용매 증발 기반 다공성 제어 기술을 사용한 Soft Capacitive Pressure Sensor의 감도 향상

Ziying Zhu; Yunqi Cao; Haozhen Chi; Xiaowei Wang; Dibo Hou

doi:10.3791/65143

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방법 논문

용매 증발 기반 다공성 제어 기술을 사용한 Soft Capacitive Pressure Sensor의 감도 향상

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DOI:

10.3791/65143

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2023년 3월 24일

Ziying Zhu¹ , Yunqi Cao¹ , Haozhen Chi¹ , Xiaowei Wang¹ , Dibo Hou¹

¹State Key Laboratory of Industrial Control Technology, College of Control Science and Engineering, Zhejiang University

이 논문에서

요약

용매 증발 기술을 기반으로 하는 간단하고 비용 효율적인 제조 방법이 제시되어 성형 PDMS/톨루엔 용액의 다양한 질량비를 사용하여 유전층의 다공성 제어로 구현되는 소프트 용량성 압력 센서의 성능을 최적화합니다.

초록

소프트 압력 센서는 소프트 로봇 및 햅틱 인터페이스에서 "인간-기계" 촉각을 개발하는 데 중요한 역할을 합니다. 특히, 미세 구조 폴리머 매트릭스가 있는 정전식 센서는 높은 감도, 넓은 선형성 범위 및 빠른 응답 시간으로 인해 상당한 노력을 기울여 연구되었습니다. 그러나 감지 성능의 향상은 종종 정교한 미세 가공 시설이 필요한 유전체층의 구조 설계에 의존합니다. 이 기사에서는 다공성을 조정하기 위해 용매 증발 기반 방법을 사용하여 감도가 향상된 다공성 정전 용량 압력 센서를 제조하는 간단하고 저렴한 방법을 보고합니다. 이 센서는 탄성 전도성 고분자 복합재(ECPC)로 만들어진 상단 및 하단 전극과 결합된 다공성 폴리디메틸실록산(PDMS) 유전체층으로 구성됩니다. 전극은 탄소 나노튜브(CNT)가 도핑된 PDMS 전도성 슬러리를 몰드 패턴의 PDMS 필름에 긁어 코팅하여 제조되었습니다. 향상된 감지 성능을 위해 유전체층의 다공성을 최적화하기 위해 PDMS 용액을 당 공극 형성제(PFA)를 다양한 크기로 여과하거나 분쇄하는 대신 다양한 질량 분율의 톨루엔으로 희석했습니다. 톨루엔 용매의 증발은 제어 가능한 다공성을 갖는 다공성 유전체층의 빠른 제조를 가능하게 하였다. 톨루엔 대 PDMS 비율을 1:8에서 1:1로 증가시켰을 때 감도가 2배 더 향상될 수 있음을 확인했습니다. 이 연구에서 제안된 연구는 조정 가능한 센서 매개변수의 소프트 감각 기계 수용체를 사용하여 완전히 통합된 생체 공학 소프트 로봇 그리퍼를 제조하는 저비용 방법을 가능하게 합니다.

서론

최근 몇 년 동안, 유연한 압력 센서는 소프트 로봇^공학 1,2,3, "인간-기계"햅틱 인터페이스 (^4,5) 및 건강 모니터링⁽^6,7,8)에 없어서는 안될 응용 프로그램으로 인해 주목을 받고 있습니다. 일반적으로, 압력 감지를 위한 메커니즘은 압전 저항 ^1,4,7, 압전 ^2,6, 용량 성 2,3,9,10,11,12,13 및 마찰 전기 8을 <....