バルブ付き多層マイクロ流体デバイスのための多段階可変高さのフォトリソグラフィ

多層マイクロ流体デバイスは、機能のために複雑な形状のマスターモールドの製造をしばしば含みます。この記事では、バルブと任意のアプリケーションに合わせて調整可能な可変高さ機能を備えたマルチステップフォトリソグラフィーの完全なプロトコルを紹介します。そのデモンストレーションとして、ハイドロゲルビーズを作製できるマイクロ流体液滴発生装置を作製します。