微粒化およびアユースト流体のための厚さモード圧電デバイスの作製と特性

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2020年8月5日

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リチウムニオベート上のプレート電極の直流スパッタリングを介した圧電厚度モードトランスデューサの作製について説明する。さらに、トランスデューサホルダーと流体供給システムで信頼性の高い操作が実現され、インピーダンス分析、レーザードップラービブロメトリー、高速イメージング、およびレーザー散乱を用いた液滴サイズ分布によって特性評価が実証されます。

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Chapters in this video

0:04

Introduction

1:03

Electrical and Mechanical Transducer Contact

1:48

Resonance Frequency Identication

2:26

Vibration Characterization

4:02

Fluid Supply System Fabrication

5:21

Dynamics Observation

6:33

Droplet Size Measurement

9:01

RESULTS: Representative Device Characterization

9:53

Conclusion

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