2017年11月28日
高級櫛型電極の作製法 (ギャップと幅: 20 μ m) 注射針の先端に (直径: 720 μ m) フォトリソグラフィ工程でスプレー塗装と柔軟なフィルム フォトマスクを使用して示されて。
このプロトコルの全体的な目標は、生物医学的用途のために、直径が1ミリメートル未満の皮下注射針の先端に微細なインターディジット電極を作製することです。この方法では、フォトレジストのスプレーコーティングとマスク用の柔軟なフィルムを使用したフォトリソグラフィープロセスを使用して、皮下注射針の丸みを帯びた先端に方言の金属パターニングを実現できます。製造されたマイクロダイオードセンサーは、薬物送達、生検、さらには手術などの生物医学的用途に広く使用でき、電気光度計の標的を焼灼することにより、高精度で行うことができます。
この手順を開始するには、3センチメートルの長さの熱収縮チューブを切断し、必要に応じて皮下注射針の浸透深さに基づいて長さを調整します。カットした熱収縮チューブに皮下注射針を挿入します。ヒートガンを使用して摂氏150度に設定し、チューブを縮小します。
この後、皮下注射針をハブから分離します。超音波攪拌による脱イオン水浴で針を洗浄します。次に、105度に設定されたホットプレートを使用して、断熱針を10分間脱水します。
次に、きれいなスライドガラスに両面テープを貼ります。清潔な絶縁針を両面テープの露出面に並べて配置します。スパッタリング装置を使用して、テキストプロトコルに概説されているように、クロムと金を針に堆積させます。
まず、両面テープを使用して、金のスパッタリング針の1つをスライドガラスに固定します。スプレーコーターのチャックを100°Cに加熱します。スライドを加熱されたチャックに置きます。
針を2〜3分間加熱します。その後、金スパッタリング針にフォトレジストを、ここに示す条件で加熱しながらスプレーします。この後、スライドガラスをチャックに置いて摂氏100度で3分間加熱し、柔らかく焼きます。
100倍の倍率に設定された顕微鏡を使用して、針を検査し、フォトレジストが均一にコーティングされているかどうかを確認します。まず、自由に移動可能なサンプル保持プレートを、固定されたフォトマスク保持プレートに完全に接触するまでゆっくりと持ち上げます。空気圧ポンプを使用して、サンプル保持プレートを固定します。
次に、フォトレジストを塗布したニードルをサンプル保持プレートに載せます。CCDディスプレイモニターを使用して、投影された画像の境界線のうち2本とフォトマスクの平行な位置合わせ2本を位置合わせし、リアルタイムでプロセスを監視します。針をゆっくりと持ち上げて、針を固定フレキシブルフォトマスクに接触させます。
針を1センチメートル四方あたり15ミリジュールの強度で30秒間紫外線にさらします。その後、現像プロセスを3分間実行します。この後、脱イオン水を使用して、現像液をサンプルから洗い流します。
倍率200倍に設定した顕微鏡を使用して、フォトレジストがはっきりとパターン化されているかどうかを確認します。露光したフォトレジストが完全に除去されない場合は、現像プロセスを30秒間隔で繰り返します。ピンセットを使用して、サンプルをスライドガラスから取り外します。
ゴールドのウェットエッチング液に1分間浸します。次に、脱イオン水を使用してエッチング液を洗い流します。200倍に設定された顕微鏡を使用して、結果を検査します。
除去する金がまだ残っている場合は、エッチングプロセスを10秒間隔で繰り返します。次に、針をクロムエッチング液に30秒間浸します。脱イオン水を使用して、エッチャントを洗い流します。
エッチングした針をアセトン溶液に1分間浸します。この後、脱イオン水ですすいでください。105°Cに加熱したホットプレートに試料を移し、10分間脱水します。
次に、シュリンクチューブを電極より2〜3ミリメートル長くカットします。ヒートガンを使用して、熱収縮チューブの温度を150度に上げ、針をしっかりと不動態化します。この研究では、フォトレジストスプレーコーティングと柔軟なフォトマスクを使用して、皮下注射針の先端にインターディジット電極を作製します。
電極は直径820マイクロメートルで成功裏に製造されていますが、針の先端からの製造マージンは680マイクロメートルとわずかです。フォトマスクの幅とギャップはそれぞれ25マイクロメートルと15マイクロメートルで、フォトマスクの外側部分と針の曲面との間の不完全な接触から生じるUV線量の不均衡を解決するように設計されています。これらの変更により、UV露光時間を最適化することにより、電極の幅とギャップの両方を20μmで成功裏に製造することができます。
針上の電気インピーダンス分光法の識別能力は、さまざまな濃度のPBSを使用して評価されます。PBSは脱イオン水で連続希釈されるため、PBSの濃度が低下すると電気伝導率が低下します。したがって、PBSの濃度レベルが減少すると、インピーダンスの大きさが増加します。
この識別能力に基づき、4層構造のブタ組織を用いて1メガヘルツの周波数で深さプロファイリングを行います。EoNの浸透深さにより、インピーダンスや脂肪組織の大きさは筋組織の大きさと明確に区別されます。このビデオを見れば、丸みを帯びた表面のトレイに微小電極を作製して、直径が1mm未満を読み取る方法を理解できるはずです。
現在、脊椎麻酔、甲状腺生検、さらには腹腔鏡手術や情熱性動脈切除術などの手術に対する軽蔑的なニードルセンサーの臨床適用性がよりよく見つかります。
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この研究は、生体医用応用のための注射針の先端に微細な互い違いの電極を形成する方法を示しています。この技術は、スプレーコーティングと柔軟なフォトマスクを使用したフォトリソグラフィにより、正確なパターニングを達成します。
This method enables precise microelectrode fabrication on hypodermic needles for biomedical sensing applications, supporting target tissue discrimination through electrical impedance measurements. The approach reduces invasiveness by positioning electrodes close to the needle tip, minimizing tissue penetration during diagnostic or therapeutic procedures. It enhances predictive confidence in early-stage biomedical device development by providing a reproducible platform for tissue characterization and margin detection.
The method integrates into early discovery workflows by enabling tissue characterization prior to lead identification, with outputs informing go/no-go decisions based on biological specificity.