$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
Micropumps kan vloeibare stroom rijden op een veel kleinere schaal dan de meeste pompen. In de afgelopen jaren zijn diverse drijvende regelingen met succes toegepast op microfluidic systemen1,2,3,4,5. De electrohydrodynamic (EHD) pomp kan uitoefenen troepen direct op de vloeistof, zonder bewegende delen, waardoor het eenvoudiger en gemakkelijker te fabriceren van6. Volgens de kosten-types, kunnen EHD pompen worden geclassificeerd als injectie pompen, inductie pompen of geleiding pompen. Inductie pompen werken niet op isothermische vloeistoffen, terwijl injectie pompen de vloeibare geleidbaarheid veranderen. Wegens hun gebrek aan dergelijke problemen, geleiding pompen zijn meer stabiel en hebben een bredere toepassing.
De pomp van de geleiding is gebaseerd op de wanverhouding van de dissociatie en recombinatie tarieven van vloeibare moleculen. Normaal, kan het proces van dissociatie en recombinatie worden uitgedrukt als volgt7,-8:

waar is de recombinatie tarief kr is constant, terwijl de dissociatie tarief kd een functie van de elektrische veldsterkte is. Wanneer de elektrische veldsterkte een bepaalde waarde bereikt, de dissociatie tarief zal hoger zijn dan de recombinatie. Vervolgens reizen meer en meer gratis kosten naar de twee elektroden van tegenovergestelde polariteit en heterocharge lagen vorm. Deze heterocharge lagen zijn de sleutel tot de pomp, zoals het verkeer van de kosten de vloeibare moleculen vooruit duwt. Daarom kan net lichaam kracht worden gegenereerd in de vloeistof in de vergaderzaal met asymmetrische elektroden of de wanverhouding van de mobiliteit van positieve en negatieve ionen9,10,11,12 .
Dit werk introduceert een nieuwe manier van fabriceren van een symmetrische vlakke elektrode plaat voor een pomp van geleiding. De elektrode plaat FR-4 CCL is opgesteld, en de kamer van de pomp wordt bereid door Microbewerking. De fabricage processen zijn relatief eenvoudiger en handiger dan die van andere productiemethoden, zoals nanolithography. Een test platform is ingesteld om te onderzoeken van de prestaties van de geleiding micropump onder verschillende omstandigheden. Bovendien, de betrouwbaarheid van de micropump van de geleiding is ook onderzocht onder verschillende omstandigheden.