Design and Characterization Methodology for Efficient Wide Range Tunable MEMS Filters

Hasan Goktas

doi:10.3791/56371

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Engineering
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Design and Characterization Methodology for Efficient Wide Range Tunable MEMS Filters

デザインと効率的な広帯域波長可変 MEMS フィルター特性評価手法

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15:25 min

February 4, 2018

DOI: 10.3791/56371-v

Hasan Goktas¹

¹Department of Electrical and Electronic Engineering,Harran University

Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

レーザドップラ (LDV) は、チューニング、チューニング機能、および装置の故障や、ヘッドスライダーの回避の修正周波数測定などを用いた固定固定ビーム設計プロトコルが表示されます。その高いモード機能によりネットワークアナライザーに LDV 法の優位性を発揮します。

フィルターは非常に人気があり、無線通信の受信機と送信機のシーケンスで広く使用されています。さらに、ガスセンサー、バイオセンサー、温度センサーが最も一般的なアプリケーションです。これらの要求の厳しいフィルタは、CMOS MEMSプロセスで製造し、2つの別々のチップ間の余分なワイヤを排除することにより、より信頼性の高い製造と低ノイズ信号設計の両方をサポートする必要があります。

ここで、CMOSは相補型金属酸化膜半導体の略で、MEMSは微小電気機械システムおよびセンサーの略です。さらに、ポストプロセスは、製造プロセス中のスティクションを回避するように設計する必要があります。MEMS共振器の共振を測定する方法はよく知られていますが、以下の理由から、レーザードップラー振動計技術ほど強力な方法ではありません。

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