Name: 激しいレーザー照射実験のためのマイクロ加工対象の自動送達 (動画) | JoVE Journal
Uploaded: 2021-01-28T13:00:00.000+00:00
Duration: 6 min 40 s
Description: 学ぶ高強度レーザー照射実験におけるマイクロ加工対象の自動送達プロトコル。シリコンウェハーを用いた標的製造と0.2Hzでの自動位置合わせにより、高速データ収集と実験効率の向上を実現する方法を解説する。

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この研究は、イスラエル科学財団、助成金1135/15、そしてイスラエルのザッカーマンSTEMリーダーシッププログラムによって支援されています。我々はまた、パジー財団、イスラエル交付金#27707241、およびNSF-BSF助成金No.01025495の支援を認める。著者らは、テルアビブ大学ナノサイエンス・ナノテクノログセンターを親切に認めたいと思います。

1. ターゲット製造
注: 図 2 と図 3 は、独立した金箔の製造プロセスを示しています。
<ol><li>裏側<ol>
<li>厚さ250μm、直径100mm、高ストレスシリコンウエハーを<100>結晶形成に使用し、両面に窒化ケイ素でコーティングします。</li>
		<li>アセトンに続いてイソプロパノールを使用してウエハーを洗浄し、窒素で乾燥させます。 次に、HMDSの層をスピンコートし、 表1に概説したステップに従って接着層を形成する。</li>
		<li>表2に概説したステップに従って、AZ1518フォトレジスト層でウエハーをスピンコートする。</li>
		<li>ウエハースを100°Cで1分間焼き、冷まします。</li>
		<li>フォトリトグラフ 1,000 μm x 1,000 μm の正方形の開口部を真空下で、ウエハーを4~7秒の1サイクルで露出させ、400 nmのUVランプにします。ウエハーは、40 J/cm2の全体的なフルーションにさらされています。AZ726K開発者を使用して窒化ケイ素を露出させ、脱水水浴を使用してプロセスを停止します。</li>
		<li>反応性イオンエッチャー(RIE)を使用して、四角の位置にある窒化ケイ素を除去します。</li>
		<li>N-メチル-2-ピロリドン(NMP)浴を20分間使用して残留レジストとフォトレジストを除去し、窒化ケイ素層にマスクのレプリカを生成します。新鮮な水でウエハースを洗い、窒素で乾燥させます。</li>
		<li>ウエハースを30%、90°C、水酸化カリウム溶液に沈め、正方形の開口部を通してシリコンをエッチングする。エッチングが必要なシリコンの50μmごとに、ウエハを40分間沈めます。<100>面のエッチングレートは他のものよりもはるかに高いため、水酸化カリウムはシリコンバルクを通して底の窒化ケイ素層に到達し、シリコン窒化物マスクに有意な深さをエッチングします。</li>
	</ol>
</li>
	<li>フロントサイド<ol>
<li>正面側では、3 つの同心円状のリングとして形成されたマスクを使用して、ステップ 1.1.1 ~ 1.1.6 を繰り返します。</li>
		<li>RIEを使用してリングが置かれている窒化ケイ素を除去し、続いてNMPバスを使用してレジストとフォトレジストの残り物を取り除きます。</li>
		<li>最後に、シリコンリングを粗くするために、硝酸にウエハーを沈め、0.02 M硝酸銀と4Mフッ化水素の溶液に沈めます。</li>
		<li>ウエハのエッチングされた側に、物理的な蒸着機(PVD)18を使用して、接着剤チタン、ニッケル、またはクロムの〜10nm薄膜の上に数百ナノメートルの金の層をスパッタする。スパッタリングされた金層は、独立した膜ターゲットになります。</li>
	</ol>
</li>
</ol>2. アライメント
注: 図 4 は、ターゲット照射の設定を示しています。
<ol><li>100x倍率顕微鏡の下で、最初に任意に選ばれたターゲットを視野に入れます。</li>
	<li>三角測量測距センサー(MTI/MicroTrak 3 LTS 120-20)19を目標に最も近い粗いリングに向け、その変位の読み取りを記録します。 注: 使用される測距センサーモデルは、高真空アプリケーション向けではありません。同じベンダーのMTI-2100のような異なるモデルは、低アウトガスアプリケーションと互換性があります。</li>
	<li>顕微鏡を所定の位置に残したまま、ウエハーを既知の距離に移動してビームパスをクリアします。</li>
	<li>2つの折りたたみミラーとオフ軸放物鏡(OAP)を使用して、ビームを低電力で顕微鏡の視野に合わせます。</li>
	<li>ビームの乱視を補正するために、これらの3つのミラーを調整します。結果は、ほぼ回折制限された焦点点である必要があります。</li>
	<li>レーザービームをブロックし、ターゲットを顕微鏡の焦点に戻します。顕微鏡と測距センサーの読み取り値を使用して、その位置を検証します。</li>
	<li>レーザー光やデブリから安全に保たれる位置に顕微鏡を移動します。</li>
</ol>3. 照射シーケンスと自動ターゲット位置決め
<ol><li>ソフトウェアを使用して、ターゲットの焦点軸マニピュレータと変位センサーの読み取りとの間に閉ループフィードバックを実装します。プロトコルステップ 2.2 の記録された値をセットポイントとして使用します。LabViewで用意されたメインPID20 制御シーケンスを 図5に示します。</li>
	<li>クローズドループ位置決めが設定点から所望の許容距離に達したら、ターゲットに1つの高出力レーザーパルスを照射します。</li>
	<li>メカニカルフィードスルーを使用してIPを新しい位置に変換します。</li>
	<li>ソフトウェアによってフォーカスする次のターゲットで照射シーケンスを繰り返します。</li>
</ol>

<ol><li>Snavely, R. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Intense+High-Energy+Proton+Beams+from+Petawatt-Laser+Irradiation+of+Solids%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Intense High-Energy Proton Beams from Petawatt-Laser Irradiation of Solids.</a> Physical Review Letters. 85, 4945(2000).</li>
<li>Tosaki, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Evaluation+of+laser-driven+ion+energies+for+fusion+fast-ignition+research%5BTitle%5D)+AND+%22Progress+of+Theoretical+and+Experimental+Physics%22%5BJournal%5D)">Evaluation of laser-driven ion energies for fusion fast-ignition research.</a> Progress of Theoretical and Experimental Physics. 2017 (10), 103(2017).</li>
<li>Borghesi, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Proton+imaging%3A+a+diagnostic+for+inertial+confinement+fusion%2Ffast+ignitor+studies+Related+content+Inertial+confinement+fusion+and+fast+ignitor+studies%5BTitle%5D)+AND+%22Plasma+Physics+and+Controlled+Fusion%22%5BJournal%5D)">Proton imaging: a diagnostic for inertial confinement fusion/fast ignitor studies Related content Inertial confinement fusion and fast ignitor studies.</a> Plasma Physics and Controlled Fusion. 43, 12(2001).</li>
<li>Malka, V., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Practicability+of+proton+therapy+using+compact+laser+systems%5BTitle%5D)+AND+%22Medical+Physics%22%5BJournal%5D)">Practicability of proton therapy using compact laser systems.</a> Medical Physics. 31 (6), 1587-1592 (2004).</li>
<li>Roth, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Laser-Driven+Neutron+Source+Based+on+the+Relativistic+Transparency+of+Solids%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Laser-Driven Neutron Source Based on the Relativistic Transparency of Solids.</a> Physical Review Letters. 110, 044802(2013).</li>
<li>Noaman-Ul-Haq, M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Statistical+analysis+of+laser+driven+protons+using+a+high-repetition-rate+tape+drive+target+system%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Accelerators+and+Beams%22%5BJournal%5D)">Statistical analysis of laser driven protons using a high-repetition-rate tape drive target system.</a> Physical Review Accelerators and Beams. 20 (4), 41301(2017).</li>
<li>Li, Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Protons+and+electrons+generated+from+a+5-%CE%BCm+thick+copper+tape+target+irradiated+by+s-%2C+circularly-%2C+and+p-polarized+55-fs+laser+pulses%5BTitle%5D)+AND+%22Physics+Letters%2C+Section+A%3A+General%2C+Atomic+and+Solid+State+Physics%22%5BJournal%5D)">Protons and electrons generated from a 5-μm thick copper tape target irradiated by s-, circularly-, and p-polarized 55-fs laser pulses.</a> Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics. 369 (5-6), 483-487 (2007).</li>
<li>Shaw, B. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((High-peak-power+surface+high-harmonic+generation+at+extreme+ultra-violet+wavelengths+from+a+tape%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">High-peak-power surface high-harmonic generation at extreme ultra-violet wavelengths from a tape.</a> Journal of Applied Physics. 114 (4), 43106(2013).</li>
<li>Fill, E., Bayerl, J., Tommasini, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((A+novel+tape+target+for+use+with+repetitively+pulsed+lasers%5BTitle%5D)+AND+%22Review+of+Scientific+Instruments%22%5BJournal%5D)">A novel tape target for use with repetitively pulsed lasers.</a> Review of Scientific Instruments. 73 (5), 2190-2192 (2002).</li>
<li>Morrison, J. T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((MeV+proton+acceleration+at+kHz+repetition+rate+from+ultra-intense+laser+liquid+interaction%5BTitle%5D)+AND+%22New+Journal+of+Physics%22%5BJournal%5D)">MeV proton acceleration at kHz repetition rate from ultra-intense laser liquid interaction.</a> New Journal of Physics. 20 (2), 22001(2018).</li>
<li>Margarone, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Proton+Acceleration+Driven+by+a+Nanosecond+Laser+from+a+Cryogenic+Thin+Solid-Hydrogen+Ribbon%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+X%22%5BJournal%5D)">Proton Acceleration Driven by a Nanosecond Laser from a Cryogenic Thin Solid-Hydrogen Ribbon.</a> Physical Review X. 6, 041030(2016).</li>
<li>Prencipe, I., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Targets+for+high+repetition+rate+laser+facilities%3A+needs%2C+challenges+and+perspectives%5BTitle%5D)+AND+%22High+Power+Laser+Science+and+Engineering%22%5BJournal%5D)">Targets for high repetition rate laser facilities: needs, challenges and perspectives.</a> High Power Laser Science and Engineering. 5, 17(2017).</li>
<li>Porat, E., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Towards+direct-laser-production+of+relativistic+surface+harmonics%5BTitle%5D)+AND+%22Proceedings+Volume+11036%2C+Relativistic+Plasma+Waves+and+Particle+Beams+as+Coherent+and+Incoherent+Radiation+Sources+III%22%5BJournal%5D)">Towards direct-laser-production of relativistic surface harmonics.</a> Proceedings Volume 11036, Relativistic Plasma Waves and Particle Beams as Coherent and Incoherent Radiation Sources III. , 110360(2019).</li>
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<li>Mattox, D. M. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aMattox%2C+DM+%22Processing.+Handbook+of+Physical+Vapor+Deposition+%28PVD%29+Processing%22">Processing. Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing</a>. , Elsevier Inc. (2007).</li>
<li>MTI Instruments. , Available from: 
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<li>Astrom, K. J., Murray, R. M. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aAstrom%2C+KJ+%22Feedback+Systems%3A+An+Introduction+for+Scientists+and+Engineers%22">Feedback Systems: An Introduction for Scientists and Engineers</a>. , Princeton University Press. Ch. 10 (2006).</li>
<li>Passoni, M., Bertagna, L., Zani, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Target+normal+sheath+acceleration%3A+Theory%2C+comparison+with+experiments+and+future+perspectives%5BTitle%5D)+AND+%22New+Journal+of+Physics%22%5BJournal%5D)">Target normal sheath acceleration: Theory, comparison with experiments and future perspectives.</a> New Journal of Physics. 12, 045012(2010).</li>
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<li>Harres, K., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Development+and+calibration+of+a+Thomson+parabola+with+microchannel+plate+for+the+detection+of+laser-accelerated+MeV+ions%5BTitle%5D)+AND+%22Review+of+Scientific+Instruments%22%5BJournal%5D)">Development and calibration of a Thomson parabola with microchannel plate for the detection of laser-accelerated MeV ions.</a> Review of Scientific Instruments. 79 (9), 93306(2008).</li>
<li>Robinson, A. P. L., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Spectral+modification+of+laser-accelerated+proton+beams+by+self-generated+magnetic+fields+Related+content+New+Journal+of+Physics+Spectral+modification+of+laser-accelerated+proton+beams+by+self-generated+magnetic+fields%5BTitle%5D)+AND+%22New+Journal+of+Physics%22%5BJournal%5D)">Spectral modification of laser-accelerated proton beams by self-generated magnetic fields Related content New Journal of Physics Spectral modification of laser-accelerated proton beams by self-generated magnetic fields.</a> New Journal of Physics. 11 (15), 83018(2009).</li>
<li>Treffert, F., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Design+and+implementation+of+a+Thomson+parabola+for+fluence+dependent+energy-loss+measurements+at+the+Neutralized+Drift+Compression+experiment%5BTitle%5D)+AND+%22Review+of+Scientific+Instruments%22%5BJournal%5D)">Design and implementation of a Thomson parabola for fluence dependent energy-loss measurements at the Neutralized Drift Compression experiment.</a> Review of Scientific Instruments. 89 (10), 103302(2018).</li>
<li>Pappalardo, A., Cosentino, L., Finocchiaro, P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((An+imaging+technique+for+detection+and+absolute+calibration+of+scintillation+light%5BTitle%5D)+AND+%22Review+of+Scientific+Instruments%22%5BJournal%5D)">An imaging technique for detection and absolute calibration of scintillation light.</a> Review of Scientific Instruments. 81 (3), 33308(2010).</li>
</ol>

著者は競合する財政的利益を持っていません。

いくつかのバリエーションでは、このプロトコルで説明されているターゲット製造プロセスが一般的である(例えば、Zaffinoら23)。ここで、自動測位の動作に重要な一つのユニークなステップは、ウエハの背面にリング状の領域にナノメートルスケールの粗化を加える(ステップ1.2.3)。この工程の目的は、それらの領域におけるウエハ上の光の拡散散乱を増加させることである。測距センサーは、ウエハーに低出力のレーザー光を照射し、散乱光を収集し、三角測量によって変位を決定します。
上記のデータは、5秒あたり1ショットのレートで取得され、レート制限要因はIPの翻訳時間です。ここに示されているのは、ショットデューティサイクルを増加させる簡単で安価なオンライン読み出し方法の予備的な結果です。オンライン読み出しは、伝統的にマイクロチャネルプレート24またはプラスチックシンチレータ25、26のいずれか...

An erratum was issued for:&#160;<a href="https://www.jove.com/t/61056">Automated Delivery of Microfabricated Targets for Intense Laser Irradiation Experiments</a>. The author list was updated.
The author list was updated from:
Yonatan Gershuni1,2, Michal Elkind1,2, Itamar Cohen1,2, Aviad Tsabary1,2, Deep Sarkar1,2, Ishay Pomerantz1,2 
1The School of Physics and Astronomy, Tel Aviv University, 
2Tel Aviv University Center for Light-Matter Interaction
to:
Yonatan Gershuni1,2, Michal Elkind1,2, Dolev Roitman1,2, Itamar Cohen1,2, Aviad Tsabary1,2, Deep Sarkar1,2, Ishay Pomerantz1,2 
1The School of Physics and Astronomy, Tel Aviv University, 
2Tel Aviv University Center for Light-Matter Interaction

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Erratum: Automated Delivery of Microfabricated Targets for Intense Laser Irradiation Experiments

固体標的の高強度レーザー照射は、複数の形態の放射線を発生させる。その一つがメガ電子ボルト(MeV)レベル1でエネルギーを持つエネルギーを持つイオンの放出である。MeVイオンのコンパクトな供給源は、プロトン高速点火2、陽子線X線撮影3、イオン放射線療法4、中性子発生5など多くの用途に可能性を秘めています。
レーザーイオン加速を実用化する上での大きな課題は、マイクロメータスケールのターゲットをレーザーの焦点内で正確に高いレートで配置できることです。この課題に対応するために開発されたターゲット配信技術はほとんどありませんでした。最も一般的なのは、マイクロメータースケールの厚いテープに基づくターゲットシステムです。これらのターゲットは補充が簡単で、レーザーの焦点内に容易に配置することができます。テープターゲットは、VHS6、銅7、マイラー、カプトン8 テープを使用して作られています。テープドライブシステムは、通常、巻き取りと巻き戻し用の2つの電動スプールと、テープを9位置に保つためにそれらの間に配置された2つの垂直ピンで構成されています。テープ表面の位置決め精度は、通常、焦点を合わせるビームのレイリー範囲よりも小さい。補充可能なレーザーターゲットの別のタイプは、液体シート10である。これらのターゲットは、相互作用領域に迅速に配信され、非常に少量の破片を導入します。このシステムは、リザーバからの液体を連続的に供給する高圧シリンジポンプを備えています。近年、超薄型、低残骸、補充可能な目標を送達する手段として新規極低温水素ジェット11 が確立された。
これらの補充可能なターゲットシステムの主な欠点は、強度、粘度、溶融温度などの機械的要件によって決定されるターゲット材料と幾何学の限られた選択肢です。
ここでは、0.2Hzの速度で高強度レーザーの焦点にマイクロマシン化されたターゲットを持ち込むことができるシステムについて説明する。マイクロマシニングは、汎用性の高いジオメトリ12で幅広いターゲット材料を提供しています。ターゲット位置決めは、商用変位センサと電動マニピュレータの間の閉ループフィードバックによって行われます。
ターゲット配信システムは、ターゲット上に500 mJで25 fs-longレーザーパルスを提供する高コントラスト、20 TWレーザーシステムを使用してテストされました。レーザーシステムのアーキテクチャのレビューはPorat et al.13で行われ、標的系の技術的な説明はGershuniら14で与えられている。本論文では、この種のシステムを作り、使用するための詳細な方法を提示し、超薄型金箔ターゲットからのレーザーイオン加速の代表的な結果を示す。
トムソン・パラボライオン分光計(TPIS)15,図1に示す16を、放出されたイオンのエネルギースペクトルを記録するために使用した。TPISでは、加速イオンは平行な電界と磁場を通過し、焦点面の放物線軌道に乗せられます。放物線曲率はイオンの電荷質量比に依存し、軌道に沿った位置はイオンのエネルギーによって設定されます。
TPISの焦点面に位置するBAS-TR撮像板(IP)17 は、衝突イオンを記録する。IPは、各ショットの前に新鮮な領域に翻訳できるように、機械的なフィードスルーに接続されています。

<table><tbody><tr><td>76.2 x 127mm EFL 90&deg;保護されたゴールド100&Aring;オフアクシスパラボラミラー</td><td>エドモンド光学系</td><td>35-535</td><td></td></tr><tr><td>MicroTrak 3 LTS 120-20</td><td>MTI Instruments</td><td></td><td></td></tr><tr>800nm <td>Thorlabs</td><td></td><td></td><td>用超高速高出力誘電体ミラー</td></tr></tbody></table>

激しいレーザー照射実験のためのマイクロ加工対象の自動送達

Automated Delivery of Microfabricated Targets for Intense Laser Irradiation Experiments

上述は、微細加工対象物の高出力レーザー照射を可能にする実験手順である。ターゲットは、ターゲットマニピュレータと測距センサーの間で動作する閉じたフィードバックループによってレーザーフォーカスに持ち込まれます。ターゲット製造プロセスについて詳しく説明します。0.2Hzの速度で600 nm厚い金箔を照射して生成したMeVレベルの陽子線の代表的な結果が与えられる。この方法は他の補充可能なターゲットシステムと比較され、ショットレートを10Hz以上に引き上げる見通しについて議論される。

このターゲット送達システムは、600nm厚金箔の裏側からイオンを加速するために採用された。0=5.6の正規化されたレーザー強度を照射した場合、これらのイオンは、ターゲットの正常シース加速(TNSA)機構21によって加速された。TNSAでは、主レーザーパルスに先行する低強度光が標的箔の前面をイオン化した。主なレーザーパルスによって発揮されるポンデボ感力は、バルク物質を通して熱い電子を駆動しました。これらの電子22によって誘導される裏面の電荷分離は、標的-常方向のイオン汚染物質を加速する極端な静電勾配を作り出した。
焦点軸に沿った目標変位の時系列を 図6に示します。値は、焦点位置の設定点に対して相対的です。緑色の点は、目標変位が設定点から 1 μm の許容値内にあった時点を示します。これはレーザーショットが撮影されたときです。
<strong class=...

高強度レーザーパルスを用いた薄い金箔の自動照射プロトコルを提示します。このプロトコルには、マイクロマシニングターゲット製造プロセスのステップバイステップの説明と、ターゲットが0.2Hzの速度でレーザーの焦点に持ち込まれる方法についての詳細なガイドが含まれています。

Described is an experimental procedure that enables high-power laser irradiation of microfabricated targets. Targets are brought to the laser focus by a ...

サブマイクロメートルスケールターゲットの強烈なレーザー放射実験は、現在、低速のショットレートで行われています。当社のプロトコルは、これらの目標を自動的にレーザーの焦点に素早く置くことによって、この課題を解決しました。当社のターゲットシステムは、ターゲットパラメータを小さな増分で変更した多数のレーザーショットを組み込んだデータと、高い全体的な放射線量の恩恵を受けるアプリケーションを収集することができます。このプロトコルの視覚的なデモンストレーションは、ウエハー製作プロセスとターゲットアライメントの微妙さを示します。ターゲット製造プロセスのデモンストレーションは、プロセスエンジニアのニリット・ポレッキ・シャメイとノファール・リヴニです。裏面を作製するには、直径250マイクロメートルの高応力シリコンウエハを、両面に窒化ケイ素でコーティングしたゼロゼロの結晶形成に使用します。ウエハースはアセトンとイソプロパノールで洗浄してください。次いでHMDSでウエハーをスピンコートし、粘着層を形成することに抵抗する。スピンコート AZ 1518 ポジティブフォトレジストでウエハース。ウエハースを摂氏100度で1分間焼きます。フォトリトグラフ1,000 x 1,000マイクロメートルの正方形の開口部を真空下で、ウエハーを4~7秒のサイクルで400ナノメートルのUVランプに曝露し、ウエハーが40ジュール/センチメートルの全体的なフルエンスにさらされるようにした。その後、AZ 726開発者を使用して、窒化ケイ素と脱水水の浴を露出させ、プロセスを停止します。反応性イオンエッチャーを使用して、四角の位置にある窒化ケイ素を除去します。ウェハをNMP浴に20分間置いて残留レジストとフォトレジストを除去し、マスクのレプリカを窒化ケイ素層に生成する。その後、淡水の下でそれを洗い、乾燥させます。水酸化カリウム30%の水酸化カリウム溶液でウエハーを沈め、正方形の開口部を通してシリコンをエッチングします。前部を作製するには、前に述べた手順を、3つの同心円状のリングとして形成されたマスクで繰り返します。反応性イオンエッチャーを使用してリングが置かれている窒化ケイ素を除去し、続いてNMPバスを使用してレジストとフォトレジストの残り物を取り除きます。硝酸にウエハを沈め、0.02モル硝酸銀と4モルフッ化水素の溶液に沈めることによって、シリコンリングを粗くします。ウエハーのエッチングされた側面には、物理的な蒸着機を使用して、接着剤チタン、ニッケル、またはクロムの10ナノメートルフィルムの上に数百ナノメートルの金の層をスパッタします。ビームをブロックし、高倍率の顕微鏡の下で最初のターゲットを視野に持って来ます。ターゲットに最も近い粗いリングにセンサーを測る三角測量を行い、その変位の読み取りを記録します。顕微鏡を所定の位置に残し、ウエハーを離してビームパスをクリアします。2つの折りたたみミラーとオフ軸放物鏡を使用して、ビームを低消費電力で顕微鏡の視野に合わせます。ビームの乱視を補正するために、これらの3つのミラーを調整します。結果は、ほぼ回折限られた焦点点であるはずです。レーザービームをブロックし、ターゲットを顕微鏡の焦点に戻します。次に、顕微鏡と測距センサーの読み取り値を使用して、その位置を検証します。ソフトウェアを使用して、以前に記録された変位値をセットポイントとして使用して、ターゲットの焦点軸マニピュレータと変位センサーの読み取りとの間に閉じたループフィードバックを実装します。閉じたループ位置決めが設定点から所望の許容距離に達したら、ターゲットに単一の高出力レーザーパルスを照射します。パーティクル診断のデータを記録し、ソフトウェアによってフォーカスされた次のターゲットでプロセスを繰り返します。この目標送達システムは、厚さ600ナノメートルの金箔の裏側からイオンを加速するために採用された。焦点軸に沿った目標変位の時系列を以下に示します。値は、焦点位置の設定点に対して相対的です。緑色の点は、目標変位が設定点から1マイクロメートルの許容値内にあった時点を示します。トムソン放物線イオン分光計の痕跡は、600ナノメートル厚金箔標的の14回連続照射から得られた。エネルギースペクトルはこれらの微量から導き出された。最大陽子エネルギーのピーク~ピーク安定性は、この手順に従って10%以内であったが、ニューロン生成の固体箔からのイオンおよび電子加速度の調査は系統的に行うことができる。

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Research

JoVE Journal

Engineering

工学

我々は、バックグラウンドガスの存在下でナノ秒パルスレーザー堆積（PLD）法によるナノ構造酸化物薄膜を堆積させるための実験方法を説明します。この方法AlドープZnO（AZO）膜を用いて、ナノツリー林の階層構造にコンパクトから、堆積させることができる。...

パルスレーザー蒸着法によるナノエンジニアリング透明導電性酸化物の作製

私たちは光電子部品のフリップチップ実装用のレーザー誘起フォワード転送（LIFT）技術の使用を示す。このアプローチは、ファインピッチの光電子用途のための高密度回路を実現するためのチップスケール上バンピングと接合するためのシンプルでコスト効率、低温、高速で柔軟なソリューションを提供する。...

シングルダイのフリップチップ実装用のレーザー誘起フォワード転送

私たちは、高粘度のAgペーストの印刷にレーザー誘起前方転写技術（LIFT）の使用を実演します。この技術は、マイクロスケールの2Dおよび3D構造を非リソグラフィーで印刷するための、シンプルで低温で堅牢なプロセスを提供します。...

銀ナノペーストのレーザー誘起フォワード転送

このプロトコルは、エッチングされたトポグラフィーガイダンスキューとハイドロゲルバイオインクを持つ細胞の精密な堆積を組み込んだ自動ロボット堆積システムを使用したバイオプリンティング方法論を説明しています。印刷されたセルは、エッチングされた形状に直接送達され、それらを使用して感知し、方向付けすることができます。...

細胞の表面のガイダンスとBioprintingための自動ロボット調剤技術

我々は、フェムト秒レーザー誘起アブレーションを使用して、サブ波長直径のシリカファイバ（光ナノファイバー）の1-Dフォトニック結晶空洞を製造するためのプロトコルを提示します。...

フェムト秒レーザー誘起アブレーションを用いたナノファイバー上の1次元フォトニック結晶共振器の作製

パルス レーザー堆積法とその場でマグネトロンスパッタ リングの組み合わせを使用して金属/そこで3/SrTiO3ヘテロ構造を作製します。磁気伝導特性とその場での x 線光電子分光実験を通じて、我々...

成長と静電/化学特性の金属/そこで3/SrTiO3ヘテロ構造

高品質バルク ・薄膜 (Mg0.25(1-x)CoxNi0.25(1-x)0.25(1-x)Cu Zn0.25(1-x)) の合成 O と (Mg0.25(1-x)Co0.25(1-x)Ni0.25(1-x)xCu Zn0.25(1-x))...

バルクと組成バリエーション エントロピー安定化酸化物薄膜合成

高強度フェムト秒レーザー光は、長距離にわたって強烈なサブ ミリ波径ビームを伝播するカー自己集束、プラズマのデフォーカスのサイクルを受けることができます。生成およびこれらのフィラメントを使用してリモート...

サブ Diffraction 限定画像、リモートセンシング用フェムト秒レーザーのフィラメント

ダイヤモンドビームラインI24でのシリアルシンクロトロン結晶学用の固定対象サンプル調製、データ収集、データ処理に関する包括的なガイドを提供します。...

ダイヤモンド光源での固定ターゲットシリアルデータ収集

ここで示すプロトコルは、哺乳類細胞内の細胞骨格構造を研究するために細胞形状を標準化するマイクロパターンの自動製作を可能にする。このユーザーフレンドリーな技術は市販のイメージ投射システムと設定することができ、標準的な細胞生物学の実験室にアクセスできない専門の装置を要求しない。...

赤外線レーザー支援マイクロパターンによる細胞形状の制御

このプロトコルは、3Dレーザー印刷を使用した埋め込み型統合イメージングウィンドウの作成について説明しています。このウィンドウは、マイクロレンズとマイクロスキャフォールドを組み合わせたシステムで構成されています。この方法では、生体適合性フォトレジストSZ2080の2光子重合(2PP)を連続的に行い、製造効率と異なるコンポーネント間のアライメントを最適化します。...

高度な In vivo イメージングのための微細構造イメージングウィンドウに統合された埋め込み型光学系の微細加工

学ぶ高強度レーザー照射実験におけるマイクロ加工対象の自動送達プロトコル。シリコンウェハーを用いた標的製造と0.2Hzでの自動位置合わせにより、高速データ収集と実験効率の向上を実現する方法を解説する。

激しいレーザー照射実験のためのマイクロ加工対象の自動送達

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