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JoVE Journal Engineering
Compact Lens-less Digital Holographic Microscope de Inspeção MEMS e Caracterização
Visible-light Induced Reduction of Graphene Oxide Using Plasmonic Nanoparticle
Journal (Engineering)
Visible-light Induced Reduction of Graphene Oxide Using Plasmonic Nanoparticle
Measurement of Coherence Decay in GaMnAs Using Femtosecond Four-wave Mixing
Journal (Engineering)
Measurement of Coherence Decay in GaMnAs Using Femtosecond Four-wave Mixing
 
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Compact Lens-less Digital Holographic Microscope de Inspeção MEMS e Caracterização

Article DOI: 10.3791/53630-v • 10:28 min • July 5th, 2016
July 5th, 2016 •
1, 1, 1, 2, 1,2
1School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, 2d'Optron Pte Ltd

챕터

요약
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Nós apresentamos um sistema holográfico digital compacta reflexão (CDHM) para inspeção e caracterização de dispositivos de MEMS. Um design de lente-less usando uma onda de entrada divergentes proporcionando ampliação geométrica natural é demonstrado. Ambos os estudos estáticos e dinâmicos são apresentados.

Tags

Engenharia Edição 113 holografia digital sistema de imagem medição fase quantitativa microscopia os testes não destrutivos MEMS
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