Name: 질 화 티타늄 코팅 된 실리콘 기질에 대 한 금 수지상 나노 숲의 성장 (동영상) | JoVE Journal
Uploaded: 2019-06-03T14:00:00.000+00:00
Duration: 5 min 2 s
Description: 배우세요 전기분해 증착법을 이용하여 질화티타늄 코팅 실리콘 기질 위에 금 수지상 나노숲을 합성하는 방법을. 이 기술은 간단하고 빠르며 플라즈몬 광촉매 반응을 향상시키는 핫스팟을 유도합니다.

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이 작품은 대만 과학 기술 부에 의해 지원 되었다, 대부분의 105-2221-전자 492-003-MY2 및 대부분의 107-2622 239-002-CC3의 계약 번호.

1. 샘플 준비
<ol><li>
고 전력 임펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 시스템을 이용한 주석 기판 준비
	<ol>
<li>4 인치 n 형 실리콘 웨이퍼를 2cm x 2cm 샘플로 자릅니다.</li>
		<li>아세톤,이 소 프로 판 올 및 탈 이온 수를 사용 하 여 시료를 세척 합니다.</li>
		<li>5 분간 N2 스프레이를 사용 하 여 말립니다.</li>
		<li>세척 된 Si 샘플을 샘플 홀더에 놓고 샘플 홀더를 고 전력 임펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 (히포 스) 챔버에 놓습니다.</li>
		<li>스퍼터 링 음극에 지름 4 인치의 티타늄 타겟을 배치 합니다.</li>
		<li>기계식 펌프와 cryopump를 사용 하 여 챔버 압력을 8 x 10-6 Torr 이하로 줄입니다.</li>
		<li>힙 스를 사용 하 여 Ti 층을 실리콘 웨이퍼에 입금 하 고 Ti 층에 TiN 층을 침전 시킵니다. 힙 스의 Ti 및 TiN 층의 증 착 매개 변수는 표 1 을 참조 하십시오.</li>
	</ol>
</li>
	<li>
오 DNF 주석/Si 기질에 대 한 준비
	<ol>
<li>105mm의 클로 로메 산 (haucl 4) 및 11.4 2.3%를 포함 하는 완충 산화물 에칭 액 용액 24ml을, 5cm× 5 cm x 5cm의 테 프 론 용기에 넣어 측정 하는 것을 포함 하는 반응 용액 24 m l을 넣습니다.</li>
		<li>3 분간 혼합물 용액에 기판을 담 궈 냅니다.</li>
		<li>샘플을 제거 하 고 탈 이온 수를 사용 하 여 세척 합니다.</li>
		<li>N2 분무를 이용 하 여 시료를 건조 시킨 다음, 120 ° c에서 5 분간 배양 하 여 Au Dnfs/주석/Si 샘플을 얻었다.</li>
		<li>Au DNF 준비 10 배를 반복 한다.</li>
	</ol>
</li>
</ol>2. 표본 검사
<ol><li>
주사 전자 현미경 분석
	<ol>
<li>샘플을 텅스텐 펜으로 0.4 cm x 0.8 cm로 자르고 N2 스프레이를 사용 하 여 청소 하십시오.</li>
		<li>50 s를 위한 이온 스퍼터 코팅 기에 의해 샘플에 얇은 Pt 필름을 코팅 합니다.</li>
		<li>준비 된 샘플을 주사 전자 현미경 (SEM) 기기에 넣습니다.</li>
		<li>주사 전자 현미경 및 실시 요소 분석21,22에 의해 SEM 이미지를 얻는다.</li>
	</ol>
</li>
	<li>
X-선 회절 분석
	<ol>
<li>샘플을 X 선 회절 (XRD) 계측기에 넣습니다.</li>
		<li>XRD 패턴21,22를 구합니다.</li>
	</ol>
</li>
</ol>

<ol><li>Nehl, C. L., Hafner, J. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Shape-dependent+plasmon+resonances+of+gold+nanoparticles%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Materials+Chemistry%22%5BJournal%5D)">Shape-dependent plasmon resonances of gold nanoparticles.</a> Journal of Materials Chemistry. 18 (21), 2415-2419 (2008).</li>
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<li>Sakai, N., Fujiwara, Y., Arai, M., Yu, K., Tatsuma, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electrodeposition+of+gold+nanoparticles+on+ITO%3A+Control+of+morphology+and+plasmon+resonance-based+absorption+and+scattering%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Electroanalytical+Chemistry%22%5BJournal%5D)">Electrodeposition of gold nanoparticles on ITO: Control of morphology and plasmon resonance-based absorption and scattering.</a> Journal of Electroanalytical Chemistry. 628 (1-2), 7-15 (2009).</li>
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<li>Ayati, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Photocatalytic+degradation+of+nitrobenzene+by+gold+nanoparticles+decorated+polyoxometalate+immobilized+TiO+nanotubes%5BTitle%5D)+AND+%22Separation+and+Purification+Technology%22%5BJournal%5D)">Photocatalytic degradation of nitrobenzene by gold nanoparticles decorated polyoxometalate immobilized TiO nanotubes.</a> Separation and Purification Technology. 171, 62-68 (2016).</li>
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<li>Lahiri, A., Wen, R., Kobayashi, S. I., Wang, P., Fang, Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Unique+and+unusual+pattern+demonstrating+the+crystal+growth+through+bubble+formation%5BTitle%5D)+AND+%22Crystal+Growth+%26+Design%22%5BJournal%5D)">Unique and unusual pattern demonstrating the crystal growth through bubble formation.</a> Crystal Growth & Design. 12 (3), 1666-1670 (2012).</li>
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<li>Lv, Z. Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Facile+and+controlled+electrochemical+route+to+three-dimensional+hierarchical+dendritic+gold+nanostructures%5BTitle%5D)+AND+%22Electrochimica+Acta%22%5BJournal%5D)">Facile and controlled electrochemical route to three-dimensional hierarchical dendritic gold nanostructures.</a> Electrochimica Acta. 109, 136-144 (2013).</li>
<li>Dutta, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Mesoporous+gold+and+palladium+nanoleaves+from+liquid%E2%80%93liquid+interface%3A+enhanced+catalytic+activity+of+the+palladium+analogue+toward+hydrazine-assisted+room-temperature+4-nitrophenol+reduction%5BTitle%5D)+AND+%22ACS+Applied+Materials+%26+Interfaces%22%5BJournal%5D)">Mesoporous gold and palladium nanoleaves from liquid–liquid interface: enhanced catalytic activity of the palladium analogue toward hydrazine-assisted room-temperature 4-nitrophenol reduction.</a> ACS Applied Materials & Interfaces. 6 (12), 9134-9143 (2014).</li>
<li>Lin, C. T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Rapid+fabrication+of+three-dimensional+gold+dendritic+nanoforests+for+visible+light-enhanced+methanol+oxidation%5BTitle%5D)+AND+%22Electrochimica+Acta%22%5BJournal%5D)">Rapid fabrication of three-dimensional gold dendritic nanoforests for visible light-enhanced methanol oxidation.</a> Electrochimica Acta. 192, 15-21 (2016).</li>
<li>Lahiri, A., Kobayashi, S. I. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electroless+deposition+of+gold+on+silicon+and+its+potential+applications%5BTitle%5D)+AND+%22Surface+Engineering%22%5BJournal%5D)">Electroless deposition of gold on silicon and its potential applications.</a> Surface Engineering. 32 (5), 321-337 (2016).</li>
<li>White, N., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface%2Finterface+analysis+and+optical+properties+of+RF+sputter-deposited+nanocrystalline+titanium+nitride+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Surface+Science%22%5BJournal%5D)">Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films.</a> Applied Surface Science. 292, 74-85 (2014).</li>
<li>Zhao, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface+enhanced+Raman+scattering+substrates+based+on+titanium+nitride+nanorods%5BTitle%5D)+AND+%22Optical+Materials%22%5BJournal%5D)">Surface enhanced Raman scattering substrates based on titanium nitride nanorods.</a> Optical Materials. 47, 219-224 (2015).</li>
<li>Lorite, I., Serrano, A., Schwartzberg, A., Bueno, J., Costa-Krämer, J. L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Surface+enhanced+Raman+spectroscopy+by+titanium+nitride+non-continuous+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Thin+Solid+Films%22%5BJournal%5D)">Surface enhanced Raman spectroscopy by titanium nitride non-continuous thin films.</a> Thin Solid Films. 531, 144-146 (2013).</li>
<li>O’Kelly, J. P., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Room+temperature+electroless+plating+copper+seed+layer+process+for+damascene+interlevel+metal+structures%5BTitle%5D)+AND+%22Microelectronic+Engineering%22%5BJournal%5D)">Room temperature electroless plating copper seed layer process for damascene interlevel metal structures.</a> Microelectronic Engineering. 50 (1), 473-479 (2000).</li>
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<li>Wu, Y., Chen, W. C., Fong, H. P., Wan, C. C., Wang, Y. Y. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Displacement+reactions+between+metal+ions+and+nitride+barrier+layer%2Fsilicon+substrate%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+the+Electrochemical+Society%22%5BJournal%5D)">Displacement reactions between metal ions and nitride barrier layer/silicon substrate.</a> Journal of the Electrochemical Society. 149 (5), G309-G317 (2002).</li>
<li>Koo, H. C., Ahn, E. J., Kim, J. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Direct-electroplating+of+Ag+on+pretreated+TiN+surfaces%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+the+Electrochemical+Society%22%5BJournal%5D)">Direct-electroplating of Ag on pretreated TiN surfaces.</a> Journal of the Electrochemical Society. 155 (1), D10-D13 (2008).</li>
<li>Shiao, M. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Novel+gold+dendritic+nanoflowers+deposited+on+titanium+nitride+for+photoelectrochemical+cells%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Solid+State+Electrochemistry%22%5BJournal%5D)">Novel gold dendritic nanoflowers deposited on titanium nitride for photoelectrochemical cells.</a> Journal of Solid State Electrochemistry. 22 (10), 3077-3084 (2018).</li>
<li>Shiao, M. H., Lin, C. T., Zeng, J. J., Lin, Y. S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Novel+gold+dendritic+nanoforests+combined+with+titanium+nitride+for+visible-light-enhanced+chemical+degradation%5BTitle%5D)+AND+%22Nanomaterials%22%5BJournal%5D)">Novel gold dendritic nanoforests combined with titanium nitride for visible-light-enhanced chemical degradation.</a> Nanomaterials. 8 (5), 282(2018).</li>
<li>Carraro, C., Maboudian, R., Magagnin, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Metallization+and+nanostructuring+of+semiconductor+surfaces+by+galvanic+displacement+processes%5BTitle%5D)+AND+%22Surface+Science+Reports%22%5BJournal%5D)">Metallization and nanostructuring of semiconductor surfaces by galvanic displacement processes.</a> Surface Science Reports. 62 (12), 499-525 (2007).</li>
</ol>

저자는 공개 할 것이 없습니다.

이 연구에서, 여러 가지 크기의 Au DNFs는 파 RR을 사용 하 여 주석/Si의 표면에 장식 되었다. Au DNFs의 침착은 색상의 현저한 변화에 의해 직접적으로 식별 될 수 있다. 주석/Si 상의 Au DNFs의 두께는 15 분 이내에 5.10 ± 0.20 µm 증가 하 고, 이러한 두께의 증가는 다음의 선형 방정식을 사용 하 여 표현할 수 있다: y = 0.296t + 0.649, 여기서 시간은 1 ~ 15 분으로 다양 하다.
파 RR에서, 금속 증 착은 용액 (23)의 조성 물 및 pH에 의해 영향을 받는다. 증 착 률은 기판 표면 결함의 밀도와 함께 증가 한다. 대체 반응 시간이 증가할수록 TiN 층의 두께가 감소 한다. Au DNFs의 두께가 충분히 두꺼워 지 면 주석/Si 기판에서 Au DNFs를 쉽게 제거 할 수 있습니다.
갈 바 닉 변위 ...

금 나노 입자는1,2,3의 나노 입자의 크기 및 형상에 따라 특징적인 광학적 특성 및 국 소화 된 표면 플 라 즈 몬 공명 (lsprs)을 갖는다. 더욱이, 금 나노 입자는 플라스 몬 광 촉매 반응을 현저 하 게 향상 시킬 수 있다5. 금 나노 입자를 사용 하 여 쌓아 수지상 나노 숲 그들의 주목할 만한 특정 표면적 및 강력한 lspr 향상으로인해 상당한 관심을 받은,7,8,9 , 10,11,12,13.
TiN은 매우 단단한 세라믹 재료 이며 놀라운 열, 화학 및 기계적 안정성을가지고 있습니다. TiN은 특유의 광학적 특성을가지고 있으며 가시광선에서 근 적외선을 가진 플라스 몬 ic에 사용 될 수 있다14,15. 연구에 따르면 주석이 Au 나노 구조체16과 유사 하 게 전자기장 개선 사항을 생산할 수 있다는 것이 밝혀졌습니다. 응용을 위한 주석 기판에 구리17 또는은18,19,20 의 침착이 입증 되었다. 그러나, 응용 프로그램에 대 한 Au/주석 복합 재료에 몇 가지 연구가 수행 되었습니다. 시 아오 외. 최근 광 전기 화학 세포 (21 ) 및 화학 분해22에 대 한 Au dnfs/주석 복합 재의 잠재적 응용을 입증 하였다.
Au는 파 파 RR (23)을 이용 하 여 주석 기질 상에 서 합성 될 수 있다. 주석의 Au DNFs의 증 착 조건은 응용 프로그램의 성능에 중요 하다. 이 연구는 주석 코팅 Si 기질에 Au DNFs의 성장을 검사 합니다.

<table><tbody><tr><td>Acetone</td><td>Dinhaw Enterprise Co. Ltd., Taipei, Taiwan</td><td></td><td></td></tr><tr><td>Isopropanol</td><td>Echo Chemical Co. Ltd., Miaoli, Taiwan</td><td>TG-078-000000-75NL</td><td></td></tr><tr><td>Buffered Oxide Etch</td><td>Uni-onward Corp., Hsinchu, Taiwan&nbsp;</td><td>UR-BOE-1EA</td><td></td></tr><tr><td>클로로오우르산</td><td>Alfa Aesar., Heysham, United Kingdom</td><td>36400.03</td><td></td></tr><tr><td>N-Type Silicon Wafer</td><td>Summit-Tech Company, 대만 Hsinchu</td><td></td><td></td></tr><tr><td>고출력 임펄스 마그네트론 스퍼터링 시스템(HiPIMS)</td><td>Melec GmbH, 독일</td><td></td><td>SPIK2000A&nbsp;</td></tr><tr><td>주사전자현미경(SEM)</td><td>JEOL, 일본</td><td></td><td>JSM-7800F</td></tr><tr><td>이온 스퍼터 코터</td><td>히타치, 일본</td><td></td><td>E-1030</td></tr><tr><td>X선 회절계(XRD)</td><td>PANalytical, 네덜란드</td><td></td><td>X'Pert PRO MRD</td></tr></tbody></table>

질 화 티타늄 코팅 된 실리콘 기질에 대 한 금 수지상 나노 숲의 성장

Growth of Gold Dendritic Nanoforests on Titanium Nitride-coated Silicon Substrates

이 연구에서 고 전력 임펄스 마 그 네트 론 스퍼터 링 시스템은 실리콘 (Si) 웨이퍼에 평평 하 고 확고 한 티타늄 질 화물 (TiN) 필름을 코팅 하는 데 사용 되 고, 불 소 보조 식 갈 바 닉 치환 반응 (파 그 RR)은 금의 급속 하 고 쉬운 침착을 위해 채택 됩니다. 주석/Si 기질에 수지상 나노 포리스트 (Au DNFs). 주사 전자 현미경 (SEM) 이미지 및 주석/Si 및 Au DNFs/주석/Si 샘플의 에너지 분산 X 선 분광학 패턴은 합성 과정이 정확 하 게 제어 되는지 확인 합니다. 본 연구에서의 반응 조건 하에서, Au DNFs의 두께는 반응의 15 분 이내에 5.10 ± 0.20 µm로 선형적으로 증가 한다. 따라서, 고용 된 합성 과정은 Au DNFs/TiN/Si 복합체를 제조 하기 위한 간단 하 고 신속한 접근법 이다.

그림 1 은 Au Dnfs/주석/Si 샘플 준비의 이미지를 묘사 합니다. 실리콘 웨이퍼는은 빛 흰색 이었다 (도 1a). TiN/Si는 황금 황색 이며 균질 한 표면 (도 1b)을 가졌다,이는 실리콘 웨이퍼 상에 균일 한 주석 코팅을 지시 하였다. Au dnfs/TiN/Si는 Au DNFs의 랜덤 분포 때문에 표면 (도 1c)에서 황색을 띤 갈색과 덜 균질 하였다.
도 2 는 주석/Si 기판 상에 침착 된 Au dnfs의 계획 및 단면 SEM 이미지를 제시 한다. 주석 층은 균일 한 표면 (<stro...

이 연구는 티타늄 질 화/실리콘 기질에 금 수지상 나노 포레스트를 합성 하기 위한 실행 가능한 절차를 제시 합니다. 금 수지상 나노 숲의 두께는 합성 반응의 15 분 이내에 선형적으로 증가 한다.

In this study, a high-power impulse magnetron sputtering system is used to coat a flat and firm titanium nitride (TiN) film on silicon (Si) wafers, and a ...

이 프로토콜은 티타늄 질산화물 코팅 실리콘 기판에 금 수지상 나노 포레스트를 준비하기위한 간단하고 빠른 전해질 증착 방법입니다. 이 기술의 주요 장점은 단순함과 속도입니다. 금 수지상 나노 숲 은 플라스모닉 핫스팟을 유도하고 플라스몬 광촉매 반응을 향상시킬 수 있습니다.하나는 또한 은과 같은 합금 금속의 수지상 나노 숲을 준비하는이 절차를 사용할 수 있습니다. 비디오 데모를 사용하면 실험에서 필수 세부 사항을 보다 쉽게 강조할 수 있습니다. 절차를 시작하려면 n형 실리콘 웨이퍼 의 2 센티미터 조각으로 10 개를 잘라냅니다.실리콘 샘플을 아세톤, 이소프로필 알코올 및 탈이온화된 물로 각각 5분 동안 초음파 처리합니다. 질소 가스 스트림 아래에서 5분간 샘플을 건조시. 그런 다음, 깨끗하고 건조한 실리콘 샘플을 샘플 홀더에 넣고 홀더를 HiPIMS 샘플 챔버에 넣습니다.HiPIMS 스퍼터링 음극에 4인치 직경티타늄 표적을 배치하고 HiPIMS 챔버를 8배에서 10번으로 펌핑하여 음극6강으로 펌핑합니다. 실리콘 샘플에 티타늄의 50 나노미터 생각 층을 입금. 이어서, 티타늄 질산화물을 약 300나노미터의 총 티타늄 질산염 두께를 달성하도록 증착한다.티타늄 질화물 증착이 완료되면, 1개의 어금니 클로로우릭 산 240마이크로리터, 6-1완충산 산화식 에칭8밀리리터, 폴리테트라플루오로틸렌 용기에 15.76밀리리터의 탈온화수를 결합한다. 클로로우릭 산 용액에 기판 1개를 정확하게 3분간 담근 다음, 탈이온화된 물로 씻어내라. 질소 가스의 스트림에서 샘플을 건조하고 5 분 동안 섭씨 120도에서 배양.남은 티타늄 질산염 코팅 기판각각에 대해 이 과정을 반복한다. 샘플 준비가 완료되면 스캐닝 전자 현미경 검사법과 X선 회절로 샘플을 특성화합니다. X선 분광법의 에너지 분산은 금 구조가 티타늄 질산화물 코팅 실리콘 표면에서 성장했다는 것을 확인했습니다.실리콘 웨이퍼에 증착된 티타늄 질산화물 필름은 부드럽고 균일했습니다. 성장 용액에 샘플을 배치한 지 1분 만에 작은 금 핵이 성게와 유사한 몇 가지 더 큰 핵을 사용하여 샘플을 가로질러 나타났습니다. 단일 나무와 같은 구조는 성장 3 분 후에 관찰되었으며, 분기는 5 분 의 성장 후에 발생했습니다.10분 후, 수지상 나노숲은 티타늄 아질산염 표면 전체를 덮었다. 15분 후, 수지상 나노숲은 조밀하고 약 5마이크로미터 두께였다. 금의 수지상 나노 삼림 두께는 합성 시간으로 선형적으로 증가하는 것으로 나타났습니다.엑스레이 회절의 금 봉우리도 시간이 지남에 따라 증가했고, 티타늄 아질산염 신호는 합성이 진행됨에 따라 사라졌습니다. 이 절차를 시도 할 때 기억해야 할 가장 중요한 것은 조성 속도와 솔루션 PH이며 증착 방법에도 영향을 미칩니다. 다양한 용도를 위해 DNF 및 실리카 실리콘, 종래의 유리, ITO 유리 및 FDO 유리와 같은 다른 티타늄 아질라이트 코팅 기판을 제조할 수 있습니다.금 DNF가 충분히 아픈 경우 티타늄 아질산염 실리콘 기판에서 황금 DNF를 제거하기 쉽기 때문에 샘플을 처리 할 때주의해야합니다. 수소 불소가 들어있는 완충산화물 식각으로 작업할 때 개인 보호 장비를 착용해야 합니다.

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우리는 은색 씨앗 중재의 성장 방법을 사용하여 별 모양의 골드 nanostars을 합성. nanostars의 직경이 200-300 nm의 범위에서 및 도움말의 숫자 7에서 10에 따라 다릅니다. nanoparticles는 가까운 적외선 중심으로 광범위한 표면 plasmon 공진 모드를있다.

실버 씨앗 중재 성장 방법과 골드 Nanostar 합성

우리는 화학 기상 증착, 산성 산화 및 프로브 팁의 초음파를 포함한 일련의 기술을 사용하여 개별 흑연 nanocups가의 합성을 논의했다. HAuCl의 구연산 환원에 의한...

코르크 마개로 금 나노 입자와 질소 도핑 된 탄소 나노 튜브 컵의 합성과 기능화

전기적 주소, 높은 종횡비 (&gt; 1000:1)의 제작은 템플릿으로 희생 알루미늄과 은색의 레이어 또는 자기 조립 단일 층을 사용하여 단일 나노 미터의 간격으로 구분하여 금속 나노 와이어가 설명되어 있습니다. 이 nanogap 구조는 nanoskiving로 알려진 첨단 리소그래피의 형태로 클린 룸 또는 사진이나 전자빔 리소그래피 공정없이 제작되어 있습니다.

Nanoskiving으로 Nanogaps을 제조

제어 치수와 솔루션 suspendable 금 나노 튜브는 소수성 고분자 코어를 사용하여 다공성 양극 산화 알루미늄 (AAO) 멤브레인의 전기 증착에 의해 합성 할 수 있습니다. 골드 나노 튜브와 나노 튜브 배열 plasmonic biosensing, 표면 강화 라만 분광법, 사진 열 난방, 이온, 분자 운송, microfluidics, 촉매 및 전기 감지의 응용 프로그램에 대한 약속을 누르고 있습니다.

템플릿 조정할 IR의 흡광도와 Plasmonic 골드 나노 튜브의 합성을 감독

우리는 스텐실 인쇄 및 석판뿐만 아니라 미세하게 패턴에 대한 배양 세포에 방법을 통해 micropattern과 나노 다공성 금 박막에 대한 기술을보고합니다. 또한, 우리는 물질과 주사 전자 및 형광 현미경 기술을 이용하여 배양 된 세포의 형태를 특성화하는 이미지 분석 방법을 설명합니다.

세포 물질의 상호 작용 연구를위한 나노 기공 골드 패턴의 미세

실리콘 계면의 표면 도핑에 대한 자세한 절차가 제공됩니다. 매우 얕은 표면 도핑은 인을 함유한 단층과 신속한 어닐링 공정을 사용하여 입증됩니다. 이 방법은 거시적 영역 표면과 나노 구조의 도핑에 사용할 수 있습니다.

유기 화합물을 사용하여 실리콘 표면과 나노 와이어의 단층 연락 도핑

저온 수직 정렬 탄소 나노튜브의 성장 방법과 반도체 제조를 사용한 수직 상호 연결 전기 테스트 구조의 후속 제작에 대해 설명합니다.

반도체 기술과 호환 저온 탄소 나노 튜브 수직 상호 연결의 제작

여기서는 AuNPs의 응집이없는 티탄산 적층 필름의 층간 공간 내에서 금 나노 입자 (AuNPs)의 원위치에서의 합성을위한 프로토콜을 제시한다. 어떤 스펙트럼 변화도 사개월 후 관찰되지 않았다. 합성 된 물질은 촉매, 광촉매 및 경제적 플라즈몬 장치의 개발에 응용이 예상되었다.

계층화 된 티탄 투명 필름의 층간 공간에서 집계하지 않고 금 나노 입자의 제자리 합성에

우리 보고 기판 바인딩된 Au 나노 와이어를 합성 하는 솔루션 기반 방법. 합성 하는 동안 사용 되는 분자 ligands를 조정 하 여 다른 표면 특성을 가진 다양 한 기판에서 Au 나노 와이어를 성장 수 있다. Au 나노와이어 기반 nanostructures 또한 반응 매개 변수를 조정 하 여 합성 될 수 있습니다.

활성 표면 성장 메커니즘을 통해 기판 바인딩된 Au 나노 와이어의 합성

이 프로토콜 세부 큰 지역에 따라 제어 하 고 사용자 정의 나노 영화를 만들기 위해 사용할 수 있는 새로운 나노 제조 기술에서 출장 금속 필름의 dewetting의 자기 조립.

큰 면적 기판 기반 Nanofabrication 출장 Dewetting 통해 제어 하 고 사용자 정의 금 나노 입자의

액체 상 전자 현미경 실험 중 온도 제어는 형성 또는 응용 매체를 모방하는 액체 환경에서 나노 입자의 역학을 연구하는 새로운 관점을 열어줍니다. 최근에 개발된 가열 액체 세포를 사용하여, 우리는 직접 물에서 금 나노 입자의 핵형성 및 성장 과정에 온도의 영향을 관찰.

액체 세포 전송 전자 현미경 검사법에 의한 나노 입자의 핵 형성 및 성장에 온도의 효과 연구

배우세요 전기분해 증착법을 이용하여 질화티타늄 코팅 실리콘 기질 위에 금 수지상 나노숲을 합성하는 방법을. 이 기술은 간단하고 빠르며 플라즈몬 광촉매 반응을 향상시키는 핫스팟을 유도합니다.

질 화 티타늄 코팅 된 실리콘 기질에 대 한 금 수지상 나노 숲의 성장

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