Name: 다중 입자 Phonon은 감금 모델 라만 분광학을 이용하여 나노 결정 크기 분포의 특성 (동영상) | JoVE Journal
Uploaded: 2015-08-22T14:00:00.000+00:00
Duration: 6 min 54 s
Description: 배우세요 다중 입자 포논 감금 모델 라만 분광법을 이용하여 반도체 나노결정의 크기 분포를 비파괴적으로 분석하는 방법을. 이 기술은 전자현미경 결과와 일치하며 빠르고 신뢰할 수 있습니다.

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이 연구는 네덜란드 과학연구기구(NWO) 산하 물질기초연구재단(FOM)의 연구 프로그램의 일부였습니다. 이 작업의 저자는 숙련된 기술 지원을 제공한 M. J. F. van de Sande, TEM 이미지를 제공한 M. A. Verheijen, PL 측정을 제공한 Tom Gregorkiewicz 그룹에게 감사드립니다.

1. 실험 기획 <ol><li> 합성 또는 관심 (13) (그림 1a)의 나노 결정을 구하십시오. </li><li> 기판 재료는 나노 결정 (그림 1a)의 라만 스펙트럼의 피크를 중복이없는 것을 확인하여 배경 신호에 혼란을 피하십시오. </li><li> 라만 분광법 설정의 레이저를 켭니다. 레이저 강도를 안정화하기위한 충분한 시간 (약 15 분)을 기다립니다. </li><li> 나노 물질의 부피 기준은 벌크 물질의 피크 위치로부터의 단계 2에 기재된 측정 다음 단계 (12) (도 1B), 상대적인 어긋남 12 견적을 분석하는 측정. </li><li> 측정 할 예정 나노 결정에 서로 다른 능력을 사용하여 라만 측정에 필요한 레이저 파워를 추정한다. 충분한 신호 (에 피크 강도의 비율을 얻기 위해 가능한 최저 전력 측정을 시작배경 잡음)은 적어도 50 일, 필요한 경우 라만 피크는 동일한 12,13 유지 나노 결정의 위치 및 모양만큼, 레이저 전력을 증가한다. </li></ol> 관심의 나노 결정 2. 라만 분광학 <ol><li> 측정 챔버로 기판 상에 증착 된 나노 결정 입자와 함께 샘플을 로딩. 주 : 기판 치수 (cm 수십 밀리미터 일 수있다)와 같은 그것이 샘플 홀더의 스테이지에 맞는만큼 중요하지 않다. 수십 나노 미터의 최소 라만 분광기에서 검출 된 신호를 가지고에서 분말 또는 박막 두께가 있어야한다. 평면 기판 홀더 스테이지, 간단히 광학계 (도 1b) 아래에 기판을 배치. <ol><li> 반드시 &quot;레이저&quot;및 확인 &quot;활성&quot;조명 운영 레이저 불필요한 조명으로부터 안전하기 위해 도어를 열기 전에 떠난다. 이 표시등이 꺼져 있지 않은 경우, 단계 작업을 수행 (2)0.5 및 2.6. &quot;연동&quot;기호는 항​​상 켜져 있습니다. </li><li> 를 눌러 &quot;문 릴리스&quot;및 측정 챔버의 문을 열고, 샘플 홀더 단계 (그림 1b)에 샘플을 넣어. </li></ol></li><li> 조정 샘플의 초점은 가능한 가장 높은 신호를 얻기 위해 측정한다. <ol><li> 50X 목표를 선택하고 나노 분말 (그림 1b)의 표면에 초점을 맞 춥니 다. </li><li> 샘플 홀더의 z 방향 조작을 사용하여 초점에서 샘플을 가져와. 컴퓨터 화면에 라이브 카메라 뷰에서 포커스 된 이미지의 선명도를 확인합니다. </li><li> 측정 챔버의 문을 닫습니다. </li><li> Renishaw의 소프트웨어에서 &quot;셔터 아웃&quot;버튼을 클릭하여 셔터를 제거하고 샘플에 레이저 광 빛을 측정 할 수 있습니다. &quot;레이저&quot;및 &quot;활성&quot;징후가 지금 녹색으로 깜박 각각 빨간색으로 깜박 것을 관찰한다. s의 라이브 영상에서creen, 레이저는 눈에 보이는 (그림 1C)입니다. </li><li> 라이브 이미지에서 미세 조정 최적의 초점 가장 작은 레이저 스폿은, 라이브 영상에서 관찰 될 때까지 휠 조작을 사용하여 샘​​플의 초점. </li></ol></li><li> (도 1D) 후술 Renishaw의 분석 소프트웨어로 측정을 설정한다. <ol><li> &quot;측정&quot;에서 새로운 스펙트럼 획득 옵션을 선택합니다. </li><li> (A)의 (1, 30 초, 2 배와 같은 인수의 총 수, 및 0.5 %로서, 레이저 파워의 백분율로 측정 시간을 설정 - 팝업창에서 150-700센티미터 측정 범위를 설정할 25 mW의 레이저)를 측정하는 동안 사용된다. 매개 변수를 삽입하고, 윈도우가 닫힙니다에 동의합니다. </li><li> 메뉴 바에서 수집 시작 버튼을 클릭하여 측정을 시작합니다. 측정하는 동안 &quot;레이저&quot;와 &quot;활성&quot;조명이 유지됩니다에. </li></ol></li><li> 이 빛은 레이저가 작동하고 측정이 수행되는로있을 때 측정 챔버를 열지 마십시오. </li><li> 측정이 완료되면, Renishaw의 소프트웨어에서 버튼 &quot;에서 셔터&quot;를 클릭하여에 셔터를 넣어. &quot;레이저&quot;와 &quot;활성&quot;의 불빛이 꺼져 있는지 관찰한다. 를 눌러 &quot;문 릴리스&quot;다음 측정 챔버의 문을 엽니 다. </li><li> 측정 시료 및 시료를 제거하는 확대 렌즈의 표면 사이의 안전 거리가 될 때까지 시료를 취출하기 전에, Z-매니퓰레이터와 시료 홀더 단계 하향 조정한다. 그런 다음, 그 용기로 다시 샘플을 넣어. </li><li> 레이저를 끕니다. </li><li> Renishaw의 소프트웨어 형식 &quot;.wxd&quot;에 데이터를 저장하고, 텍스트 파일 형식 &quot;이 .txt&quot;. 후자는 실험 데이터의 분석에 사용한다. </li></ol> 3. 크기 DISTRIBUT관심 나노 결정의 이온 결정 <ol><li> 나노 결정 측정을위한 측정의 텍스트 파일 및 벌크 참조를 연다. </li><li> 데이터를 플로팅하기 전에, 큐빅 스플라인을 사용하여 평활화 한 상대적인 피크 시프트 좋은 비교를 위해 가장 높은 피크 위치 (1)에 데이터를 정상화. </li><li> 실리콘 나노 결정과 기준 실리콘 데이터를 플롯 기준 규소의 피크 위치를 결정하고, 521cm -1의 실제 피크 위치에서 존재하는 경우, 시프트 량을 추정한다. (12)는 그 후이 .txt 등 가공 된 실리콘 나노 결정 데이터를 저장할 파일. </li><li> 피팅 절차를 시작합니다. <ol><li> 피팅 절차를 들면, 티카 같은 분석 프로그램으로 그림 2 층에 표시된 피팅 함수를 입력합니다. </li><li> &quot;가져 오기&quot;명령을 사용하여 비선형 피팅 모델의 입력으로 정규화 및 보정 데이터를 가져. </li><li> 간격 있는지 확인비대칭 0.1과 1.0 사이이고, 평균 크기 간격은 2 nm 내지 20 nm의 사이에있다. </li><li> 필요한 경우, 피팅 함수를 사용하여 측정 된 피크 아래에 추가적인 피크 (들)을 삽입하고 다른 서브 분포 (들)에 맞도록 단계 3.4.2 및 3.4.3을 반복한다. </li><li> 눌러 피팅 절차를 수행하기 위해 &quot;Shift + Enter를&quot;. </li><li> 그 후, 평균 크기와도 2b에 도시 된 미리 정의 된 일반적인 분포 함수에 대한 비대칭 얻어진 값을 삽입. </li><li> 그 후,도 2b에 도시 된 미리 정의 된 일반적인 분포 함수에, 평균 크기, D 0 및 사행도, σ에 대해 얻어진 값을 삽입한다. </li><li> 1 나노 미터로 적분의 하한을 설정합니다. 라만 스펙트럼에서 어떤 변화 12 (SI-나노 20 나노 미터)를 나타내지 않는 크기를 통합의 상한을 설정합니다. </li><li> 그림 2b의 분포 함수를 통합 </strong&gt; 적분 함수 정의에게 데이터 분석을 이용하여 적분 경계 (SI-1-20 nm의 나노 결정에 대한)로 낮고 높은 크기를 설정 프로그램 플로팅 나노 크기의 함수로서. D 대 플롯 Φ (D)의 크기 분포를 제공합니다. 대안 적으로, 크기가 D D 대 (예를 들어, 1-20 nm 인 1 증분 SI-NC에 대한 ㎚) 및 플롯 Φ (D)의 각 값에 대해 Φ (D) 값들의 세트를 찾기 유통. </li><li> 멀티 모달 크기 분포가 존재하는 경우, 첫 번째 피크는 다른 크기 분포에 대한 설치하여야 정의합니다. 다음에, 제 (사이즈 분포 판정 절차) 측정 데이터 컨벌루션 후에 얻어진 각 피크의 영역을 발견하고 대한 각 피크의 면적 비율을 계산하여 서로에 대해 상이한 크기 분포의 부피 분율을 추정 총 라만 피크. </li></ol></li></ol>

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먼저 논의 점 프로토콜 내에서 중요한 단계이다. 관심 물질과 겹치는 피크를하지 않게하기 위해, 단계 120에서 설명한 바와 같이, 기판 재료의 다른 형태를 사용하는 것이 중요하다. SI-NC에 관심있는 경우, 예를 들면, 라만 측정에 실리콘 기판을 사용하지 않는다. 도 1에서, 예를 들면, SI-나노 대략적 관심 범위의 주위에 완전히 평평 신호를 갖는 플렉시 유리 기판, 즉, 480~530cm에 합성 - 1. 또한 이동 될 수 있기 때문에, 단계 140에서 설명한 바와 같이 나노 결정 - 관련 피크의 시프트를 추정하는 벌크 기준 신호를 측정 할뿐만 아니라, 그 동작에 따라, 또한 벌크 재료의 피크의 정확한 위치를 찾는 것이 중요 라만 분광기의 환경 조건. SI-나노 결정의 경우에있어서, 기준 샘플은 t 알려진 결정질 실리콘 웨이퍼이며,. (1) (12) 그러나,이 주위 조건 및 강도 좋아하는 운영 레이저의 온도의 결과로서 시프트시킬 수 <su...

자신의 전자 및 광학 특성이 단순히 해당 여기자 - 보어 반경에 비해 범위의 크기를 변경하여 조정할 수 있습니다으로 반도체 나노 결정은 관심을 그립니다. (1)이 고유의 크기에 의존하는 다양한 기술 응용 프로그램에 대한 이러한 나노 관련합니다. 예를 들어, 반송파 곱셈 효과, 고 에너지 광자의 CdSe, 실리콘 및 게르마늄의 나노 결정에 의해 흡수 될 때, 태양 전지 분야에서 스펙트럼 변환의 개념에 사용될 수 관찰 2 - 4 또는 크기 - 의존적 광 방출 PBS-나노 및 Si-나노 다이오드 (LED) 애플리케이션을 발광에 이용할 수있다. -5,6- 나노 결정의 크기 분포에 대한 정확한 지식을 제어하므로 신뢰성에 결정적인 역할을하고이를 근거로이 기술의 애플리케이션의 성능을 재생할 나노 결정합니다. 치수 (d)에 대한 일반적으로 사용되는 기법나노 결정 istribution 및 형태 분석은 X 선 회절 (XRD), 투과형 전자 현미경 (TEM), 광 발광 스펙트럼 (PL), 및 라만 분광법으로 나열 될 수있다. XRD는 분석 자료의 형태 정보를 알 수 결정 기법이다. 회절 피크의 넓어짐으로부터, 나노 사이즈의 추정은도 7은 다소 명확한 데이터를 얻는 것은 일반적으로 시간 소모적 인 것이 가능하다. 또한, XRD은 나노 결정 크기 분포의 평균의 계산을 가능하게 할 수있다. 멀티 모달 크기 분포의 존재에서, XRD와 크기 분석은 오해의 소지가 될 수 있으며 잘못된 해석을 초래할. TEM은 멀티 모달 분포에서 개별 분포의 존재를 공개 할 수 있지만 TEM은 나노 결정의 촬상을 가능하게하는 강력한 기술이다.도 8에서, 샘플 준비 문제는 측정 전 소요되는 노력은 항상. 또한, 조밀 나노 작업서로 다른 크기의 크리스탈 앙상블 때문에 개별 나노 결정의 이미징 어렵 도전. 광 발광 스펙트럼 (PL)의 광학 분석 기술이며, 광학적으로 활성 인 나노 입자가 진단 될 수있다. 나노 결정 크기 분포는 크기 의존성 발광으로부터 얻어진다. 9 인해 간접 밴드 갭 나노 입자의 효과를 감금 될 수없는 큰 나노 결정 결함이 풍부한 작은 나노 결정들의 불량한 광학 특성을 PL과 관측 된 크기에 의해 검출 될 수없는 유통은 좋은 광학적 특성을 가진 나노 결정으로 제한됩니다. 이러한 전술 한 기술 각각은 그 자체의 장점을 가지고 있지만, 그 중 어느 것도로부터 이상화 된 크기 분석 기법 (즉 비파괴, 안정적인 고속 인이다)의 기대를 충족시키는 능력이 없다. 나노 결정의 크기 분포를 분석하는 또 다른 수단은 라만 분광기이다. 라만 분광법 널리 사용할 수 있습니다실험실에서의 대부분, 그리고 신속하고 비파괴적인 기술이다. 또한, 대부분의 경우에, 샘플 준비가 필요하지 않다. 라만 분광 분석 물질의 상이한 모폴로지 (결정질 또는 비정질)에 대한 정보를 얻기 위해 사용될 수있다 진동 기술, 및 (주파수 스펙트럼에 나타나는 포논 모드의 크기 - 의존적 시프트)에서 크기 관련 정보 인 . 10 라만 분광기의 고유 기능은 크기 - 의존적 변화가 주파수 스펙트럼의 변화, 포논 피크의 형상 (넓히고, 비대칭)로 관찰하면서 나노 결정 크기 분포의 형상에 관한 정보를 제공한다는 것이다. 따라서, 분석은 나노 결정의 크기 분포를 얻기 위해 라만 스펙트럼에서 필요한 정보, 즉, 평균 크기와 형상 계수를 추출 원리에있다. 멀티 모달 크기 분포의 경우 하위 분포 별도로 deconvolu 통해 식별 될 수있다실험 라만 스펙트럼의 기. 문헌에서, 두 이론 일반적 라만 스펙트럼의 형상에 나노 결정의 크기 분포의 영향을 모델링하기 위해 언급된다. 채권 극성 모델 (BPM) (11)는 그 크기 내의 모든 채권의 기여에서 나노 결정의 극성에 대해 설명합니다. 한 입자 포논 가둠 모델 (PCM) (10)는 특정 크기의 나노 결정의 라만 스펙트럼을 정의하는 사이즈 의존성 물리적 변수, 즉, 결정 운동량 포논 주파수 및 분산, 그리고 협착의 정도를 사용한다. 이들 변수들은 실제 크기에 의존하기 때문에, 명시 적으로 나노 크기의 함수로서 공식화 할 수 PCM의 분석적 표현은 정의 될 수있다. 일반적인 사이즈의 분포 함수에 대한이 식을 투영하기 때문에 nanocr를 결정하는데 사용될 수있다 PCM 내의 크기 분포의 효과를 설명 할 수있을 것이다실험 라만 스펙트럼에서 ystal 크기 분포. 12

<table><tbody><tr><td>라만 분광법</td><td>Renishaw</td><td>In Via</td><td>514 nm Ar 이온 레이저</td></tr><tr><td>장착 와이어 3.0</td><td>Renishaw</td><td></td><td>라만 분광학 기록 도구</td></tr><tr><td>Mathematica</td><td>Wolfram</td><td></td><td>피팅 기능 및 크기 결정용</td></tr><tr><td>기판</td><td></td><td></td><td>플렉시 유리(Si-NC와의 신호 일치 방지)</td></tr><tr><td>Si 웨이퍼</td><td></td><td></td><td>Si-NC 피크 위치</td></tr><tr><td>광발광 분광법</td><td></td><td></td><td>334nm Ar 레이저에 대한 참조. 광학 크기 분포용.</td></tr><tr><td>투과 전자 현미경 빔</td><td></td><td></td><td>강도 300 kV. 나노결정 크기 및 형태 측정용.</td></tr></tbody></table>

다중 입자 phonon은 감금 모델 라만 분광학을 이용하여 나노 결정 크기 분포의 특성

Characterization of Nanocrystal Size Distribution using Raman Spectroscopy with a Multi-particle Phonon Confinement Model

나노 결정의 크기 분포의 분석은 그 크기 의존성의 특성 및 처리 최적화 중요한 요구 사항이다. 크기 분석에 사용되는 일반적인 방법은 투과 전자 현미경 (TEM), X 선 회절 (XRD) 및 광 발광 스펙트럼 (PL)이다. 이러한 기술은, 그러나, 동시에 빠르고 비파괴에 나노 결정 크기 분포를 확실하게 분석하는 데 적합하지 않다. 본 연구에서 우리의 목적은, 사이즈 의존성 포논 가둠 효과의 대상이되어, 반도체 나노 결정의 크기 분포를 정량적으로 설명하기 라만 분광기를 이용하여 비파괴 빠르고 안정적​​인 방식으로 추정 될 수있다. 더욱이, 혼합 된 크기 분포는 별도로 프로브 될 수 있으며, 각각의 체적 비율은이 기술을 이용하여 추정 될 수있다. 크기 분포를 분석하기 위해, 우리는 하나의 입자 (P)와 PCM의 발현 분석을 공식화 한분석 된 나노 결정의 크기 분포를 나타내는 것이다 일반 분포 함수에 그것을 rojected. 모델 실험으로, 우리는 멀티 모달 크기 분포와 무료 서 실리콘 나노 결정 (SI-나노)의 크기 분포를 분석 하였다. 예상 크기 분포는 우리의 모델의 신뢰성을 공개, TEM 및 PL 결과와 잘 일치하고 있습니다.

크기 분석 도구로 라만 분광법을 사용하기 위해, 모델. 필요한 측정 된 라만 스펙트럼의 크기와 관련된 정보를 추출 2 분석 다중 입자 포논 가둠 모델을 요약도. 12 전체 둘레 의존 포논 가둠 기능 (도를 (2) c) 로그 정규 분포 함수로 선택 일반 크기 분포 함수 (도 2 (B)) 상에 투영된다. 반값 (도 2 E), 및 주파수 시프트 (도 2 (F))의 진폭 값 (도 2 (D))을, 전체 폭을 감안할 때, 이러한 모델이 성공적으로 크기 분포를 결정하는데 사용될 수있다. 도 3은 여러 부분의 사용을 상상한다icle 포논 제한 모델은 SI-나노 결정의 크기 분포를 (자세한 내용은 따를 것이다)를 결정합니다. TEM ...

우리는 분석적으로 정의 된 다중 입자 포논 가둠 모델을 이용한 라만 분광기를 이용하여 정량 방식으로 반도체 나노 결정의 크기 분포를 결정하는 방법을 보여준다. 얻어진 결과는 투과 전자 현미경 및 광 발광 스펙트럼과 같은 다른 크기의 분석 기술과 우수한 일치한다.

다중 입자 Phonon은 감금 모델 라만 분광학을 이용하여 나노 결정 크기 분포의 특성

Analysis of the size distribution of nanocrystals is a critical requirement for the processing and optimization of their size-dependent properties. The ...

이 실험 절차의 전반적인 목적은 라만 분광법을 사용하여 나노입자의 크기 분포를 빠르고 신뢰할 수 있으며 비파괴적인 방식으로 결정하는 것입니다. 이를 위해 먼저 분석 대상 나노입자의 라만 스펙트럼을 획득합니다. 두 번째 단계에서는 측정 데이터를 분석하고 다중 입자 포논 가둠 모델(multi particle phon confinement model)을 사용하여 데이터 내의 하위 분포를 찾아냅니다.다음으로, 적합 모델로부터 하위 분포의 평균 크기와 너비 계수를 결정합니다. 마지막 단계는 획득한 파라미터들을 사용하여 관심 대상인 나노입자의 실제 크기 분포를 결정하는 것입니다. 최종적으로, 라만 분광법을 통해 나노입자 크기 분포를 빠르고 신뢰할 수 있으며 비파괴적인 방식으로 결정할 수 있음을 보여줍니다.투과 전자 현미경 및 X선 회절과 같은 기존 방법과 비교했을 때 이 기술의 주요 장점은 라만 분광법이 비파괴적인 방식으로 빠르고 신뢰할 수 있는 결과를 제공하며, 대부분의 실험실에서 즉시 사용할 수 있다는 점입니다. 먼저 관심 있는 나노 결정을 합성하십시오. 플라스마 강화 화학 기상 증착법을 사용하여 유리 기판 위에 실리콘 나노 결정을 증착하십시오.본 과정에서는 약 2에서 120 nm 크기의 실리콘 나노 결정(silicon nano crystals)을 합성하며, 이는 2~10 nm 및 40~120 nm 범위의 이봉 분포(bimodal distribution)를 나타냅니다. 다음으로, 라만 분광법(raman spectroscopy) 장치의 레이저를 켜고 레이저 강도가 안정화될 수 있도록 약 15분 동안 예열합니다. 작동 중인 레이저의 원치 않는 조명으로부터 안전을 확보하기 위해, 문을 열기 전 레이저와 활성 표시등이 꺼져 있는지 확인하십시오. 그 후 도어 버튼을 누릅니다.측정 챔버의 문을 열고 개방합니다. 시료 홀더 스테이지 위에 시료를 놓습니다. 50x 대물렌즈를 선택하고 나노 결정 분말의 표면에 초점을 맞춥니다.그런 다음 측정 챔버의 문을 닫으십시오. 이어서 셔터 아웃(shutter out) 버튼을 클릭하여 셔터를 제거합니다. 이제 실시간 이미지에서 레이저 표시등은 녹색으로 깜빡이고 활성(active) 표시등은 빨간색으로 깜빡여야 합니다.라이브 이미지에서 레이저 스폿이 가장 작게 보일 때까지 휠 조작기를 사용하여 샘플의 초점을 조정합니다. 그런 다음 측정 툴바에서 새로운 스펙트럼 획득(spectral acquisition) 옵션을 선택하십시오. 팝업 창에서 측정 범위를 150에서 700 inverse centimeters 사이로 설정합니다. 측정 시간은 30 seconds, 총 획득 횟수는 2회로 설정하고, 레이저 출력 백분율은 25 milliwatt 레이저 기준으로 0.5%로 설정하십시오.다음으로, 메뉴 바의 획득 시작 버튼을 클릭하여 측정을 시작합니다. 측정이 완료되면 셔터 닫기 버튼을 클릭하여 셔터를 닫고, 데이터를 A WXD 파일과 TXT 파일로 각각 저장합니다. 텍스트 파일은 실험 데이터 분석에 사용됩니다.레이저와 액티브 라이트가 꺼져 있는지 확인하십시오. 그런 다음 도어 릴리즈 버튼을 누르고 측정 챔버의 문을 엽니다. 이후 이 과정을 반복하여 나노 물질의 벌크 기준물을 측정하십시오.벌크 재료의 피크 위치에서 얻은 기준 시료를 사용하여 상대적 이동을 추정합니다. 데이터를 플롯하기 전에 먼저 나노 Krystal 측정값과 벌크 기준값의 측정 텍스트 파일을 엽니다. 큐빅 스플라인(cubics, spline)을 사용하여 데이터를 평활화하고, 가장 높은 피크 위치에서 데이터 값이 1이 되도록 정규화합니다.상대적인 피크 이동을 효과적으로 비교하기 위해, 실리콘 나노 결정과 기준 실리콘 데이터를 그래프로 그립니다. 기준 실리콘의 피크 위치를 결정하고, 실제 피크 위치인 521 inverse centimeters로부터 이동이 발생했다면 그 양을 추정합니다. 그런 다음 공정 처리된 실리콘 나노 결정 데이터를 TXT 파일로 저장합니다.그 다음, 피팅 절차를 시작합니다. 여기에 표시된 피팅 함수를 Mathematica와 같은 분석 프로그램에 입력하십시오. 왜도(skewness)의 구간은 0.1에서 1.0 사이로, 평균 크기 구간은 2 nm에서 20 nm 사이로 설정하십시오. 피팅 절차를 위해, 먼저 정규화 및 보정된 데이터를 비선형 피팅 모델의 입력값으로 가져옵니다.import 명령어를 사용하여 shift와 enter를 눌러 피팅 과정을 수행합니다. 그 후, 얻어진 평균 크기와 왜도 값을 여기에 표시된 사전 정의된 일반 분포 함수에 삽입합니다. 마지막으로, 여기에 표시된 크기 분포 식을 강조 표시하고, plot 명령어를 사용하여 분포의 하한 및 상한 값을 2에서 15 nanometers로 설정하여 크기 분포를 도식화합니다.여기에 표시된 시료의 입자들은 투과 전자 현미경을 통해 측정되었으며, 나노입자의 바이모달(bimodal) 크기 분포를 갖는 것으로 확인되었습니다. 작은 나노입자의 크기는 2에서 10 nm 사이였으며, 큰 나노입자의 크기는 40에서 120 nm 사이였습니다. 라만 스펙트럼 분석 결과, 작은 입자들의 크기 분포가 실제로 2에서 10 nm 범위에 있음이 밝혀졌습니다.분포는 평균 크기가 4.2 nanometers이고 왜도가 0.27인 로그 정규 분포인 것으로 나타났습니다. 라만 분광법은 두 가지 서로 다른 유량의 실란을 사용하여 형성된 실리콘 나노입자의 미세한 크기 차이를 측정하는 데 이상적인 방법입니다. 유량을 3 standard cubic centimeters per second에서 10으로 증가시키자 평균 입자 직경은 감소했고 왜도는 약간 증가했습니다. 이 기술을 숙달하면 적절하게 수행했을 때 단 몇 분 만에 완료할 수 있습니다.

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Research

연구

JoVE Journal

Engineering

공학

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다중 입자 Phonon은 감금 모델 라만 분광학을 이용하여 나노 결정 크기 분포의 특성

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