Focused Ion Beams in Microfabrication

Focused ion beams are used in microfabrication and nano-fabrication. A focused ion beam, or FIB, is an instrument that can fabricate, trim, analyze, and characterize materials on micro- and nano-scales. These tools are used in many fields, from nano-electronics to medicine.

FIB systems work with ...

Focused Ion Beam은 마이크로 및 나노 규모로 재료를 제작, 트리밍, 분석 및 특성화하는 데 사용할 수 있는 기기입니다. Focused Ion Beam은 전자 제품에서 의학에 이르기까지 다양한 분야에서 사용됩니다.

집속 이온 빔 시스템은 진공 상태에서 액체 금속 이온을 가속하여 빔을 형성합니다. 일련의 전자기 렌즈를 사용하여 빔을 직경 약 10나노미터의 영역에 집중시킬 수 있습니다. Focused Ion Beams의 이온이 목표물에 부딪히면 일부 대상 물질이 스퍼터링됩니다.

낮은 1차 빔 전류에서는 스퍼터링이 거의 발생하지 않으며 빔을 이미징에 사용할 수 있습니다. 더 높은 전류...