Name: 窒化チタン被覆シリコン基板上の金樹状 Nanoforests の成長 (動画) | JoVE Journal
Uploaded: 2019-06-03T14:00:00.000+00:00
Duration: 5 min 2 s
Description: 学ぶ金樹状ナノフォレストの電解析出合成法。窒化チタン被覆シリコン基板上に簡便かつ高速に作製し、プラズモン光触媒反応の向上に応用可能です。銀などの合金金属にも適用でき、ナノ材料開発に有用です。

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1. サンプル調製
<ol><li>
ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングシステムを用いた錫基板製剤
	<ol>
<li>4インチ n 型シリコンウエハを 2 cm x 2 cm のサンプルに切断します。</li>
		<li>アセトン、isopropanol、および脱イオン水を使用してサンプルを洗浄してください。</li>
		<li>N2スプレーで5分間乾燥させてください。</li>
		<li>洗浄した Si サンプルをサンプルホルダに置き、高出力インパルスマグネトロン (HiPIMS) チャンバーにサンプルホルダを置きます。</li>
		<li>スパッタリングカソードに直径4インチのチタンターゲットを配置します。</li>
		<li>機械式ポンプとクライオポンプを使用して、チャンバの圧力を 8 x 10-6 Torr 未満に下げます。</li>
		<li>HiPIMS を使用して、シリコンウエハ上に Ti 層を堆積させるとともに、Ti 層上にスズ層を堆積します。HiPIMS の Ti および TiN 層の堆積パラメータについては、表 1を参照してください。</li>
	</ol>
</li>
	<li>
AU DNF錫/Si 基板の準備
	<ol>
<li>10 mM chloroauric 酸 (HAuCl4) と、11.4% NH4F および 2.3% HF を含む緩衝酸化物エッチャント溶液を、5 cm x 5 cm x 5Cm を測定するテフロン容器に 24 mL 入れます。</li>
		<li>基板を混合溶液に3分間浸します。</li>
		<li>試料を取り出し、脱イオン水で洗浄してください。</li>
		<li>N2 スプレーでサンプルを乾燥させ、120° c で5分間インキュベートして、Au DNFs/錫/Si サンプルを得ます。</li>
		<li>Au DNF 準備10x を繰り返します。</li>
	</ol>
</li>
</ol>2. 検体検査
<ol><li>
走査型電子顕微鏡分析
	<ol>
<li>試料をタングステンペンで 0.4 cm x 0.8 cm に切り、N2 スプレーで洗浄します。</li>
		<li>50 s のイオンスパッタリングコーティングによってサンプル上の薄い Pt フィルムをコーティングします。</li>
		<li>調製した試料を走査型電子顕微鏡 (SEM) 器具に入れます。</li>
		<li>走査型電子顕微鏡により SEM 画像を取得し、要素解析21,22を行う。</li>
	</ol>
</li>
	<li>
X 線回折解析
	<ol>
<li>X 線回折 (XRD) 器具に試料を入れます。</li>
		<li>XRD パターン21、22を得る。</li>
	</ol>
</li>
</ol>

<ol><li>Nehl, C. L., Hafner, J. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Shape-dependent+plasmon+resonances+of+gold+nanoparticles%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Materials+Chemistry%22%5BJournal%5D)">Shape-dependent plasmon resonances of gold nanoparticles.</a> Journal of Materials Chemistry. 18 (21), 2415-2419 (2008).</li>
<li>Auguié, B., Barnes, W. L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Collective+resonances+in+gold+nanoparticle+arrays%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Collective resonances in gold nanoparticle arrays.</a> Physical Review Letters. 101 (14), 143902(2008).</li>
<li>Sakai, N., Fujiwara, Y., Arai, M., Yu, K., Tatsuma, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electrodeposition+of+gold+nanoparticles+on+ITO%3A+Control+of+morphology+and+plasmon+resonance-based+absorption+and+scattering%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Electroanalytical+Chemistry%22%5BJournal%5D)">Electrodeposition of gold nanoparticles on ITO: Control of morphology and plasmon resonance-based absorption and scattering.</a> Journal of Electroanalytical Chemistry. 628 (1-2), 7-15 (2009).</li>
<li>Shiao, M. H., Lai, C. P., Liao, B. H., Lin, Y. S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Effect+of+photoillumination+on+gold-nanoparticle-assisted+chemical+etching+of+silicon%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Nanomaterials%22%5BJournal%5D)">Effect of photoillumination on gold-nanoparticle-assisted chemical etching of silicon.</a> Journal of Nanomaterials. 2018, 5479605(2018).</li>
<li>Ayati, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Photocatalytic+degradation+of+nitrobenzene+by+gold+nanoparticles+decorated+polyoxometalate+immobilized+TiO+nanotubes%5BTitle%5D)+AND+%22Separation+and+Purification+Technology%22%5BJournal%5D)">Photocatalytic degradation of nitrobenzene by gold nanoparticles decorated polyoxometalate immobilized TiO nanotubes.</a> Separation and Purification Technology. 171, 62-68 (2016).</li>
<li>Huang, T., Meng, F., Qi, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Controlled+synthesis+of+dendritic+gold+nanostructures+assisted+by+supramolecular+complexes+of+surfactant+with+cyclodextrin%5BTitle%5D)+AND+%22Langmuir%22%5BJournal%5D)">Controlled synthesis of dendritic gold nanostructures assisted by supramolecular complexes of surfactant with cyclodextrin.</a> Langmuir. 26 (10), 7582-7589 (2009).</li>
<li>Lahiri, A., Wen, R., Kuimalee, S., Kobayashi, S. I., Park, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((One-step+growth+of+needle+and+dendritic+gold+nanostructures+on+silicon+for+surface+enhanced+Raman+scattering%5BTitle%5D)+AND+%22CrystEngComm%22%5BJournal%5D)">One-step growth of needle and dendritic gold nanostructures on silicon for surface enhanced Raman scattering.</a> CrystEngComm. 14 (4), 1241-1246 (2012).</li>
<li>Lahiri, A., Wen, R., Kobayashi, S. I., Wang, P., Fang, Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Unique+and+unusual+pattern+demonstrating+the+crystal+growth+through+bubble+formation%5BTitle%5D)+AND+%22Crystal+Growth+%26+Design%22%5BJournal%5D)">Unique and unusual pattern demonstrating the crystal growth through bubble formation.</a> Crystal Growth & Design. 12 (3), 1666-1670 (2012).</li>
<li>Lahiri, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Photo-assisted+control+of+gold+and+silver+nanostructures+on+silicon+and+its+SERRS+effect%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Physics+D%3A+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Photo-assisted control of gold and silver nanostructures on silicon and its SERRS effect.</a> Journal of Physics D: Applied Physics. 46 (27), 275303(2013).</li>
<li>Lv, Z. Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Facile+and+controlled+electrochemical+route+to+three-dimensional+hierarchical+dendritic+gold+nanostructures%5BTitle%5D)+AND+%22Electrochimica+Acta%22%5BJournal%5D)">Facile and controlled electrochemical route to three-dimensional hierarchical dendritic gold nanostructures.</a> Electrochimica Acta. 109, 136-144 (2013).</li>
<li>Dutta, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Mesoporous+gold+and+palladium+nanoleaves+from+liquid%E2%80%93liquid+interface%3A+enhanced+catalytic+activity+of+the+palladium+analogue+toward+hydrazine-assisted+room-temperature+4-nitrophenol+reduction%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Applied+Materials+%26+Interfaces%22%5BJournal%5D)">Mesoporous gold and palladium nanoleaves from liquid–liquid interface: enhanced catalytic activity of the palladium analogue toward hydrazine-assisted room-temperature 4-nitrophenol reduction.</a> ACS Applied Materials & Interfaces. 6 (12), 9134-9143 (2014).</li>
<li>Lin, C. T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Rapid+fabrication+of+three-dimensional+gold+dendritic+nanoforests+for+visible+light-enhanced+methanol+oxidation%5BTitle%5D)+AND+%22Electrochimica+Acta%22%5BJournal%5D)">Rapid fabrication of three-dimensional gold dendritic nanoforests for visible light-enhanced methanol oxidation.</a> Electrochimica Acta. 192, 15-21 (2016).</li>
<li>Lahiri, A., Kobayashi, S. I. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electroless+deposition+of+gold+on+silicon+and+its+potential+applications%5BTitle%5D)+AND+%22Surface+Engineering%22%5BJournal%5D)">Electroless deposition of gold on silicon and its potential applications.</a> Surface Engineering. 32 (5), 321-337 (2016).</li>
<li>White, N., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface%2Finterface+analysis+and+optical+properties+of+RF+sputter-deposited+nanocrystalline+titanium+nitride+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Surface+Science%22%5BJournal%5D)">Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films.</a> Applied Surface Science. 292, 74-85 (2014).</li>
<li>Zhao, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface+enhanced+Raman+scattering+substrates+based+on+titanium+nitride+nanorods%5BTitle%5D)+AND+%22Optical+Materials%22%5BJournal%5D)">Surface enhanced Raman scattering substrates based on titanium nitride nanorods.</a> Optical Materials. 47, 219-224 (2015).</li>
<li>Lorite, I., Serrano, A., Schwartzberg, A., Bueno, J., Costa-Krämer, J. L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface+enhanced+Raman+spectroscopy+by+titanium+nitride+non-continuous+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Thin+Solid+Films%22%5BJournal%5D)">Surface enhanced Raman spectroscopy by titanium nitride non-continuous thin films.</a> Thin Solid Films. 531, 144-146 (2013).</li>
<li>O’Kelly, J. P., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Room+temperature+electroless+plating+copper+seed+layer+process+for+damascene+interlevel+metal+structures%5BTitle%5D)+AND+%22Microelectronic+Engineering%22%5BJournal%5D)">Room temperature electroless plating copper seed layer process for damascene interlevel metal structures.</a> Microelectronic Engineering. 50 (1), 473-479 (2000).</li>
<li>Cesiulis, H., Ziomek-Moroz, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electrocrystallization+and+electrodeposition+of+silver+on+titanium+nitride%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Electrochemistry%22%5BJournal%5D)">Electrocrystallization and electrodeposition of silver on titanium nitride.</a> Journal of Applied Electrochemistry. 30 (11), 1261-1268 (2000).</li>
<li>Wu, Y., Chen, W. C., Fong, H. P., Wan, C. C., Wang, Y. Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Displacement+reactions+between+metal+ions+and+nitride+barrier+layer%2Fsilicon+substrate%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+the+Electrochemical+Society%22%5BJournal%5D)">Displacement reactions between metal ions and nitride barrier layer/silicon substrate.</a> Journal of the Electrochemical Society. 149 (5), G309-G317 (2002).</li>
<li>Koo, H. C., Ahn, E. J., Kim, J. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Direct-electroplating+of+Ag+on+pretreated+TiN+surfaces%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+the+Electrochemical+Society%22%5BJournal%5D)">Direct-electroplating of Ag on pretreated TiN surfaces.</a> Journal of the Electrochemical Society. 155 (1), D10-D13 (2008).</li>
<li>Shiao, M. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Novel+gold+dendritic+nanoflowers+deposited+on+titanium+nitride+for+photoelectrochemical+cells%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Solid+State+Electrochemistry%22%5BJournal%5D)">Novel gold dendritic nanoflowers deposited on titanium nitride for photoelectrochemical cells.</a> Journal of Solid State Electrochemistry. 22 (10), 3077-3084 (2018).</li>
<li>Shiao, M. H., Lin, C. T., Zeng, J. J., Lin, Y. S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Novel+gold+dendritic+nanoforests+combined+with+titanium+nitride+for+visible-light-enhanced+chemical+degradation%5BTitle%5D)+AND+%22Nanomaterials%22%5BJournal%5D)">Novel gold dendritic nanoforests combined with titanium nitride for visible-light-enhanced chemical degradation.</a> Nanomaterials. 8 (5), 282(2018).</li>
<li>Carraro, C., Maboudian, R., Magagnin, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Metallization+and+nanostructuring+of+semiconductor+surfaces+by+galvanic+displacement+processes%5BTitle%5D)+AND+%22Surface+Science+Reports%22%5BJournal%5D)">Metallization and nanostructuring of semiconductor surfaces by galvanic displacement processes.</a> Surface Science Reports. 62 (12), 499-525 (2007).</li>
</ol>

作者は何も開示することはありません。

本研究では、FAGRR を用いて TiN/Si 表面に複数の分岐サイズを持つ Au DNFs を装飾した。Au DNFs の堆積は、色の著しい変化によって直接識別することができる。スズ/Si の Au DNFs の厚さは15分以内に5.10 ±0.20 μ m に増加し、この厚さの増加は、次の線形方程式を用いて表現することができます: y = 0.296t + 0.649、ここで時間は1から15分に変化しました。
FAGRR では、金属蒸着は溶液23の組成と pH の影響を受ける。堆積速度は、基板表面欠陥の密度とともに増加する。交換反応時間が長くなると、スズ層の厚さが減少します。Au DNFs の厚さが十分に厚い場合、スズ/Si 基板から Au DNFs を除去するのは簡単です。
ガルバニック変位反応は、より高い酸化還元電位23を有する金属に対してより有利である。本研究では、提案された容易なおよび...

金ナノ粒子は、ナノ粒子1、2、3、4のサイズおよび形状に応じて、特徴的な光学的特性および局在性表面プラズモン共鳴 (LSPRs) を有する。さらに、金ナノ粒子は、プラズモニック光触媒反応を顕著に増強することができる5。金ナノ粒子を用いた樹状 nanoforests 積層は、その注目すべき比表面積と強い LSPR 強化のためにかなりの注目を受けている6,7,8,9 、10、11、12、13。
錫は非常に硬いセラミック材料であり、熱、化学、および機械的安定性に優れています。錫は特徴的な光学的特性を有しており、可視近赤外光14,15のプラズモニックアプリケーションに使用できます。研究は、スズが Au ナノ構造体16と同様に電磁界拡張を生成できることを示した。銅17または銀18,19,20の塗布用錫基質への堆積が実証されている。しかし、Au/TiN 複合材料を応用した研究はほとんど行われていない。Shiao et al. は最近、photoelectrochemical 細胞21および化学分解22のための Au DNFs/錫複合材料の潜在的応用を示した。
Au は、FAGRR23を用いて錫基材上で合成することができる。スズの Au DNFs の堆積条件は、アプリケーションの性能において非常に重要です。本研究では、錫被覆 Si 基板における Au DNFs の成長について検討する。

<table><tbody><tr><td>Acetone</td><td>Dinhaw Enterprise Co. Ltd.、台北、台湾</td><td></td><td></td></tr><tr><td>Isopropanol</td><td>Echo Chemical Co. Ltd.、苗栗、台湾</td><td>TG-078-000000-75NL</td><td></td></tr><tr><td>Buffered Oxide Etch</td><td>Uni-onward Corp.、新竹、台湾&nbsp;</td><td>UR-BOE-1EA</td><td></td></tr><tr><td>Chloroauric Acid</td><td>Alfa Aesar., Heysham, United Kingdom</td><td>36400.03</td><td></td></tr><tr><td>N-Type Silicon Wafer</td><td>Summit-Tech Company, Hsinchu, Taiwan</td><td></td><td></td></tr><tr><td>High-Power Impulse Magnetron Sputtering System (HiPIMS)</td><td>Melec GmbH, Germany</td><td></td><td>SPIK2000A&nbsp;</td></tr><tr><td>走査型電子顕微鏡(SEM)</td><td>日本電子、</td><td></td><td>JSM-7800F</td></tr><tr><td>イオンスパッタコーター</td><td>日立製作所、日本</td><td></td><td>E-1030</td></tr><tr><td>X線回折装置(XRD)</td><td>PANalytical、オランダ</td><td></td><td>X'Pert PRO MRD</td></tr></tbody></table>

窒化チタン被覆シリコン基板上の金樹状 nanoforests の成長

Growth of Gold Dendritic Nanoforests on Titanium Nitride-coated Silicon Substrates

本研究では、シリコン (Si) ウエハ上にフラットでしっかりとした窒化チタン (TiN) 膜をコーティングするために、高出力インパルスのマグネトロンスパッタリングシステムを用いており、金の迅速かつ容易な沈着のためにフッ化物アシスト電位置換反応 (FAGRR) が用いられています。錫/Si 基板上の樹状 nanoforests (Au DNFs)。スズ/Si および Au DNFs/スズ/Si サンプルの走査電子顕微鏡 (SEM) 画像およびエネルギー分散 X 線分光パターンは、合成プロセスが正確に制御されていることを検証します。この試験における反応条件下では、Au DNFs の厚さは、反応の15分以内に5.10 ±0.20 μ m に直線的に増加する。従って、使用された合成のプロシージャは Au の DNFs/錫/Si の複合材料を準備するための簡単で、急速なアプローチである。

図 1は、Au DNFs/錫/Si 試料調製物の画像を示しています。シリコンウエハは銀白色であった (図 1a)。スズ/Si は金色の黄色であり、均質な表面を有していた (図 1b)、これはシリコンウエハ上の均一スズ被覆を示した。Au DNFs/スズ/Si は、Au DNFs のランダム分布のため、表面には黄色がかった茶色であり、均質ではなかった (図 1c)。
図 2は、スズ/Si 基板上に堆積した Au DNFs の計画及び断面 SEM 画像を示す。スズ層は均一な表面を有し (図 2a)、スズ層...

本研究は、窒化チタン/シリコン基板上に金樹状 nanoforests を合成するための実現可能な手順を提示する。金樹状 nanoforests の厚さは、合成反応の15分以内に直線的に増加します。

窒化チタン被覆シリコン基板上の金樹状 Nanoforests の成長

In this study, a high-power impulse magnetron sputtering system is used to coat a flat and firm titanium nitride (TiN) film on silicon (Si) wafers, and a ...

このプロトコルは、チタン窒化珪素コーティングシリコン基板上に金樹状ナノフォレストを調製するための簡単で迅速な電解蒸着法です。この技術の主な利点は、そのシンプルさとスピードです。金樹状ナノフォレストは、プラスモニックホットスポットを誘発し、プラスモニック光触媒反応を高めることができます。銀などの合金金属の樹状ナノフォレストを調製するためにもこの手順を使用することができる。ビデオ デモでは、実験で重要な詳細を強調することが容易になります。手順を開始するには、n型シリコンウエハの10 2を2センチメートルで切ります。シリコンサンプルをアセトン、イソプロピルアルコール、および脱イオン水でそれぞれ5分間順応します。サンプルを窒素ガスの流れの下で5分間乾燥させます。次に、清潔で乾燥したシリコンサンプルをサンプルホルダーに入れ、ホルダーをHiPIMSサンプルチャンバーに入れます。直径4インチのチタンターゲットをHiPIMSスパッタリングカソードに配置し、HiPIMSチャンバーをマイナス6トルまで8倍の10倍にポンプダウンします。シリコンサンプルにチタンの50ナノメートルの考える層を堆積させます。次いで、窒化チタンを析出し、約300ナノメートルの全窒化チタン厚を達成した。窒化チタン蒸着が完了したら、1モルクロロアウリン酸240マイクロリットル、6~1緩衝酸化物エッチングの8ミリリットル、ポリテトラフルオロエチレン容器に15.76ミリリットルの脱イオン水を組み合わせます。1つの基質をクロロウリン酸溶液に正確に3分間浸し、脱イオン水で洗浄します。サンプルを窒素ガスの流れの下で乾燥させ、摂氏120度で5分間インキュベートします。残りの窒化チタン被覆基板のそれぞれについて、このプロセスを繰り返します。サンプル調製が完了したら、走査型電子顕微鏡とX線回折でサンプルを特徴付けます。X線分光法のエネルギー分散により、窒化チタン被覆シリコン表面上に金の構造が成長していたことが確認された。シリコンウエハに堆積した窒化チタンフィルムは、滑らかで均一であった。成長溶液にサンプルを配置してから1分以内に、ウニに似たいくつかの大きな核を持つ小さな金核がサンプル全体に現れました。1本の木のような構造は3分間の成長の後に観察され、5分間の成長の後に分岐が起こった。10分後、樹状ナノフォレストは亜硝酸チタン表面全体を覆った。15分後、樹状ナノフォレストは密で、約5マイクロメートルの厚さでした。金の樹状ナノフォレストの厚さは、合成時間とともに直線的に増加することが判明した。X線回折における金のピークも時間の経過とともに増加し、チタン亜硝酸信号は合成が進むにつれて消失した。この手順を試みる際に覚えておくべき最も重要なことは、組成物の速度および溶液のPHであり、また、沈着法に影響を及ぼす。DMFやシリカシリコンなどの亜硝酸チタン被覆基板、従来のガラス、ITOガラス、FDOガラスなど様々な用途に製造することが可能です。金のDNFが十分に病気であれば、チタン亜硝酸シリコン基板から金色のDOFを取り除くのは簡単なので、サンプルを取り扱うときには注意が必要です。フッ化水素を含む緩衝酸化物エッチを扱う際は、必ず個人用保護具を着用してください。

growth-gold-dendritic-nanoforests-on-titanium-nitride-coated-silicon

Research

JoVE Journal

Chemistry

化学

我々はシルバーシード媒介成長法を用いて星状の金nanostarsを合成した。...

シルバーシード媒介成長法によるゴールドNanostarの合成

我々は、化学蒸着、酸酸化とプローブチップ音波処理を含む一連の手法を使用して、個々のグラファイトnanocupsの合成を説明した。のHAuClのクエン酸還元による...

コルク栓のように金ナノ粒子と窒素ドープカーボンナノチューブカップの合成と機能化

テンプレートとしてアルミニウムや銀または自己組織化単分子膜の犠牲層のいずれかを使用して、単一ナノメートルのギャップによって分離され、電気的にアドレス可能な、高アスペクト比（&gt;...

Nanoskivingによるナノギャップを作製

制御された寸法を持つソリューション·懸濁金ナノチューブは疎水性ポリマーのコアを用いた多孔質陽極酸化アルミニウム（AAO）膜の電気化学的蒸着法により合成することができる。ゴールドナノチューブおよびナノチューブアレイはプラズモンバイオセンシング、表面増強ラマン分光法、光熱加熱、イオンと分子輸送、マイクロフルイディクス、触媒、電気化学センシングへの応用に有望である。...

テンプレートには、調整可能な赤外線吸光度モニック金ナノチューブの合成を監督

私たちは、ステンシル印刷やフォトリソグラフィーと同様、微細パターン上に培養細胞へのメソッドを経由して微細パターンナノポーラス金薄膜の技術について報告する。また、材料及び走査型電子顕微鏡、蛍光技術を用いて培養細胞の形態を特徴づける画像解析方法が記載されている。...

物質 - 細胞相互作用研究ナノポーラス金パターンの微細加工

シリコン界面の表面ドーピングの詳細な手順が提供されています。超浅面ドーピングは、リン含有単分子膜と迅速なアニーリングプロセスを使用することによって実証されます。この方法は、巨視的な領域表面だけでなく、ナノ構造のドーピングにも使用できます。...

有機リン化合物を用いたシリコン表面およびナノワイヤの単層接触ドーピング

低温で垂直に整列したカーボンナノチューブの成長方法と、その後の半導体製造による垂直相互接続電気試験構造の作製方法が紹介されています。...

半導体技術との互換性低温カーボンナノチューブ垂直相互接続の作製

ここでは、AuNPsの凝集せず、層状チタン酸膜の層間空間内の金ナノ粒子（AuNPs）のin situ合成のためのプロトコルを提示します。いいえスペクトル変化はあっても4ヶ月後には観察されませんでした。合成された材料は、触媒、光触媒、及び費用対効果プラズモンデバイスの開発への応用が期待されています。...

層状チタン酸透明フィルムの層間空間で凝集することなく金ナノ粒子のその場合成で

基質結合 Au ナノワイヤーの合成ソリューション ベースの方法を報告する.合成の際に使用される分子の配位子を調整することにより、様々 な基板表面特性が異なるから Au ナノワイヤーを栽培できます。Au...

アクティブな表面の成長メカニズムを介して基質結合 Au ナノワイヤの作製

このプロトコルの詳細に基づいて広範囲を越えて制御とカスタマイズ可能なナノ粒子薄膜を作るに使用できる新規ナノ製造技術、ディウェッティング...

頂いたディウェッティング経由で制御可能なカスタマイズ可能な金ナノ粒子の大面積基板を用いたナノ加工

液体相電子顕微鏡実験における温度制御は、その形成または応用媒体を模倣した液体環境におけるナノ粒子の動的な研究の新たな視点を開く。最近開発された加熱液細胞を用いて、水中の金ナノ粒子の核生成および成長過程における温度の影響を直接観測した。...

液体細胞透過電子顕微鏡によるナノ粒子の核形成と成長に及ぼす温度の影響の研究

学ぶ金樹状ナノフォレストの電解析出合成法。窒化チタン被覆シリコン基板上に簡便かつ高速に作製し、プラズモン光触媒反応の向上に応用可能です。銀などの合金金属にも適用でき、ナノ材料開発に有用です。

窒化チタン被覆シリコン基板上の金樹状 Nanoforests の成長

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