De eigenschappen van functionele materialen zijn afhankelijk van hun 3D parameters. Om volledig begrijpen van hun eigenschappen en hun functies te verbeteren, is het belangrijk om hun morfologie en chemische distributie in 3D te analyseren. Elektron tomografie1 (ET) is één van de beste technieken om deze informatie bij de nanometer schaal2,3te verstrekken. Het bestaat uit draaien van het monster over een grote hoekige bereik en opname van één afbeelding op elke hoekige stap. De verkregen tilt-serie wordt gebruikt voor de wederopbouw van het volume van het monster met behulp van wiskundige algoritmen gebaseerd op de Radon transformatie4,5. Grijze niveaus selecteren in het volume helpt bij het model van het monster in 3D en 3D parameters zoals deeltje lokalisatie6 en grootte distributie7kwantificeren, porie positie en grootte distributie8, enz.
In het algemeen, wordt ET uitgevoerd met een elektronenmicroscoop door het kantelen van het monster, tot de maximale mogelijke hoek, bij voorkeur meer dan 70° in beide richtingen. Op elke hoek van de tilt, is een projectie van de steekproef opgenomen vormen een reeks beelden tilt. Dat tilt serie is uitgelijnd en gebruikt om te reconstrueren van het volume van het monster die zal worden gesegmenteerd en gekwantificeerd. Omdat het monster kan niet van-90 ° tot + 90 ° worden gedraaid, heeft het gereconstrueerde volume een anisotrope resolutie langs de orthogonale as9 als gevolg van de opname van de blinde hoek.
ET kan worden uitgevoerd in verschillende modi van de beeldvorming. De heldere veld TEM modus (BF-TEM) wordt gebruikt voor het bestuderen van amorfe materialen, biologische monsters, polymeren, of katalysator ondersteunt met complexe vormen. De beeldanalyse is gebaseerd op de differentiatie van de grijsniveaus karakterisering van de dichtheid van de onderdelen10 (een dichte onderdeel zullen meer donker dan een aansteker, dat wil zeggen, minder dichte component). Hoge-hoek ringvormige donker veld in de TEM scanmodus (HAADF-stam) is gebruikt om kristallijne monsters analyseren. Het signaal geeft chemische informatie als een functie van het atoomnummer; een zware component van het monster zal verschijnen helderder die een lichtere een9. Andere modi, zoals de Energy Dispersive X-ray spectroscopie (EDX), die de röntgenfoto wordt uitgestraald door de materiële11en energie verzamelt gefilterd imaging modus (EFTEM)12,13, zijn ook in staat zijn voor de beoordeling van de 3D chemische distributie binnen het monster.
EFTEM imaging, kunnen de 2D chemische kaarten worden vastgelegd met behulp van een TEM met een elektron energie spectrometer. De spectrometer fungeert als een magnetische prisma door de elektronen verspreiden als een functie van hun energie. Een afbeelding is gemaakt door de elektronen afhankelijk van de energie verloren van interactie met een specifieke atoom. Als dezelfde chemische 2D plattegrond wordt berekend op verschillende tilt hoeken, een tilt reeks chemische projecties wordt verkregen, kan die gebruikt worden voor de wederopbouw van het 3D-volume van de chemische.
Niet alle materialen kunnen worden geanalyseerd door EFTEM tomografie. De techniek is gereserveerd voor monsters met een zwakke of wanordelijke materialen. Echter kan het worden gebruikt voor het analyseren van lichte elementen die zeer moeilijk te onderscheiden van de bij het gebruik van andere beeldvormingstechnieken. Bovendien, voor het verkrijgen van betrouwbare 2D chemische kaarten, de dikte van het materiaal moet kleiner zijn dan de gemiddelde gratis weg van de elektronen door de materiële14. Onder deze voorwaarde is de waarschijnlijkheid van een één elektron interactie met een enkel atoom het grootst. Twee methoden worden gebruikt voor het berekenen van een 2D chemische kaart. De eerste, en de meest gebruikte is de "methode van drie-windows", waar twee gefilterde energie Vensters worden afgelezen voordat de ionisatie-rand van het element onder analyse en een derde na de behandeling door ionisering rand13. De eerste twee afbeeldingen worden gebruikt voor het schatten van de achtergrond, die met behulp van een machtswet op de positie van het derde venster en afgetrokken van het is geëxtrapoleerd. Het verkregen beeld is de projectie van de 3D-verdeling van de geanalyseerde scheikundig element in het monstervolume. De tweede methode heet de 'sprong-verhouding"; het maakt gebruik van slechts twee afbeeldingen van het energie-gefilterd, één voor en één na de behandeling door ionisering rand. Deze methode is kwalitatief, zoals de uiteindelijke afbeelding alleen door het uitvoeren van de verhouding tussen die twee beelden wordt berekend, en houdt geen rekening met achtergrond energie variatie.
Door te combineren met ET EFTEM, kan de analytische tomografie van de gefilterde energie worden verkregen. EFTEM-tomografie en Atoom sonde tomografie (APT) zijn complementaire technieken. In vergelijking met APT is EFTEM tomografie een niet-destructieve karakterisering analyse die niet complex monstervoorbereiding hoeft. Het kan worden gebruikt voor het uitvoeren van verschillende personages op een unieke nanoparticle. EFTEM tomografie kunt analyseren isolatiematerialen, terwijl APT op de minst laser-hulp moet voor het meten van hen. APT loopt op de atoomschaal, terwijl EFTEM tomografie naar behoren met een lagere resolutie presteert. EFTEM tomografie is relevant alleen voor monsters die bundel afbraak tijdens het experiment te weerstaan. Als u alle gefilterde afbeeldingen op alle gekanteld hoeken opnemen, kan het monster worden blootgesteld aan de elektronenbundel voor zo lang als 2 h. Bovendien, als u een maximale chemische signaal opnemen in de 2D-kaarten, langere duur van de expositie bij Verstraler intensiteit kunnen nodig zijn. In dergelijke omstandigheden lijden de lichtbundel gevoelige monsters drastische morfologische en chemische veranderingen. Daarom is een nauwkeurige meting van de gevoeligheid van de steekproef voor de elektronenbundel moet komen voordat het experiment. Daarnaast is EFTEM tomografie het resultaat van het opnemen van zoveel tomograms als dit nodig is om de ruimtelijke locatie en de aard van de chemische elementen die aanwezig in het monster. zijn Toch EFTEM tomografie kan belangrijke informatie verstrekken over de 3D chemische distributie voor monsters, zoals katalysator ondersteunt, zodat nieuwe inzichten voor het modelleren van hun katalytische toepassingen.
Vandaag is het mogelijk om te gebruiken speciale software die het energie-interval kunt selecteren, record gefilterd energie venster afbeeldingen en de chemische kaarten in verschillende tilt hoek te berekenen. Ze laten kantelen van het monster, bijhouden, richten en opnemen van de gefilterde afbeelding in EFTEM modus. De 2D chemische kaarten kunnen worden berekend, kan en vervolgens de tilt-serie kunnen worden uitgelijnd, het chemische volume berekend met behulp van iteratieve algoritmen, en uiteindelijk de serie gesegmenteerde en gekwantificeerde15,16.