Fabrication of High Contrast Gratings for the Spectrum Splitting Dispersive Element in a Concentrated Photovoltaic System

Yuhan Yao; He Liu; Wei Wu

doi:10.3791/52913

集中太陽光発電システムにおけるスペクトル分割分散素子の高コントラスト回折格子の作製

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Engineering

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Fabrication of High Contrast Gratings for the Spectrum Splitting Dispersive Element in a Concentrated Photovoltaic System

集中太陽光発電システムにおけるスペクトル分割分散素子の高コントラスト回折格子の作製

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12:08 min

July 18, 2015

DOI: 10.3791/52913-v

Yuhan Yao¹, He Liu¹, Wei Wu¹

¹Department of Electrical Engineering,University of Sothern California

Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

集中型太陽光発電システムにおける平行スペクトル分割分散素子としての高コントラスト格子の作製が実証されています。ナノインプリントリソグラフィー、TiO₂スパッタリング、反応性イオンエッチングなどの製造プロセスについて説明します。反射率の測定結果は、光学性能を特徴付けるために使用されます。

次の実験の全体的な目標は、集中型太陽光発電システムにおける高コントラストスペクトル分割素子の製造を実証することです。これは、UV硬化型フォトレジストの層で覆われた酸化チタンガラス基板上にPDMSナノインプリントリソグラフィーを行うことによって達成されます。第2のステップとして、残留ナノインプリントフォトレジストをエッチングで除去し、リフトオフ技術を用いてパターン化されたクロムハードマスクを作製します。

次に、分光器の測定結果に基づいて、二酸化チタンとガラスグレーディングアレイを形成するために使用される反応性イオンエッジ。製造された高コントラストグレーディングは、集中型太陽光発電システムの分散要素として使用できる広帯域反射率を示します。私たちは最初にこの方法のアイデアを持っていました、なぜ従来の欠陥グリーティングとは異なり、これらの二酸化チタンハイコントラストグリーティングはエキゾチックな証明された反射率プロファイルを示すことを発見しました。

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