Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics

Naiqing Zhang; James Friend

doi:10.3791/60648

음향 나노 유체학용 리튬 니오바테를 통한 표면 음향파 작동을 통합한 나노높이 채널 제조

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Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics

음향 나노 유체학용 리튬 니오바테를 통한 표면 음향파 작동을 통합한 나노높이 채널 제조

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07:23 min

February 5, 2020

DOI: 10.3791/60648-v

Naiqing Zhang¹, James Friend¹

¹Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

리프오프 포토리소그래피, 나노 깊이 반응성 이온 에칭 및 실온 플라즈마를 통해 음향 나노 유체학용 리튬 니오베이트에 표면 음향파 작동 장치를 통합하여 나노 높이 채널의 제조를 시연합니다. 단결정 리튬 niobate의 표면 활성화 다층 결합, 산화물에 리튬 niobate 결합에 유사하게 유용한 공정.

당사의 프로토콜은 음향 나노 유체에 대한 리튬 니오바테를 통해 표면 음향 파 작동을 통합하는 나노 높이 채널의 상세한 제조 방법을 제공합니다. 이 기술은 단일 결정 리튬 niobate의 실온 플라즈마 표면 활성화 다층 접합을 수행하는 데 사용할 수 있습니다, 리튬 niobate 또는 이산화 화이산화물 및 기타 산화물을 접합하는 데 동등하게 유용한 과정. 모든 파편과 미립자 나노 높이 채널 형성에서 접합 실패를 방지하기 위해 세척 및 플라즈마 표면 활성화 공정 중에 제거해야합니다.

이 방법의 시각적 데모는 전체 제작 프로세스를 자세히 캡처하여 다른 연구진을 위한 프로토콜을 명확하게 설명할 수 있습니다. 나노 높이 채널 마스크를 준비하려면 리프트오프 절차의 정상적인 포토리소그래피가 되도록 설계된 패턴이 새겨진 웨이퍼를 스퍼터 증착 시스템에 넣고 챔버 진공을 음극6밀리터로 5배 10으로 끌어당기도록 한다. 아르곤이 2.5밀리토르와 스퍼터 크롬을 200와트로 흐르도록 허용하여 18분 이내에 400나노미터 두께의 희생 마스크를 생성합니다.

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