Изготовление однородных наномасштабных полостей с помощью кремниевой прямой вафельной связи

Описан метод постоянного склеивания двух кремниевых пластин, чтобы реализовать единый корпус. Это включает в себя подготовку пластины, очистка, RT связи, и annealing процессов. Полученные кабальные (клетки) имеют однородность корпуса 1%^1,2. Полученная геометрия позволяет измерять ограниченные жидкости и газы.