Name: 고주파 마 그 네트 론 스퍼터 링 GdBa2Cu3O7−δ의 라0.67SrTiO3 (STO) 단 결정 기판에 Sr0.33MnO3 준 bilayer 영화 / (동영상) | JoVE Journal
Uploaded: 2019-04-12T12:30:00.000+00:00
Duration: 6 min 49 s
Description: 배우세요 고주파 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 STO 단결정 기판에 LSMO 나노입자와 GBCO 초전도 박막을 균일하게 증착하는 방법을 익히세요. 이 기술은 진공 장비와 박막 성장 기술을 이해하는 데 도움을 줍니다.

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이 작품은 국립 자연 과학 재단의 중국 (No. 51502168;에 의해 지원 되었다 No.11504227)와 상하이 시 자연 과학 재단 (No.16ZR1413600). 저자는 기꺼이 유능한 기술 지원에 대 한 경 음악 분석 센터의 상해 Jiao 집게 대학 및 Ma-테크 분석 실험실을 감사합니다.

1. 기판 및 대상 준비
참고:이 섹션에서는 스퍼터 증 착 챔버 및 단 결정 SrTiO3 (STO) 기판의 준비를 설명합니다.
<ol><li>10 m m x 10 m m SrTiO3 (STO) 단일-크리스탈 기판은 RF 마 그 네트 론 스퍼터 링 프로세스를 사용 합니다.</li>
	<li>순차적으로 소 프로 파 놀과 각 초음파 목욕에 실 온에서 10 분 동안 이온된 수 기판 청소. 다음 건조 질소는 기판 기판 및 좋은 영화 준수의 복.</li>
	<li>실버 파우더 전도성 접착제와 기판 홀더에 (001) STO 기판 탑재 합니다. 진공 챔버에 로드 합니다.</li>
	<li>마 그 네트 론 주입 총에서 LSMO 대상 탑재 하 고 총을 재조립 하십시오. 마 그 네트 론 및 주변 방패 사이 단락을 방지 하는 ohmmeter와 저항을 테스트 합니다. 진공 챔버 폐쇄 닫기 고 아래로 펌프.</li>
	<li>일단 진공 1 x 10-4 Pa 보다 낮습니다, 850 ° c에 15 ° C/분 집합 8 cm 대상 기판 거리의 승 온 속도 사용 하 여 기판이 열.</li>
	<li>O의 10 sccm 및 5 sccm의 Ar 가스 흐름 작업으로 질량 유량 컨트롤러를 설정 합니다. 아칸소를 사용 하 여 / O 혼합 가스 라0.67Sr0.33MnO3 소재 O 양이온 비율 (3) 성장 하는 동안 계속.</li>
	<li>증 착 하기 전에 미리 20 분 30 W. 높은 전력으로 이어질 것입니다 대상에서 균열에 대 한 LSMO 대상 스퍼터 그리고 우리가 선택할 W. 30 20 분 깨끗 한 표면에 대 한 더 많은 시간을 끌 것입니다 저전력을 사용 하 여</li>
</ol>2. LSMO 나노 입자 증 착
참고:이 섹션에서는 RF 마 그 네트 론 스퍼터 링에 의해 LSMO 나노 입자의 증 착을 설명합니다.
<ol><li>25의 약 실 압력을 얻기 위해 Pa, 분자 펌프 부 목 밸브 조정. 인스턴트 값 25 보다 더 큰 되고있다 경우 펜 실바 니 아, 회전 시계 반대 방향으로; 그것은 25Pa 보다 작은 되 고, 만약 시계 방향으로 회전 합니다. 압력 안정적인 값을 가라앉을 때까지 계속 합니다.</li>
	<li>기판 온도 850 ° C에서 유지 하 고 안정 되어 확인 하십시오.</li>
	<li>플라즈마 안정화 될 때까지 10 분, 대기 W. 80 30에서 마의 힘을 증가.</li>
	<li>셔터를 열고 LSMO 온수 기판에 입금 합니다. 참고: 우리가 사용 하는 5, 10, 30, 60의 스퍼터 링 시간 4 개 샘플에 대 한 s.</li>
	<li>셔터를 닫습니다. 마 하 전원 차단. 가스 밸브를 닫고 히터 전원 차단.</li>
	<li>차가운 실내 온도에 샘플. 일반적으로,이 아니라 적어도 2 시간 걸립니다이 시스템에. 건조 질소 챔버 환기, 연 고 예제를 제거 합니다.</li>
</ol>3. GdBa2Cu3O7−δ 필름 증 착
<ol><li>마 총에서 GdBa2Cu3O7−δ대상 탑재 다음 총을 재조 립. 1.4-2.8 단계와 유사한 단계를 사용 하 여 어떤 (Gd) BCO 영화 입금. 30 분 되어야 스퍼터 링 시간을 제외 하 고 LSMO 나노 입자에 관해서는 (Gd) BCO 영화에 대 한 유사한 증 착 조건을 사용 합니다. 이 후, 성장, 그리고 단계는 후 열 처리.</li>
	<li>500 ° c 샘플 온도 감소 그런 다음 1 시간 동안이 온도에서 샘플 75000 실바 대기의 약 실 압력을 주고 산소의 가스 밸브를 엽니다. 참고: 500 ° C 및 75000의 챔버 압력 온도 Pa LSMO 나노 입자를 균일 하 게 달성을 위한 됩니다.</li>
	<li>차가운 실내 온도에 샘플. 건조 질소 챔버 환기, 연 고 예제를 제거 합니다.</li>
</ol>

<ol><li>Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Lattice+distortion+modified+anisotropic+magnetoresistance+in+epitaxial+La0.67Sr0.33MnO3+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Alloys+and+Compounds%22%5BJournal%5D)">Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films.</a> Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).</li>
<li>Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetoelectric+coupling+in+oxygen+deficient+La0.67Sr0.33MnO3-%CE%B4%2FBaTiO3+composite+film%5BTitle%5D)+AND+%22Physica+B%3A+Condensed+Matter%22%5BJournal%5D)">Magnetoelectric coupling in oxygen deficient La0.67Sr0.33MnO3-δ/BaTiO3 composite film.</a> Physica B: Condensed Matter. 534, 141-144 (2018).</li>
<li>Duan, Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Facile+fabrication+of+micro-patterned+LSMO+films+with+unchanged+magnetic+properties+by+photosensitive+sol-gel+method+on+LaAlO3+substrates%5BTitle%5D)+AND+%22Ceramics+International%22%5BJournal%5D)">Facile fabrication of micro-patterned LSMO films with unchanged magnetic properties by photosensitive sol-gel method on LaAlO3 substrates.</a> Ceramics International. 42 (12), 14100-14106 (2016).</li>
<li>Xu, P., Huffman, T. J., Kwak, I. H., Biswas, A., Qazilbash, M. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Temperature+dependent+infrared+nano-imaging+of+La0.67Sr0.33MnO3+thin+film%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Physics-Condensed+Matter%22%5BJournal%5D)">Temperature dependent infrared nano-imaging of La0.67Sr0.33MnO3 thin film.</a> Journal of Physics-Condensed Matter. 30 (2), (2018).</li>
<li>Bulaevskii, L. N., Chudnovsky, E. M., Maley, M. P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetic+pinning+in+superconductor-ferromagnet+multilayers%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">Magnetic pinning in superconductor-ferromagnet multilayers.</a> Applied Physics Letters. 76 (18), 2594-2596 (2000).</li>
<li>Chen, C. Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Flux+pinning+of+stress-induced+magnetic+inhomogeneity+in+the+bilayers+of+YBa2Cu3O7%E2%88%92%CE%B4%2FLa0.67Sr0.33MnO3%E2%88%92%CE%B4%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Flux pinning of stress-induced magnetic inhomogeneity in the bilayers of YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3−δ.</a> Journal of Applied Physics. 106 (9), 093902(2009).</li>
<li>Chen, C. Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Robust+high-temperature+magnetic+pinning+induced+by+proximity+in+YBa2Cu3O7%E2%88%92%CE%B4%2FLa0.67Sr0.33MnO3+hybrids%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Robust high-temperature magnetic pinning induced by proximity in YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 hybrids.</a> Journal of Applied Physics. 109 (7), 073921(2011).</li>
<li>Huang, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetic+properties+of+%28CoFe2O4%29x%3A%28CeO2%291%E2%88%92x+vertically+aligned+nanocomposites+and+their+pinning+properties+in+YBa2Cu3O7%E2%88%92%CE%B4+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Magnetic properties of (CoFe2O4)x:(CeO2)1−x vertically aligned nanocomposites and their pinning properties in YBa2Cu3O7−δ thin films.</a> Journal of Applied Physics. 115 (12), 123902(2014).</li>
<li>Lange, M., Bael, M. J. V., Bruynseraede, Y., Moshchalkov, V. V. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Nanoengineered+Magnetic-Field-Induced+Superconductivity%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Nanoengineered Magnetic-Field-Induced Superconductivity.</a> Physical Review Letters. 90 (19), 197006(1970).</li>
<li>Rakshit, R. K., Budhani, R. C., Bhuvana, T., Kulkarni, V. N., Kulkarni, G. U. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Inhomogeneous+vortex-state-driven+enhancement+of+superconductivity+in+nanoengineered+ferromagnet-superconductor+heterostructures%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+B%22%5BJournal%5D)">Inhomogeneous vortex-state-driven enhancement of superconductivity in nanoengineered ferromagnet-superconductor heterostructures.</a> Physical Review B. 77 (5), 052509(2008).</li>
<li>Guo, H., Ward, T. Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Fabrication+of+Spatially+Confined+Complex+Oxides%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Visualized+Experiments%22%5BJournal%5D)">Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides.</a> Journal of Visualized Experiments. 77, e50573(2013).</li>
<li>Wang, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Improvement+of+flux+pinning+in+GdBa2Cu3O7-delta+thin+film+by+nanoscale+ferromagnetic+La0.67Sr0.33MnO3+pretreatment+of+substrate+surface%5BTitle%5D)+AND+%22Ceramics+International%22%5BJournal%5D)">Improvement of flux pinning in GdBa2Cu3O7-delta thin film by nanoscale ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 pretreatment of substrate surface.</a> Ceramics International. 44 (1), 225-230 (2018).</li>
<li>Martín, J. I., Vélez, M., Nogués, J., Schuller, I. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Flux+Pinning+in+a+Superconductor+by+an+Array+of+Submicrometer+Magnetic+Dots%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Flux Pinning in a Superconductor by an Array of Submicrometer Magnetic Dots.</a> Physical Review Letters. 79 (10), 1929-1932 (1997).</li>
<li>Morgan, D. J., Ketterson, J. B. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Asymmetric+Flux+Pinning+in+a+Regular+Array+of+Magnetic+Dipoles%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Asymmetric Flux Pinning in a Regular Array of Magnetic Dipoles.</a> Physical Review Letters. 80 (16), 3614-3617 (1998).</li>
<li>Gutierrez, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Anisotropic+c-axis+pinning+in+interfacial+self-assembled+nanostructured+trifluoracetate-YBa2Cu3O7%E2%88%92x+films%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">Anisotropic c-axis pinning in interfacial self-assembled nanostructured trifluoracetate-YBa2Cu3O7−x films.</a> Applied Physics Letters. 94 (17), 172513(2009).</li>
<li>Tran, D. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Enhanced+critical+current+density+in+GdBa2Cu3O7-%CE%B4+thin+films+with+substrate+surface+decoration+using+Gd2O3+nanoparticles%5BTitle%5D)+AND+%22Thin+Solid+Films%22%5BJournal%5D)">Enhanced critical current density in GdBa2Cu3O7-δ thin films with substrate surface decoration using Gd2O3 nanoparticles.</a> Thin Solid Films. 526 (0), 241-245 (2012).</li>
<li>Jha, A. K., Khare, N., Pinto, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Interface+engineering+using+ferromagnetic+nanoparticles+for+enhancing+pinning+in+YBa2Cu3O7-delta+thin+film%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Interface engineering using ferromagnetic nanoparticles for enhancing pinning in YBa2Cu3O7-delta thin film.</a> Journal of Applied Physics. 110 (11), (2011).</li>
<li>Casotti, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ageing+effects+on+electrical+resistivity+of+Nb-doped+TiO2+thin+films+deposited+at+a+high+rate+by+reactive+DC+magnetron+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Surface+Science%22%5BJournal%5D)">Ageing effects on electrical resistivity of Nb-doped TiO2 thin films deposited at a high rate by reactive DC magnetron sputtering.</a> Applied Surface Science. 455, 267-275 (2018).</li>
<li>Li, Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Preparation+of+single-phase+Ti2AlN+coating+by+magnetron+sputtering+with+cost-efficient+hot-pressed+Ti-Al-N+targets%5BTitle%5D)+AND+%22Ceramics+International%22%5BJournal%5D)">Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets.</a> Ceramics International. 44 (14), 17530-17534 (2018).</li>
<li>Mahdhi, H., Djessas, K., Ben Ayadi, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Synthesis+and+characteristics+of+Ca-doped+ZnO+thin+films+by+rf+magnetron+sputtering+at+low+temperature%5BTitle%5D)+AND+%22Materials+Letters%22%5BJournal%5D)">Synthesis and characteristics of Ca-doped ZnO thin films by rf magnetron sputtering at low temperature.</a> Materials Letters. 214, 10-14 (2018).</li>
<li>Shen, H., Wei, B., Zhang, D., Qi, Z., Wang, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetron+sputtered+NbN+thin+film+electrodes+for+supercapacitors%5BTitle%5D)+AND+%22Materials+Letters%22%5BJournal%5D)">Magnetron sputtered NbN thin film electrodes for supercapacitors.</a> Materials Letters. 229, 17-20 (2018).</li>
<li>Sinnarasa, I., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Influence+of+thickness+and+microstructure+on+thermoelectric+properties+of+Mg-doped+CuCrO2+delafossite+thin+films+deposited+by+RF-magnetron+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Surface+Science%22%5BJournal%5D)">Influence of thickness and microstructure on thermoelectric properties of Mg-doped CuCrO2 delafossite thin films deposited by RF-magnetron sputtering.</a> Applied Surface Science. , 244-250 (2018).</li>
<li>Thi-Thuy-Nga, N., Chen, Y. -H., Chen, Z. -M., Cheng, K. -B., He, J. -L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Microstructure+near+infrared+reflectance%2C+and+surface+temperature+of+Ti-O+coated+polyethylene+terephthalate+fabrics+prepared+by+roll-to-roll+high+power+impulse+magnetron+sputtering+system%5BTitle%5D)+AND+%22Thin+Solid+Films%22%5BJournal%5D)">Microstructure near infrared reflectance, and surface temperature of Ti-O coated polyethylene terephthalate fabrics prepared by roll-to-roll high power impulse magnetron sputtering system.</a> Thin Solid Films. , 1-8 (2018).</li>
<li>Wang, Y., Xu, D., Li, Y., Liu, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Texture+and+morphology+developments+of+Yttria-stabilized+zirconia+%28YSZ%29+buffer+layer+for+coated+conductors+by+RF+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Surface+%26+Coatings+Technology%22%5BJournal%5D)">Texture and morphology developments of Yttria-stabilized zirconia (YSZ) buffer layer for coated conductors by RF sputtering.</a> Surface & Coatings Technology. 232, 497-503 (2013).</li>
<li>Petrisor, T. Jr, et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetic+pinning+effects+of+epitaxial+LaxSr1-xMnO3+nanostructured+thin+films+on+YBa2Cu3O7-delta+layers%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Magnetic pinning effects of epitaxial LaxSr1-xMnO3 nanostructured thin films on YBa2Cu3O7-delta layers.</a> Journal of Applied Physics. 112 (5), (2012).</li>
</ol>

저자는 공개 없다.

여기 우리가 설명 했다 준비 LSMO SrTiO3 에 균일 한 분포의 강자성 나노 입자 (STO) 단 결정 기판에이 메서드를 사용할 수 있습니다. (Gd) BCO 영화는 또한 둘 다 벌 거 벗은에 입금 하실 수 있습니다 하 고 LSMO 장식 STO 기판. 성장 온도 등 대상 기판 거리, 입금된 매개 변수의 적절 한 조정으로이 방법에 게 서 자석 및 자성 입자 또는 레이어, 예를 들어 CeO2YSZ (예금된 종류에 대 한 유용한 이트륨 안정화 지 르 코니 아)24및 ITO (인듐 주석 산화물).
프로토콜에 중요 한 단계는 LSMO 입자의 증 착을 위한 스퍼터 링 시간 이다. 프로토콜에 적절 한 스퍼터 링 시간이 필요 합니다. 스퍼터 링 시간이 너무 긴 경우에,이 연속 LSMO 박막 아니라 나노 입자를 형성할 것 이다. 다른 한편으로, 스퍼터 링 시간이 너무 짧은 경우에, LSMO 나노...

구멍 실수로 manganite 라0.67Sr0.33MnO3 (LSMO)와 같은 넓은 밴드 격차, 반 금속 강자성, 잠재력에 대 한 특별 한 기회를 제공 하는 전자 상태에 빠뜨리는 독특한 특성을가지고 spintronic 응용 프로그램1,2,,34. (재) 바2Cu3O7−와 같은 고온 초전도 (HTS) 영화에 대 한 소용돌이 운동에 서식 하는 LSMO의 독특한 특성을 활용 하기 위해 많은 연구자는 노력 하는 현재, δ 영화 (REBCO, 다시 희귀-지구 요소 =)5,6,7,8,9,10,,1112. 강자성 나노 입자와 기판 표면의 나노 장식 고정 예상된 밀도13,14의 자기 유도 대 한 잘 정의 된 사이트를 제공할 것입니다. 그러나, 단일-크리스탈 기질 그리고 매우 짜임새 금속 기판에와 같은 밀도 높은 질감된 표면에 나노 입자의 형상 제어 하는 능력은 매우 어렵습니다. 가장 일반적으로, 나노 입자 합성은 금속 유기 분해 방법15를 사용 하 여 표면에 코팅 하 고 펄스 레이저 증 착 방법16,17. 펄스 레이저 증 착 방법을 다양 한 기판에 코팅 된 나노 입자를 제공할 수 있습니다, 큰 지역 단일 나노 입자 증 착을 실현 하기가 어렵습니다. 금속 유기 분해 방법에 관해서는 그들은 나노 입자의 큰 지역 증 착에 대 한 적절 한 있습니다. 그러나,은 나노 입자는 종종 비 제복 및 작은 신체적 스트레스에 의해 쉽게 손상.
이러한 기법 중 RF 마 그 네트 론 스퍼터 링에 많은 이점이 있다. 스퍼터 링 저렴 한 비용, 높은 증 착 속도, 및 독성 가스 방출의 부족 있다. 또한, 대규모 지역 기판18,19확장 하기 쉽습니다. 이 방법은 단일 단계 라0.67Sr0.33MnO3 (LSMO) 나노 입자의 형성 하며는 나노 입자 들의 단일 크리스탈 기판에 입금 하. RF 마 그 네트 론 스퍼터 링에 만들 수 큰 지역 나노 입자 균일 하 게 다양 한 기판 표면 질감과 표면 거칠기20에 관계 없이. 입자 제어를 얻을 수에 의해 스퍼터 링 시간 조정. 동질성을 얻을 수에 의해 대상 기판 거리 조정. RF 마 그 네트 론 스퍼터 링의 단점은 일부 산화물21에 대 한 낮은 성장 속도입니다. 이 방법에서는 대상 원자 (또는 분자) 아르곤 이온에 의해 대상에서 스퍼터 링 하 고 나노 입자에 수증기 단계22기판에 입금 됩니다. 나노 입자 형성 단계23에 기판에서 발생합니다. 그러나이 방법은 이론적으로 날짜, 강자성 입금에 대 한 프로토콜에 대 한 보고서, 초전도 박막, 저항 필름, 반도체 필름, 강자성 박막 등 을 포함 한 모든 재료에 적용 나노 입자는 매우 부족 한.
여기, 우리 영화의 GdBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 준 bilayer RF 마 그 네트 론 스퍼터 링에 의해 SrTiO3 (STO) 단 결정 기판에 증 착을 보여 방법입니다. 대상 물질, GdBa2Cu3O7−δ 라0.67Sr0.33MnO3 대상의 두 가지 과정에 사용 됩니다. GdBa2Cu3O7−δ영화와 GdBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr SrTiO3 (STO) 단 결정 기판 코팅 했다 0.33 MnO3 준 bilayer 영화입니다.
이 프로토콜에서 GdBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 준 bilayer 영화는 RF 마 그 네트 론 STO (001) 기판에 스퍼터 링으로 입금 됩니다. 대상 직경 60 m m 이며 타겟과 기판 사이의 거리는 약 10 cm. 히터는 전구는 기판 위에 1 ㎝ 위치. 이 시스템. 에서 최대 온도 850 ° C 이 시스템에서 5 다른 기판 있다. RF 마 그 네트 론 스퍼터 링 GdBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 준 bilayer 필름 기판 및 RF 마 그 네트 론 준비는 두 단계로 구성 됩니다. 스퍼터 링 프로세스입니다. 스퍼터 링 시스템의 사진 그림 s 1에 표시 됩니다.

<table><tbody><tr><td>스퍼터 증착 시스템</td><td>심양 과학 기기 주식 회사</td><td>맞춤형</td><td></td></tr><tr><td>SrTiO3 단결정 기판</td><td>Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd</td><td>단면 에피 폴리싱</td><td>(001) 방향</td></tr><tr><td>La0.67Sr0.33MnO3 스퍼터링 타겟</td><td>Hefei Ke 결정 재료 technology Co., Ltd</td><td>맞춤형</td><td>60mm 직경</td></tr><tr><td>GdBa2Cu3O7&minus; &delta; 스퍼터링 타겟</td><td>Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd</td><td>맞춤형</td><td>60mm 직경</td></tr><tr><td>원자력 현미경</td><td>Br&uuml; ker</td><td>Dimension Icon</td><td></td></tr><tr><td>X-ray Diffractometer</td><td>Br&uuml; ker</td><td>D8 물리적</td> 특성 측정 시스템 발견 <td></td></tr><tr><td></td><td>양자 디자인</td><td>PPMS 9</td><td></td></tr></tbody></table>

고주파 마 그 네트 론 스퍼터 링 gdba2cu3o7−δ의 라0.67srtio3 (sto) 단 결정 기판에 sr0.33mno3 준 bilayer 영화 /

Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7&#8722;&#948;/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates

여기, 코팅 강자성 라0.67Sr0.33MnO3 (LSMO) 나노 무선 주파수 (RF) 마 그 네트 론 스퍼터 링에 의해 (001) SrTiO3 (STO) 단 결정 기판에 하는 방법을 설명합니다. LSMO 나노 입자 20 nm, 20, 50 nm 사이 높이에 직경 10에서 예금 되었다. 같은 시간에 (Gd) 바2Cu3O7−δ ((Gd) BCO) 영화 둘 다에 조작 했다 하지 그리고 LSMO 나노 장식 STO 기판 RF 마 그 네트 론 스퍼터 링을 사용 하 여. 이 보고서는 또한 GdBa2Cu3O7−δ의 속성을 설명 합니다/라0.67Sr0.33MnO3 영화 즉 bilayer 구조 (예를 들어, 결정 단계, 형태학 화학 성분); 자화, 자석 발전기 전송 및 초전도 전송 속성 또한 평가 했다.

둘 다 맨 (Gd) BCO 영화와 LSMO의 두께 장식 STO 기판은 500nm, 표면 profilometer에 의해 측정 되었다. 필름 두께 시간 스퍼터 링에 의해 통제 되었다. 그림 1a LSMO 나노 입자의 AFM 이미지를 표시 하는 , b (10 시간을 스퍼터 링 s) 증명할 1.0 c m x 1.0 c m 단일 크리스탈 STO 기판에 STO 기판에 균일 하 게 성장 하는 LSMO 나노 입자. 표면 영화의 거칠기 측정을 특징으로 했다 원자 힘 현미경 (AFM) 도청 모드에서 작업 하 고. 이러한 LSMO 나노 입자의 직경 10에서 20에 배열 했다 nm. 그들의 높이 배열 했다 20에서 50 nm. 성장 온도 등 대상 기판 거리, 입금된 매개 변수의 적절 한 조정으로 다른 표면 지형 수 달성 될, 그림 1 cd와<...

여기, 선물이 LSMO 나노 입자를 성장 하는 프로토콜 및 무선 주파수 (RF)에 의해 단일-크리스탈 기판 (001) SrTiO3 (STO)에 영화 (Gd) BCO-스퍼터 링.

고주파 마 그 네트 론 스퍼터 링 GdBa2Cu3O7−δ의 라0.67SrTiO3 (STO) 단 결정 기판에 Sr0.33MnO3 준 bilayer 영화 /

Here, we demonstrate a method of coating ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 (LSMO) nanoparticles on (001) SrTiO3 (STO) single-crystal substrates by radio ...

이 방법은 STO 단일 결정 기판에 LSMO 나노 입자를 균일하게 만들 수 있습니다. 또한, GBCO 필름은 동일한 진공 챔버에서 동일한 방법을 통해 얻을 수 있다. 이 기술의 주요 장점은 균일한 크기와 고품질 초전도 GBCO 필름을 가진 LSMO 나노 입자가 동일한 진공 챔버에 증착 될 수 있다는 것입니다.이 방법은 필름 증착 영역, 나노 입자 성장 영역, 등 세테라에 대한 통찰력을 제공 할 수 있습니다. 또한 금속 필름 증착, 금속 나노 입자 증착, 등 세테라에 적용될 수 있다. 이 방법을 통해 연구원은 진공 장비에 익숙해지고 필름 성장 기술에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다.첫째, 이소프로판올의 산화물 단일 결정 기판과 초음파 목욕실온에서 각각 10분 동안 산화티타늄을 순차적으로 청소합니다. 그런 다음 기판을 질소로 건조시다. 이것은 기판과 좋은 필름 준수의 균일 한 커버를 촉진합니다.실버 파우더 전도성 접착제가 있는 기판 홀더에 001 지향 STO 기판을 장착합니다. 홀더를 진공 챔버에 로드합니다. LSMO 표적을 자그론 주입 총에 장착한 다음 총을 재조립합니다.마그네론과 주변 방패 사이의 단락을 피하기 위해 옴미터로 저항을 테스트합니다. 그런 다음 진공 챔버를 닫고 아래로 펌프합니다. 진공이 영하 4파스칼에 1배 이상 낮아지면 분당 섭씨 15도의 가열속도를 사용하여 기판을 섭씨 850도로 가열합니다.대상 기판 거리를 8cm로 설정합니다. 다음으로 질량 유량 컨트롤러를 분당 10표준 입방센티미터의 산소와 아르곤분당 5개의 표준 입방센티미터로 작동 가스 흐름으로 설정합니다. 증착 전에 LSMO 대상을 30와트로 20분 동안 스퍼터합니다.25 개의 파스칼의 챔버 압력을 얻으려면 분자 펌프 부목 밸브를 조정하십시오. 인스턴트 값이 25파스칼보다 크면 시계 반대 방향으로 회전합니다. 25개의 파스칼보다 작아지면 시계 방향으로 회전합니다.이에 따라 기판 온도가 섭씨 850도에 유지되고 안정되어 있는지 확인하십시오. 자석의 힘을 30에서 80 와트로 증가시면 됩니다. 플라즈마가 안정화된 후 셔터를 열고 가열된 기판에 LSMO를 증착합니다.증착이 완료되면 셔터를 닫고 자석에 전원을 차단합니다. 그런 다음 가스 밸브를 닫고 히터 전원을 차단합니다. 샘플을 실온으로 냉각한 후, 건조한 질소로 챔버를 배출하십시오.그런 다음 챔버를 열고 샘플을 제거합니다. 가돌리늄 바륨 구리 산소 표적을 자그론 주입 총에 장착한 다음 총을

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연구

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공학

이 작품에서 우리는 CIGS 태양 전지의 광 흡수층의 곡물 경계를 공부 원자 탐침 단층 촬영 기술의 사용을 설명합니다. 알려진 구조로 원하는 입자 경계를 포함하는 원자 프로브 팁을 준비하는 새로운 접근 방식도 여기에 표시됩니다.

구리의 원자 조사 단층 촬영 연구 (, 조지아) 괜찮다<sub&gt; 2</sub&gt; 곡물 경계

우리는 펄스 레이저 증착법 (PLD), 포토 리소그래피와 마이크로 미터 규모의 복합 산화물 장치를 생성하는 와이어 본딩 기술의 사용을 설명합니다. PLD는 에피 택셜 박막을 성장하기 위하여 이용된다. 포토 리소그래피 및 와이어 본딩 기술은 측정을 위해 실제 디바이스를 생성하기 위해 도입된다.

공간적으로 밀폐 복합 산화물의 제조

스퍼터링에 의해 정렬 된 합금의 에피 택 셜층을 준비하는 방법이 설명된다. 그것은 화학 순서 및 합금의 정확한 조성의 정도에 민감하게 의존 metamagnetic 천이를 디스플레이 등 B2 오더링 FeRh 화합물, 예로서 사용된다.

Metamagnetic B2-주문 FeRh 에피 층의 스퍼터 성장과 특성

각종 절차는 복합 산화물 박막의 에피 택셜 성장을위한 원자 정의 된 템플릿을 준비하기 위해 설명되어 있습니다. 단결정 된 SrTiO3 3 (001) 및 (3)의 DyScO 화학적 처리는 (110) 기판은 원자 적으로 매끄러운 표면 단일 말단을 수득 하였다. 칼슘이 Nb를 3 O (10) - 나노 시트는 임의의 기판에 원자 적으로 정의 된 템플릿을 만드는 데 사용되었다.

복합 산화물 박막의 에피 택셜 성장을위한 원자 적으로 정의 된 템플릿

이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다.

에어로졸 증착을 사용하여 두꺼운 고밀도 이트륨 철 가넷 필름의 형성

이 논문은 나노 측정 및 분자 역학 시뮬레이션으로 검사 및 검증된 풀러렌 Si 기판의 나노 물질 제조를 보고합니다.

C 프로빙<sub&gt; (84)</sub&gt;은 스캐닝 프로브 현미경 및 분자 역학을 사용하여 실리콘 기판을 - 임베디드

이 작업은 원자 층 증착에 의해 게르마늄 기판 상에 직접 결정 된 SrTiO3 (3)의 성장 및 특성화에 대한 세부 절차. 절차는 금속 산화물 반도체 소자에 모 놀리 식 반도체 산화물을 통합하는 모든 화학 성장 법의 성능을 나타낸다.

원자 층 증착을 통해 게르마늄에 페 로브 스카이 스트론튬 티탄의 에피 택셜 성장

스파크 플라즈마 소결 장치를 통해 높은 압력과 빠른 가열 속도로 스트론튬 티타네이트 이중결정을 형성하기 위한 실행 가능한 기술이 개발되었습니다.

스트론튬 티탄 Bicrystals의 형성에 사용되는 플라즈마 소결 장치 불꽃

미리 입금된 전이 금속 sulfurization를 통해 큰 지역 및 수직 2D 크리스탈 이종 구조 날조 될 수 있다. 영화 전송 및 장치 제조 절차는 또한이 보고서에 설명 했다.

큰 지역 수직 2D 크리스탈 Hetero-구조 장치 제조에 전이 금속 영화 Sulfurization의 준비

우리는 금속/LaAlO3/SrTiO3 heterostructures 펄스 레이저 증 착 및 현장에서 마 그 네트 론 스퍼터 링의 조합을 사용 하 여 조작. Magnetotransport와 제자리에서 엑스레이 광전자 분광학 실험을 통해 우리는이 시스템에 준 2 차원 전자 가스의 정전기와 화학 현상 사이 상호 작용 조사.

성장 및 정전기/화학 속성의 금속/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

이 원고는 유리 기판에 Bi2Te3 및 Sb2Te3 열전 박막의 무선 주파수 마그네트론 스퍼터링에 대한 프로토콜을 설명하며, 이는 추가 개발 가능성과 함께 광범위한 응용 분야를 제공하는 신뢰할 수 있는 증착 방법을 나타냅니다.

무선 주파수 마그네트론 스퍼터링 기법을 이용한 Bi2 Te3 및 Sb2Te3 열전 박막 제작

배우세요 고주파 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 STO 단결정 기판에 LSMO 나노입자와 GBCO 초전도 박막을 균일하게 증착하는 방법을 익히세요. 이 기술은 진공 장비와 박막 성장 기술을 이해하는 데 도움을 줍니다.

고주파 마 그 네트 론 스퍼터 링 GdBa₂Cu₃O₇₋_δ의 라_0.67SrTiO₃ (STO) 단 결정 기판에 Sr_0.33MnO₃ 준 bilayer 영화 /

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