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방법 논문

ICPMS 샘플 소개를위한 미세 유체 칩

11.2K 조회수

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DOI:

10.3791/52525

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2015년 3월 5일

이 논문에서

요약

우리는 유도 결합 플라즈마 질량 분석법 (ICPMS) 미국 이산 액적 샘플 도입 시스템을 제시한다. 그것은 90 내지 7000 Hz의 주파수로 40-60 ㎛의 크기 범위 고도로 단 분산 액 적을 생성 저렴하고 일회용 미세 유체 칩에 기초한다.

초록

이 프로토콜은 유도 결합 플라즈마 질량 분석법 (ICPMS)에 대한 샘플 도입 시스템과 같은 저가의 일회용 미세 유체 칩의 제조 및 사용을 설명한다. 이 칩은 퍼플 (PFH)에서 단 분산시킨 수용액 방울을 생성합니다. 크기 및 수성 액적 주파수는 각각 40~60 μm의 범위 및 90 내지 7000 Hz로 변화 될 수있다. 액 PFH의 제 2 유동로 칩으로부터 토출 분사시 그대로 유지된다. 맞춤형 탈 시스템은 PFH를 제거하고 ICPMS에 방울을 전송합니다. 여기서, 좁은 강도 분포와 매우 안정적인 신호는 방울의 단분 산성을 나타내는 측정 할 수있다. 우리는 도입 시스템 정량적 단일 소 적혈구 철을 결정하는데 이용 될 수 있음을 보여준다. 향후 도입 장치의 기능을 용이하게 부가적인 마이크로 유체 모듈의 적분에 의해 확장 될 수있다.

서론

유도 결합 플라즈마 질량 분석법 (ICPMS)에 의한 액체 시료의 원소 분석은 일반적으로 도입 시스템 (1)으로 분사 챔버와 조합 분무기를 사용하여 수행된다. 이 샘플 도입 시스템에서는 샘플은 다 분산 에어로졸을 생성하기 위해 에어로졸 생성기에 의해 분무된다. 스프레이 하류 챔버는 큰 방울을 필터링하는 데 사용된다. 이 방법은 높은 샘플링 소비 (> 0.3 ml의 분 -1) 및이 불완전한 샘플 운송과 관련된다. 따라서, 그것은 단지 ㎕의 샘플 볼륨, 생물학적 법의학, 독성 및 임상 시험 3에서와 같이 사용 가능한 애플리케이션에 비실용적. 샘플 소비를 줄이기 위해 작은 노즐 치수 분무기 3을 개발 하였다. 그러나, 감소 된 노즐 크기는 소화되지 않은 생물학적 유체 또는 농축 염 용액의 시료 3을 분석 할 때 막힘의 위험을 증가시킨다.

시료 도입에 대한 다른 접근 방법은 Olesik 등. (4)에 의해 제안되었다. 저자는 피에조 전기 구동 마이크로 펌프에 의해 생성 된 단 분산 이산 미세 방울의 형태 ICPMS 내로 액체를 주입. 바로이 시스템은 다양한 응용 프로그램을 발견하지 못했지만, 그것은 ICPMS 이산....

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프로토콜

1. SU-8 마스터 제작 (그림 2)

주 : 먼지 입자에 의한 결함을 방지하기 위해 클린 룸에서 SU-8 마스터 몰드의 제조를 수행한다. 두 웨이퍼 제조, 마이크로 유체 기능과없이 하나 하나의 웨이퍼 필요합니다.

  1. 마이크로 유체 칩의 마스터 몰드를 준비합니다. 먼저 실리콘 웨이퍼에 접착층을 적용한다.
    1. 200 ℃에서 10 분 동안 실리콘 웨이퍼 탈수. RT까지 웨이퍼 쿨 다음과 같은 프로토콜을 사용하여 SU-8 스핀 코터, 스핀 코트 여기에 2002을에로드합니다.
    2. 약 3 ml의 분배는 웨이퍼 상에 레지스트.
    3. 이 웨이퍼 전체에 걸쳐 확산 레지스트 10 초 동안 500 rpm으로 상기 웨이퍼를 스핀.
    4. 약 2 ㎛의 레지스트 높이를 달성하기 위해 30 초 동안 2000 rpm에서 스핀 웨이퍼.
  2. 아세톤을 적신 면봉으로 웨이퍼의 가장자리에서 초과 저항 제거를 방지하기 위해다음 단계에서 핫 플레이트로 웨이퍼의 고집. 핫 플레이트에 95 ° C에서 60 초 동안 웨이퍼를 굽는다.
  3. 자외선 (80 엠제이 / 365 nm에서 cm 2)와 웨이퍼 전체를 노출. 포스트 베이크 120 초에 95 ° C에서....

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결과

제시된 시스템은 세포 또는 용액 또는 나노 입자를 함유하는 현탁액의 소량을 측정하는 데 사용될 수있다. 단 전지의 표준 용액 및 특성의 측정의 예는 여기에 도시되어있다. 더 많은 예제는 Verboket 등. (22)에서 찾을 수 있습니다.

통상적으로 용액의 단일 방울의 신호는 매우 짧은 경우이다. 보통 몇 백 26 마이크로 초 동안 지속된다. 여기에 사용 ICPMS으로. 이런 짧은 신호가 일시적으로 해결 될 수없는 (시간이 10 밀리 초를 거)도 7a 및 그림은 나 표준 용액의 신호 주파수 분포 히스토그램을 보여 7b는. 소적 시간적 지터> 10 밀리와 플라즈마에 도착한다. 검출은 비동기이다. 하나 (201 ± 24), 두 (381 ± 34) 또는 세 (560 ± 45)의 신호는 물방울 하나 드웰 시간 내에 감지됩니다. 신호 .......

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토론

칩의 제조가 매우 안정 있지만 특별한주의를 필요로하는 제조시 몇 가지 중요한 포인트가 있습니다. 먼저, 조립시에는 먼지 청결도 칩의 오염을 방지하는 것이 매우 중요하다. 먼지는 채널을 차단하고 안정적​​인 액적 발생을 방지 할 수있다. 둘째, 노즐 팁은 직교 채널 잘려진 특히 중요하다. 절삭 각도 강하게 분사 각도에 영향을 미친다. 액체 토출 각도 경우는 액 적이 토출 손실이 발생할 수있다.

설치를 구축 할 때이 안정적인지 확인합니다. 금속 튜브와 어댑터의 수직 정렬이 중요하다. 또한 측정시 특별한주의가 필요한 몇 가지 포인트가있다. 어댑터에 칩의 삽입은 신중하게 수행되어야한다. 그것은 삽입시 제트가 중단 정지되는 경우가 발생할 수 있습니다. 세포 위치와 오리에와 측정을 위해주사기 펌프와 튜브의 ntation 중요하다. 이들의 적절한 배치는 주사기 튜브에 세포를 침전 줄일 수있다.

여기에 제시된 짐을 싣다 칩은 기존의 상업 .......

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공개 사항

저자는 경쟁하는 금전적 이해관계가 없음을 선언합니다.

감사의 글

이 작업은 European Research Council(ERC Starting Grant nμLIPIDS, No. 203428)과 ETH Zurich(프로젝트 번호: ETH-49 12-2)의 지원을 받았습니다. 이 원고의 저자는 ICP-MS에 도움을 준 Bodo Hattendorf와 세포 계수에 대해 F. Kurth에게 감사를 표합니다. 저자는 또한 기계 장치 구축에 도움을 준 Christoph Bärtschi와 Roland Mäder에게 감사를 표합니다. ETH Zurich의 클린룸 시설 FIRST는 미세 가공을 지원하는 것으로 인정받았습니다.

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재료

이 논문에 사용된 재료 목록
이름회사카탈로그 번호댓글
실리콘 웨이퍼 100 mmSi-Mat (Kaufering, 독일)
SU-8 2002Microchem Corp. (매사추세츠, 미국)
SU-8 2050Microchem Corp. (미국 매사추세츠)
AcetoneMerk VWR (독일 다름슈타트)100014
MR-developer 600Microresist Technology GmbH (독일 베를린)
IsopropanolMerk VWR (독일 다름슈타트)109634
1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrichlorosilaneABCR-Chemicals(독일 카를스루에)AB111155
Sylgard 184 실리콘 엘라스토머 키트(PDMS)DowCorning(미국 미시간)39100000
퍼플루오로헥산 99%시그마-알드리치(미국 미주리)
FC-40ABCR-Chemicals (독일 카를스루에)AB103511
인산염 완충 식염수 Life Technologies(영국 페이즐리) 10010-015
인산염 완충 식염수 내 적혈구Rockland Immunochemicals Inc.(미국 펜실베니아) R400-0100
단일원소 표준용액 Na, FeInorganic Ventures(미국 버지니아)
다중 요소 표준 솔루션 Merck Millipore (미국 매사추세츠)
질산서브 보일드
초고순도 물Merck Millipore (미국 매사추세츠)
웨이퍼 준비에 사용되는핫 플레이트 HP 160 III BMSawatec (Sax, 스위스)
스핀 모듈 SM 180 BMSawatec (Sax, 스위스)웨이퍼준비에 사용되는
고해상도 필름 포토마스크Microlitho (Essex, U.K.)
스텝 프로파일러 Dektak XT 고급Bruker  (미국 매사추세츠주)
핫 플레이트 MR 3002Heidolph (Schwabach, Germany)복제 성형에 사용됩니다 
1.5mm 생검 펀처Miltex(미국 펜실베니아)33-31AA/33-31A
스핀 코터  WS-400 BZ-6NPP/LITELaurell (미국 펜실베니아)접착 본딩에 사용되는
주사기 펌프 neMESYSCetoni (Korbussen, Germany)
1 ml 주사기 Codan (Lensahn, 독일) 62.1002
5ml 주사기 B. Braun (독일 멜숭겐) 4606051V
PTFE 튜브 PKM SA (스위스, Lyss) PTFE-AWG-TFT20입니다. N
사중극자 기반 ICPMS ELAN6000PerkinElmer(미국 매사추세츠) 
Membrane desolvator CETAC6000AT+CETAC Technologies(미국 네브래스카) 탈용매 장치만 사용
카메라 Miro M110Vision Research (미국 뉴저지)
데이터 분석 프로그램 Origin proOriginLab Corp. (미국 매사추세츠)버전 8.6
현미경Olympus(일본 도쿄)IX71
281042IV는 고속

참고문헌

  1. Todoli, J. -L., Mermet, J. -M. Liquid sample introduction in ICP spectrometry: A Practical Guide. , Elsevier. Amsterdam. 10-1016 (2008).
  2. Sutton, K. L., B'Hymer, C., Caruso, J. A. Ultraviolet absorbance....

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