Name: 高感度バイオセンシングを可能にする溶液依存性インジウム-スズ-酸化物ベースのワンピーストランジスタの作製 (動画) | JoVE Journal
Uploaded: 2025-08-29T14:40:00.000+00:00
Duration: 10 min 45 s
Description: 学ぶ、ITO薄膜のエッチングによる溶液ゲート型ISFETの作製法。pHセンシングと高感度バイオセンシングのためのワンピーストランジスタ技術を確立し、サブスレッショルドスロープの急峻化による感度向上を実現する方法です。

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<ol><li>Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Biologically+coupled+gate+field-effect+transistors+meet+in+vitro+diagnostics%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Omega%22%5BJournal%5D)">Biologically coupled gate field-effect transistors meet in vitro diagnostics.</a> ACS Omega. 4 (7), 11852-11862 (2019).</li>
<li>Matsuo, T., Wise, K. D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((An+integrated+field-effect+electrode+for+biopotential+recording%5BTitle%5D)+AND+%22IEEE+Trans+Biomed+Eng%22%5BJournal%5D)">An integrated field-effect electrode for biopotential recording.</a> IEEE Trans Biomed Eng. BME-21 (6), 485-487 (1974).</li>
<li>Esashi, M., Matsuo, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Integrated+micro-multi-ion+sensor+using+field+effect+of+semiconductor%5BTitle%5D)+AND+%22IEEE+Trans+Biomed+Eng%22%5BJournal%5D)">Integrated micro-multi-ion sensor using field effect of semiconductor.</a> IEEE Trans Biomed Eng. BME-25 (2), 184-192 (1978).</li>
<li>Zaifuddin, N. M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((pH+sensor+based+on+chemical-vapor-deposition-synthesized+graphene+transistor+array%5BTitle%5D)+AND+%22Jpn+J+Appl+Phys%22%5BJournal%5D)">pH sensor based on chemical-vapor-deposition-synthesized graphene transistor array.</a> Jpn J Appl Phys. 52, 06GK04(2013).</li>
<li>Gou, P., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Carbon+nanotube+chemiresistor+for+wireless+pH+sensing%5BTitle%5D)+AND+%22Sci+Rep%22%5BJournal%5D)">Carbon nanotube chemiresistor for wireless pH sensing.</a> Sci Rep. 4, 4468(2015).</li>
<li>Kajisa, T., Yanagimoto, Y., Saito, A., Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Biocompatible+poly%28catecholamine%29-film+electrode+for+potentiometric+cell+sensing%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Sens%22%5BJournal%5D)">Biocompatible poly(catecholamine)-film electrode for potentiometric cell sensing.</a> ACS Sens. 3 (2), 476-483 (2018).</li>
<li>Sakata, T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ion-sensitive+transparent-gate+transistor+for+visible+cell+sensing%5BTitle%5D)+AND+%22Anal+Chem%22%5BJournal%5D)">Ion-sensitive transparent-gate transistor for visible cell sensing.</a> Anal Chem. 89 (7), 3901-3908 (2017).</li>
<li>Satake, H., Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electropolymerized+poly%28toluidine+blue+O%29+film+electrode+for+potentiometric+biosensing%5BTitle%5D)+AND+%22Sens+Mater%22%5BJournal%5D)">Electropolymerized poly(toluidine blue O) film electrode for potentiometric biosensing.</a> Sens Mater. 30 (10), 2333-2341 (2018).</li>
<li>Minamiki, T., Sekine, T., Aiko, M., Su, S., Minami, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((An+organic+FET+with+an+aluminum+oxide+extended+gate+for+pH+sensing%5BTitle%5D)+AND+%22Sens+Mater%22%5BJournal%5D)">An organic FET with an aluminum oxide extended gate for pH sensing.</a> Sens Mater. 31 (1), 99-106 (2019).</li>
<li>Nishida, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Self-oriented+immobilization+of+DNA+polymerase+tagged+by+titanium-binding+peptide+motif%5BTitle%5D)+AND+%22Langmuir%22%5BJournal%5D)">Self-oriented immobilization of DNA polymerase tagged by titanium-binding peptide motif.</a> Langmuir. 31 (2), 732-740 (2015).</li>
<li>Sakata, T., Nishitani, S., Kajisa, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Molecularly+imprinted+polymer-based+bioelectrical+interfaces+with+intrinsic+molecular+charges%5BTitle%5D)+AND+%22RSC+Adv%22%5BJournal%5D)">Molecularly imprinted polymer-based bioelectrical interfaces with intrinsic molecular charges.</a> RSC Adv. 10, 16999-17013 (2020).</li>
<li>Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Signal+transduction+interfaces+for+field-effect+transistor-based+biosensors%5BTitle%5D)+AND+%22Commun+Chem%22%5BJournal%5D)">Signal transduction interfaces for field-effect transistor-based biosensors.</a> Commun Chem. 7, 1-14 (2024).</li>
<li>Sarkar, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((MoS2+field-effect+transistor+for+next-generation+label-free+biosensors%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Nano%22%5BJournal%5D)">MoS2 field-effect transistor for next-generation label-free biosensors.</a> ACS Nano. 8 (4), 3992-4003 (2014).</li>
<li>Nam, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Fabrication+and+comparison+of+MoS2+and+WSe2+field-effect+transistor+biosensors%5BTitle%5D)+AND+%22J+Vac+Sci+Technol+B%22%5BJournal%5D)">Fabrication and comparison of MoS2 and WSe2 field-effect transistor biosensors.</a> J Vac Sci Technol B. 33 (6), 06FG01(2015).</li>
<li>Jafari, B. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Highly+sensitive+label-free+biosensor%3A+Graphene%2FCaF2+multilayer+for+gas%2C+cancer%2C+virus%2C+and+diabetes+detection+with+enhanced+quality+factor+and+figure+of+merit%5BTitle%5D)+AND+%22Sci+Rep%22%5BJournal%5D)">Highly sensitive label-free biosensor: Graphene/CaF2 multilayer for gas, cancer, virus, and diabetes detection with enhanced quality factor and figure of merit.</a> Sci Rep. 13 (1), 16184(2023).</li>
<li>Senguptaa, J., Hussain, C. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Graphene-based+field-effect+transistor+biosensors+for+the+rapid+detection+and+analysis+of+viruses%3A+A+perspective+in+view+of+COVID-19%5BTitle%5D)+AND+%22Carbon+Trends%22%5BJournal%5D)">Graphene-based field-effect transistor biosensors for the rapid detection and analysis of viruses: A perspective in view of COVID-19.</a> Carbon Trends. 2, 100011(2021).</li>
<li>Zhao, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Si+nanowire+Bio-FET+for+electrical+and+label-free+detection+of+cancer+cell-derived+exosomes%5BTitle%5D)+AND+%22Microsyst+Nanoeng%22%5BJournal%5D)">Si nanowire Bio-FET for electrical and label-free detection of cancer cell-derived exosomes.</a> Microsyst Nanoeng. 8, 57(2022).</li>
<li>Zhang, H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Design+and+fabrication+of+silicon+nanowire-based+biosensors+with+integration+of+critical+factors%3A+Toward+ultrasensitive+specific+detection+of+biomolecules%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Appl+Mater+Interfaces%22%5BJournal%5D)">Design and fabrication of silicon nanowire-based biosensors with integration of critical factors: Toward ultrasensitive specific detection of biomolecules.</a> ACS Appl Mater Interfaces. 12 (46), 51808-51819 (2020).</li>
<li>Sakata, T., Nishitani, S., Saito, A., Fukasawa, Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Solution-gated+ultrathin+channel+indium+tin+oxide-based+field-effect+transistor+fabricated+by+a+one-step+procedure+that+enables+high-performance+ion+sensing+and+biosensing%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Appl+Mater+Interfaces%22%5BJournal%5D)">Solution-gated ultrathin channel indium tin oxide-based field-effect transistor fabricated by a one-step procedure that enables high-performance ion sensing and biosensing.</a> ACS Appl Mater Interfaces. 13 (32), 38569-38578 (2021).</li>
<li>Katayama, R., Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Effect+of+surface+modification+on+the+fundamental+electrical+characteristics+of+solution-gated+indium+tin+oxide-based+thin-film+transistor+fabricated+by+one-step+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Langmuir%22%5BJournal%5D)">Effect of surface modification on the fundamental electrical characteristics of solution-gated indium tin oxide-based thin-film transistor fabricated by one-step sputtering.</a> Langmuir. 39 (12), 4282-4290 (2023).</li>
<li>Katayama, R., Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Simple+fabrication+method+for+solution-gated+one-piece+transistors+for+biosensing+applications%5BTitle%5D)+AND+%22ECS+Trans%22%5BJournal%5D)">Simple fabrication method for solution-gated one-piece transistors for biosensing applications.</a> ECS Trans. 111 (3), 37-43 (2023).</li>
<li>Katayama, R., Dong, X., Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Steep+subthreshold+slope+in+solution-gated+indium-tin-oxide-based+one-piece+thin-film+transistor+enables+highly+sensitive+biosensing%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Appl+Electron+Mater%22%5BJournal%5D)">Steep subthreshold slope in solution-gated indium-tin-oxide-based one-piece thin-film transistor enables highly sensitive biosensing.</a> ACS Appl Electron Mater. 7 (5), 1862-1870 (2025).</li>
<li>Nishimura, A., Katayama, R., Sakata, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Effects+of+surface+oxygen+vacancies+and+hydroxy+groups+on+electrical+characteristics+in+solution-gated+one-piece+indium-tin-oxide-based+field-effect+transistors%5BTitle%5D)+AND+%22Langmuir%22%5BJournal%5D)">Effects of surface oxygen vacancies and hydroxy groups on electrical characteristics in solution-gated one-piece indium-tin-oxide-based field-effect transistors.</a> Langmuir. 41 (1), 607-613 (2025).</li>
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溶液依存性イオン感受性電界効果トランジスタ(ISFET)は、生物学的環境1のイオンを検出するために提案されました。このデバイスでは、溶液に参照電極を使用することが不可欠ですが、金属酸化膜半導体(MOS)トランジスタの金属ゲートの代わりに、電解質溶液が溶液とゲート絶縁体の間の界面電位を誘導します。ゲート絶縁体は、主に Ta2O5、Al2O3、SiO2、Si3N4 などの酸化物または窒化物膜で構成されています。したがって、溶液中の酸化物または窒化物表面のヒドロキシル基は、pHの変化が電界効果の原理に基づいて表面電荷の変化から検出されるため、プロトン化(−OH + H + <img alt="Equation 1" src="/files/ftp_upload/68755/68755eq1.jpg" style="margin: auto;"> −OH2+)および脱プロトン化(−OH <img alt="Equation 1" src="/files/ftp_upload/68755/68755eq1.jpg" style="margin: auto;">−O- + H +)を介して水素イオンと平衡状態に達します(補足図1).これが、オリジナルのISFETセンサーがpHセンサーとして利用されている理由です。このようなISFETセンサーは、ほとんどがシリコン基板を持っていますが、最近では、電解液と接触するゲート絶縁体またはチャネル面をヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基4、5、6、7、8、9などの官能基で覆う必要がある、pH感受性ISFETセンサーにさまざまな半導体材料が適用されています。
このような溶液依存性ISFETは、ゲート絶縁体またはチャネル表面が生物学的または化学的に活性な受容体で修飾されており、一部の電子デバイスに組み込むことができるポータブルバイオセンサーに適用されています10、11、12。この生物学的に結合したゲート(チャネル)FETは、しばしばバイオFETと呼ばれ、体液に含まれる生体分子またはイオンの電荷を検出することにより、定量的および選択的なバイオセンシングを実現する必要があります。さらに、最近では、MoS2、WSe213,14、グラフェン15,16、Si ナノワイヤ17,18 など、さまざまな低次元材料がバイオ FET の感度を高めるために利用されています。しかし、構造と製造プロセスに関連する複雑さにより、低次元バイオFETは通常、チャネル、ソース/ドレイン電極、ゲート絶縁フィルムに異種の材料を必要とするため、広く使用されていません。
私たちの以前の研究では、導電性酸化物であるITOが厚さ~20 nm19,20,21,22と小さくなると半導体になるという事実に基づいて、酸化インジウムスズ(ITO)の一体シートが2次元(2D)のようなバイオFETとして機能することを明らかにしました。導電性ITO単膜の中間部分を酸性溶液でエッチングして超薄型にすることで、半導体チャネルを備えた一体型ITOの作製が可能になり、ソース電極とドレイン電極、および界面のないチャネルを完全に統合することができます21,22。次に、ITOチャネル表面を参照電極でサンプル溶液に浸し、溶液依存性ITO-ISFETとして機能化します。溶液依存性ワンピース ITO-ISFET は、従来の溶液依存性シリコンベースの ISFET と比較して、主に ITO チャネル表面がサンプル溶液と直接接触することに起因する急なサブスレッショルド勾配 (SS) を示します (補足図 1B)。これは、ITOチャネル/溶液界面における比較的大きな電気二重層静電容量が、SS19、20、21、22を決定する支配的な要因として機能することを意味します。さらに、溶液依存性ワンピースITO-ISFETは、化学熱力学的関係(すなわち、ネルンスト方程式)4,19,21に従ってpH応答性を示します。水溶液と接触しているITOチャネル表面は、他の酸化物または窒化物膜と同じように、pHに応じて正電荷を持つ水素イオンとの平衡状態を維持するヒドロキシ基を都合よく持っています2,3。さらに、溶液依存性一体型ITO-ISFETを官能基化することで、ウイルスやDNA分子などの生体分子を検出することができました20,22。
この記事では、バイオセンシング用のソリューションゲート一体型ITO-ISFETを簡単かつ迅速に製造する方法について説明します。特に、製造のためのフォトリソグラフィーおよびエッチングプロセスは単純に使用され、次に電解質溶液が参照電極でITOチャネル表面に添加される。つまり、サンプル溶液は溶液ゲート電極として機能します。そのため、ソリューションゲートの一体型ITO-ISFETは、わずか半日の製造工程で得られるpHセンサーとして機能します。

<table><tbody><tr><td>1M HCl</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>083-01095</td><td></td></tr><tr><td>2-プロパノール</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>166-04831</td><td></td></tr><tr><td>アセトン</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>019-00353</td><td></td></tr><tr><td>Agワイヤー</td><td>ニラコ社</td><td>AG-401385</td><td></td></tr><tr><td>寒天</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>010-15815</td><td></td></tr><tr><td>緩衝液標準(リン酸塩pH標準等モル溶液)pH6.86(25°C)</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>025-03195</td><td></td></tr><tr><td>緩衝液標準液(フタル酸エステルpH標準溶液)pH4.01(25°C)</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>028-03185</td><td></td></tr><tr><td>緩衝液標準液(四ホウ酸塩pH標準溶液)pH9.18(25°C)</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>028-03205</td><td></td></tr><tr><td>カーボンテープ</td><td>日清EM</td><td>7321</td><td></td></tr><tr><td>電気化学分析装置</td><td>BAS機器</td><td>618 E</td><td></td></tr><tr><td>フィルムマスク</td><td>うの技研株式会社</td><td></td><td>オーダーメイド</td></tr><tr><td>ホットプレート</td><td>アズ・ワン・コーポレーション</td><td>ND-1</td><td></td></tr><tr><td>メタノール</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>137-01823</td><td></td></tr><tr><td>マイクロカバーガラス</td><td>松波硝子工業株式会社</td><td>12&回;24 No.5</td><td>ガラス基板用</td></tr><tr><td>マイクロピペット</td><td>エッペンドルフ SE</td><td>3123000055</td><td></td></tr><tr><td>NMD-3</td><td>東京大華工業株式会社</td><td>NMD-3</td><td></td></tr><tr><td>OFPR-800型</td><td>東京大華工業株式会社</td><td>OFPR-800型</td><td></td></tr><tr><td>リン酸塩pH標準溶液</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>166-17445</td><td></td></tr><tr><td>フォトリソグラフィ機</td><td>ニュートロニクス・クインテル</td><td>PhL Q-2001CT</td><td></td></tr><tr><td>ポタシウムクロライド</td><td>富士フイルム和光ピュアケミカルズ株式会社</td><td>163-03545</td><td></td></tr><tr><td>半導体デバイスパラメータアナライザ</td><td>キーサイト</td><td>B1500A型</td><td>ソフトウェアバージョン:リビジョン5および6</td></tr><tr><td>半導体デバイスパラメータアナライザソース測定ユニット</td><td>キーサイト</td><td>B1517A型</td><td>ソース、ドレイン、ゲート用&NBSP;&nbsp;</td></tr><tr><td>半導体デバイスパラメータアナライザテストフィクスチャ</td><td>キーサイト</td><td>B1500A オプション A5F</td><td></td></tr><tr><td>シリコンOリング</td><td>MasuokaTokyo Co., Ltd.</td><td>P-5</td><td></td></tr><tr><td>スピンコーター</td><td>ミカサ株式会社</td><td>MS-A100</td><td></td></tr><tr><td>スパッタリング装置</td><td>アルバック株式会社</td><td></td><td>オーダーメイド</td></tr><tr><td>SU-8 3005型</td><td>日本化薬株式会社</td><td>SU8-3005</td><td></td></tr><tr><td>SU-8 現像液</td><td>日本化薬株式会社</td><td>SU-8 現像液</td><td></td></tr><tr><td>超音波浴</td><td>株式会社SND</td><td>US-102</td><td></td></tr><tr><td>白色光干渉計</td><td>キーエンス株式会社</td><td>VK-X3000</td><td></td></tr></tbody></table>

高感度バイオセンシングを可能にする溶液依存性インジウム-スズ-酸化物ベースのワンピーストランジスタの作製

Fabrication of a Solution-gated Indium-Tin-Oxide-based One-piece Transistor Enabling Sensitive Biosensing

図2Aは、エッチング中に測定された電流の変化(IDS0)を示しています。IDS0 は、エッチング開始後約 800 秒でほぼ一定のままでした。さらにエッチングを進めると、I DS0は急速に減少し始めました。これは、ITO膜の厚さが減少し、ITO膜19の空乏層の厚さに近づいていたことを示している。これにより、キャリアとしての電子は表面電位によってチャネル内で影響を受け始め、導電率は低下しました。
エッチング時間は、最初のIDS0の約3%〜90%であるIDS0を得るために制御されました。つまり、IDS0の減少率を制御することによって、ITOチャネルの厚さが変更されました。すべてのデバイスについて、トランジスタ特性は室温でPBで測定されました。その...

A simple and rapid method to fabricate a solution-gated one-piece indium-tin-oxide (ITO)-based ion-sensitive field-effect transistor (ISFET) (ITO-ISFET) ...

fabrication-solution-gated-indium-tin-oxide-based-one-piece

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