最初の蒸発直後にサンプルをN2下に保存することで解決されました。2 ただし、 図3 および 5の回折格子で明らかな有意な線端粗さは、空気の存在下で 1c の酸化生成物が形成されたことが原因である可能性があります。2 パターンの均一性を向上させるには、露光および現像プロセスを不活性雰囲気下で実施する必要があります。周囲条件で行われる曝露に対処するために、カスタムの不活性雰囲気サンプルホルダーが設計および製造されました。サンプルホルダーは、空気に敏感なBTEを密閉型( 1c )...

光リソグラフィは、ナノスケール構造およびデバイスの製造において極めて重要である。増加した小説リソグラフィ技術の進歩は、新規のデバイスの新世代を可能にする機能を備えています。この記事では8-11、レビューは小説photoswitchable分子を用いたディープサブ波長分解能を達成光学リソグラフィ技術のクラスで提示されている。このアプローチは、光学-可飽和トランジションズ（POST）を介してパターニングと呼ばれている。1-3 POST一意フォトクロミック分子の光学遷移を飽和のアイデアを組み合わせた新規なナノ加工技術、特に（1,2-ビス（5,5&#39;-ジメチル-2,2&#39;-ビチオフェンイル））perfluorocyclopent -1-エンである。口語的に、この化合物は、それラーグのための強力なツールとなる干渉リソグラフィを用いて、そのような誘導放出枯渇（STED）顕微鏡12で使用されるようなBTE、 図1と呼ばれ2位と3次元への潜在的な拡張子を持つ多様な表面の上に深いサブ波長機能の電子面積並列ナノパターニング。 フォトクロミック層はもともと1均一な状態である。この層は、λ1の一様な照明に曝されると、第2の異性体の状態（1c）は 、 図2に変換する。次いで、サンプルは、最初の異性体の状態にサンプルを（変換λ2、に集中ノードにさらされている1O）どこでもノードの近く付近で除く。露光量を制御することにより、未変換領域の大きさは任意に小さくすることができる。異性体の1つのその後の定着工程は、選択的かつ不可逆的にパターンをロックする（黒で）3 番目の状態（ロック状態）に変換することができる。次に、層は、元の状態に戻しロックされた領域以外のすべてを変換するλ1、一様にさらされている。ザ·ステップの順序は、その間隔が遠視野回折限界以下の2つのロックされた領域で、その結果、光学系に対する試料の変位を繰り返してもよい。したがって、任意の幾何学的形状は、「ドットマトリックス」方式でパターニングしてもよい。1-3

<table><tbody><tr><td>イソプロパノール</td><td>フィッシャーサイエンティフィック</td><td>P / 7500 / 15</td><td>注意:可燃性で、換気を良くし、すべての発火源を避けてください。</td></tr><tr><td>緩衝酸化物エッチング</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>メタノール</td><td>リッカケミカル</td><td>48-293-2&nbsp;</td><td>注意:可燃性で、換気を良くし、すべての発火源を避けてください。</td></tr><tr><td>エチレングリコール</td><td>Sigma-Aldrich</td><td>324558</td><td>注意:飲み込むと有害</td></tr><tr><td>シリコンウェーハ</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>ダイヤモンドスクライブ</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>ガラスビーカー</td><td></td><td></td><td></td></tr><tr><td>ピンセット</td><td>テッドペラ</td><td>5226</td><td></td></tr><tr><td>反応性イオンエッチングシステム</td><td>オックスフォード</td><td>プラズマラボ 80 プラス</td><td></td></tr><tr><td>不活性雰囲気サンプルホルダー</td><td>独自の自社設計</td><td></td><td></td></tr><tr><td>偏光ビームスプリッターキューブ</td><td>Thorlabs</td><td>PBS052</td><td></td></tr><tr><td>HeNe Laser</td><td>Melles Griot</td><td>25-LHP-171</td><td>注意: 安全メガネを着用してください</td></tr><tr><td>半波長板</td><td>Thorlabs</td><td>WPH05M-633</td><td></td></tr><tr><td>熱蒸発器</td><td>独自の社内設計</td><td></td><td></td></tr><tr><td>TMVスーパーTM</td><td>真空製品</td><td>TMVスーパー</td><td></td></tr><tr><td>ボルタモグラフ</td><td>バイオアナリシスシステム</td><td>CV-37</td><td></td></tr><tr><td>短波UVランプ365&nbsp;nm</td><td>UVP Analytik Jena Company</td><td>UVGL-25</td><td>注意: UV安全メガネを着用してください</td></tr></tbody></table>

光可飽和遷移を経由してパターニング - 作製と特性評価

Patterning via Optical Saturable Transitions - Fabrication and Characterization

このプロトコルは、Patterning via Optical Saturable Transitions（POST）と呼ばれる新しいナノリソグラフィー技術を使用して、ナノ構造体の作製と特性評価を説明しています。この手法では、単一光子反応を起こす有機フォトクロミック分子の化学的性質を利用し、低光強度で広い領域に迅速なトップダウンナノパターニングを可能にし、それにより遠方場回折障壁の回避を可能にします。4 2光子重合5,6、ビームペンリソグラフィー(BPL)7、走査型電子ビームリソグラフィー(SEBL)、集束イオンビーム(FIB)パターニングなど、ナノパターニングに代わるシンプルで費用対効果の高い高スループットおよび高分解能の代替手段が検討されています。ただし、多光子アプローチでは高い光強度が必要なため、高スループットの可能性が制限され、画像のコントラストが低くなります。電子ビームおよびイオンビームリソグラフィープロセスでは解像度が向上しますが、プロセスのシリアル特性は描画速度が遅いことに限定されるため、広い領域での特徴のパターン化も防止されます。ビームペンリソグラフィーは、並列近接場光リソグラフィーに向けたアプローチです。しかし、ビームの光源とフォトレジストの表面との間のギャップは、良好なパターン均一性のために非常に正確に制御する必要があり、これは大規模なビームアレイで達成するのが非常に困難です。Optical Saturable Transitions(POST)によるパターニングは、サブ波長の特徴1-3をパターニングするための代替の光ナノパターニング技術です。この手法は電子の代わりに単一光子を使用するため、非常に高速で、高い光強度1〜3を必要とせず、大規模な並列化への扉を開きます。

作製した試料： サイクリックボルタンメトリーから求め0.85 Vの酸化電圧で図3の原子間力顕微鏡写真で示すように異なる酸化時間を特徴付けた。厚さ50nmのフィルムは0.95ミリワット/ cm 2の電力密度で60秒周期400nmのλ= 647 nmでの定在波に曝した。酸化時間は、25分まで10分から増加するにつれて1oとから成る領域のいくつかは同様に酸化し始めるように、1つは明らかにコントラストの損失を見ることができる。現像液（5（重量％）のイソプロパノール：95（重量％）エチレングリコール）は、すべての酸化された部分を溶解する。大きな酸化時間が不均一線と、現像後の増大した表面の不均一性をもたらす。したがって、酸化条件の注意深い選択は、高品質のナノ構造をパターニングするために重要である。2 閉じた形の高い双極子モーメント分子、1cは 、開いているフォ...

従来の光リソグラフィーの回折限界は、低光強度での光異性化によって誘起される有機フォトクロミック誘導体の遷移を利用することで克服できることを報告します。1-3 本稿では、1つの光異性体の溶解と電気化学的酸化という2つのロッキングメカニズムと、その作製技術について概説する。

This protocol describes the fabrication and characterization of nanostructures using a novel nanolithographic technique called Patterning via Optical ...

本実験の目的は、新しい単一光子光リソグラフィー技術を用いて、サブ波長ナノ構造を作製することです。まず、シリコン基板上にフォトクロミック分子の層を塗布します。次に、試料に短波長の紫外線光を照射し、開環異性体を閉環異性体へと変換させます。次に、定在波で試料を照射し、節の近傍を除いて分子をオープンリング形態に戻します。この遷移を光学的に飽和させることにより、クローズドリング異性体の分子は、遠視野回折限界よりもはるかに小さい領域に留まります。最後に、試料を極性溶媒に浸すと、クローズドリング異性体はオープンリング異性体よりも速い速度で溶解し、ナノスケールのトポグラフィー結果が得られます。これにより、光学飽和遷移によるパターニングが、サブ波長の特徴を得るための代替的な光学ナノパターニング技術であることが示されます。走査電子ビームリソグラフィーのような既存の手法に対する本手法の主な利点は、光遷移によるパターニングが桁違いに高速であること、より精密なパターニングが可能であること、そして実装がより簡便かつ低コストであることです。本手順の実演は、私の研究室の大学院生であるprecious Cantuが行います。本プロトコルでは、すべての工程をクラス100以上のクリーンルームで実施する必要があります。溶解ロックのためのサンプルを調製するには、まずバッファード酸化エッチング溶液で洗浄し、乾燥窒素で乾燥させた2インチのシリコンウェハを用意します。ウェハを手にした状態で、熱蒸着ステップに進みます。本ラボではカスタムの低温蒸着機を使用します。ウェハを蒸着機のサンプルホルダーにロードし、ホルダーを蒸着機に取り付けます。本プロトコルでは、アルミナボートに 30 milligrams の BTE を充填しています。このボートを蒸着源にセットします。蒸着機のウェルに入れ、チャンバーのポートを密閉して、ベース圧力が10⁻⁶ Torrになるまでチャンバー内を排気します。その後、設定温度100 °CでBTEを蒸着し、膜厚を約30 nmにします。蒸発工程が完了し、システムを開封できるようになった直後にサンプルを取り外します。その後、窒素雰囲気およびUVランプを備えたグローブボックスにサンプルをロードします。ここでは、サンプルがグローブボックス内にロードされた状態を示しています。グローブボックス内での操作です。サンプルをUVライトの下に配置し、全面照射できるようにします。サンプルに5分間UVを照射し、BTEを閉環体へと変換させます。UV照射後、特性評価を行うために試料の一部を採取します。ダイヤモンドスクライバーを用いて、シリコン表面の端から線を引くことで小さな領域を画定してください。次に、線の両側でウェハーを掴み、結晶面に沿って折れるまで下向きに曲げます。小さい方の部分は、グローブボックスから取り出した後に特性評価に使用します。サンプルの小さな破片をプロフィロメーターに掛け、BTE膜の厚さを検証します。測定を行うには、微細ピンセットを使用して、サンプルのウェハ表面にスクラッチを付けます。次に、このスクラッチから段差高さを測定します。BTE膜厚の測定後、露光準備を行うため、サンプルをグローブボックスに戻します。作業はグローブボックス内の不活性雰囲気下で行ってください。ダイヤモンドスクライバーを使用してウェハーを劈開し、露光用の破片を切り出します。ここでは、約1平方センチメートルの破片を使用します。大きな方の破片は保管し、不活性雰囲気試料ホルダーを用意します。サンプルホルダーに曝露サンプルをロードします。サンプルホルダーをグローブボックスから取り出す準備をしてください。準備が整ったら、干渉計へ運ぶためにサンプルホルダーをグローブボックスから取り出します。干渉計のマウントにあるサンプルステージ上の不活性雰囲気サンプルホルダーを確認します。所定の位置に配置した後、サンプルホルダーに窒素ラインを接続します。サンプルホルダーのポートを開き、窒素でサンプルをパージしてください。その後、ポートを閉じます。窒素ラインはそのままにしておきます。干渉計を用いて、サンプルに目的の露光量で露光させます。干渉計による曝露後、不活性雰囲気、サンプルホルダーおよびサンプルを取り出します。これらをグローブボックスまで運び、内部に配置します。サンプルをグローブボックスに入れた状態で、100 millilitersのエチレングリコールが入った清潔なガラスビーカーを用意します。露光したサンプルをホルダーから取り出し、所定の現像時間に合わせてビーカーに入れます。現像時間が経過したら、サンプルをビーカーから取り出します。サンプルは窒素雰囲気中で速やかに乾燥します。その後、速やかに試料をUV光照射用にセットし、5分間露光します。これは、2種類のBTE分子における分子層の厚さと現像時間の関係を示したグラフです。オープンフォームのデータは青い線で結ばれています。閉環型のデータは赤線で結ばれています。このプロットは、極性溶媒における閉環型分子のより高い溶解性を示しています。このデータを収集するために、サンプルの半分を閉環型に、もう半分を開環型に変換しました。サンプルをエチレングリコール中で異なる現像時間で現像し、その後、プロフィロメーターを用いて残った層の厚さを測定しました。ここでは、不活性雰囲気サンプルホルダーを用いて単一の現像露光を行ったパターンサンプルの走査電子顕微鏡画像を示します。フィーチャーサイズは196 nanometers、160 nanometers、および85 nanometersです。最後の方は、線幅がおよそlambdaに相当します。7.4において、数回の露光から得られたデータを、線幅対露光時間のプロットに十字マークで示しています。比較として、青色の曲線は、周期 457 nanometers の正弦波入射照明を想定し、露光閾値を唯一のフィッティングパラメータとして使用した単純なモデルによる予測を示しています。このビデオを視聴することで、光学的な不可逆遷移を介した超解像パターニングの実装方法について十分に理解できるはずです。

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光学的に透明な酸化インジウムスズ電極上にパターニングセル

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はSiO：フォトリソグラフィによって画定されたパリレン-C上の細胞のパターニング<sub&gt; 2</sub&gt;基板

パラメトリック光機械励起は、最近、光放射圧力と誘導ブリルアン散乱によって、マイクロ流体光機械共振器で実験的に実証されました。この論文では、これらのマイクロ流体共振器の作製と、オプトメカニカル振動の生成と検証の方法論について説明します。...

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液滴マイクロ流体における多色蛍光検出には、通常、かさばる複雑な落射蛍光顕微鏡ベースの検出システムが含まれます。ここでは、単一の光検出器によって収集されたマルチカラーデータを時間的にエンコードするために、光ファイバーのアレイを利用するコンパクトでモジュール化されたマルチカラー検出スキームについて説明します。...

光ファイバを用いて、液滴マイクロフルイディクスのための多色蛍光検出

我々は、フェムト秒レーザー誘起アブレーションを使用して、サブ波長直径のシリカファイバ（光ナノファイバー）の1-Dフォトニック結晶空洞を製造するためのプロトコルを提示します。...

フェムト秒レーザー誘起アブレーションを用いたナノファイバー上の1次元フォトニック結晶共振器の作製

光の組織ファントムは、校正と光学イメージング システムの評価と理論モデルの検証の基本ツールです。この記事は、組織の光学特性と...

マクロを含む光の組織ファントムの作製と評価

ここでは、提案する、柱状の光励起分子中の局所構造の変形の観察を可能にする時間分解赤外振動分光法、電子回折の差分検出解析のプロトコル液晶、原子の視点を与える構造とこの光活性物質の動態との関係。...

光応答性液晶の構造ダイナミクスを観察する手法

この記事では、窒化ケイ素膜共振器のライフサイクルを、設計から製造、特性評価までたどります。...

高Q窒化ケイ素膜共振器の作製と特性評価

学ぶ光可飽和遷移を用いた単一光子光学リソグラフィーによるサブ波長ナノ構造の作製法。フォトクロミック分子の異性化を利用し、回折限界を克服してナノスケールパターニングを実現する革新的技術です。

光可飽和遷移を経由してパターニング - 作製と特性評価

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