Ten protokół opisuje procedurę pomiaru zależności temperatury od pełnych stałych materiałowych materiałów piezoelektrycznych za pomocą rezonansowej spektroskopii ultradźwiękowej (RUS).
Method Article
Ten protokół opisuje procedurę pomiaru zależności temperatury od pełnych stałych materiałowych materiałów piezoelektrycznych za pomocą rezonansowej spektroskopii ultradźwiękowej (RUS).
Podczas pracy urządzeń elektromechanicznych dużej mocy, wzrost temperatury jest nieunikniony z powodu strat mechanicznych i elektrycznych, powodując degradację wydajności urządzenia. Aby ocenić takie degradacje za pomocą symulacji komputerowych, potrzebne są pełne właściwości materiału matrycy w podwyższonych temperaturach jako dane wejściowe. Pomiar takich danych dla materiałów ferroelektrycznych jest niezwykle trudny ze względu na ich silny anizotropowy charakter i zmienność właściwości wśród próbek o różnych geometriach. Ponieważ stopień depolaryzacji jest zależny od warunków brzegowych, dane uzyskane za pomocą techniki rezonansu impedancyjnego IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers), która wymaga kilku próbek o drastycznie różnych geometriach, zwykle nie są samospójne. Technika rezonansowej spektroskopii ultradźwiękowej (RUS) umożliwia pomiar pełnych stałych materiałowych przy użyciu tylko jednej próbki, co może wyeliminować błędy spowodowane zmiennością między próbkami. Szczegółowa procedura RUS została tutaj zademonstrowana przy użyciu próbki piezoceramicznej z tytanianu cyrkonianu ołowiu (PZT-4). W tym przykładzie zmierzono cały zestaw stałych materiałowych od temperatury pokojowej do 120 °C. Zmierzone swobodne stałe dielektryczne
i
porównano z obliczonymi na podstawie zmierzonych pełnych danych zestawu, a stałe piezoelektryczne d15 i d33 zostały również obliczone przy użyciu różnych wzorów. Stwierdzono doskonałą zgodność w całym zakresie temperatur, co potwierdziło samospójność zestawu danych uzyskanych przez RUS.
Ceramika piezoelektryczna z tytanianu cyrkonianu ołowiu (PZT), (1-x)PbZrO 3-xPbTiO3, oraz jej pochodne są szeroko stosowane w przetwornikach ultradźwiękowych, czujnikach i siłownikach od lat 50.1. Wiele z tych urządzeń elektromechanicznych jest używanych w wysokich zakresach temperatur, takich jak pojazdy kosmiczne i podziemne studnie. Co więcej, urządzenia dużej mocy, takie jak terapeutyczne przetworniki ultradźwiękowe, transformatory piezoelektryczne i projektory sonarowe, często nagrzewają się podczas pracy. Taki wzrost temperatury zmieni częstotliwości rezonansowe i punkt ogniskowy przetworników, powodując poważne pogorszenie wydajności. Technologia zogniskowanych ultradźwięków o wysokiej intensywności (HIFU), stosowana już w praktyce klinicznej w leczeniu nowotworów, wykorzystuje przetworniki ultradźwiękowe wykonane z ceramiki PZT. Podczas pracy temperatura tych przetworników wzrośnie, powodując zmianę stałych materiałowych rezonatora PZT, co z kolei zmieni ogniskową HIFU, a także moc wyjściową2,3. Przesunięcie punktu ogniskowego może prowadzić do poważnych działań niepożądanych, tj. zniszczenia zdrowych tkanek zamiast tkanek nowotworowych. Z drugiej strony, jeśli można przewidzieć przesunięcie punktu ogniskowego, można użyć projektów elektronicznych do skorygowania takiego przesunięcia. Dlatego pomiar zależności temperaturowej pełnego zestawu właściwości materiałowych materiałów piezoelektrycznych jest bardzo ważny dla projektowania i oceny wielu urządzeń elektromechanicznych, w szczególności urządzeń dużej mocy.
Poled ferroelectric materials to najlepsze znane obecnie materiały piezoelektryczne. W rzeczywistości prawie wszystkie obecnie używane materiały piezoelektryczne to materiały ferroelektryczne, w tym ceramika PZT w roztworze stałym i monokryształy (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O 3-xPbTiO3 (PMN-PT). Metoda rezonansu impedancyjnego IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers) wymaga 5-7 próbek o drastycznie różnych geometriach w celu scharakteryzowania pełnego zestawu stałych materiałowych4. Uzyskanie samospójnych, pełnych danych matrycowych przy użyciu metody rezonansu impedancyjnego IEEE dla materiałów ferroelektrycznych jest prawie niemożliwe, ponieważ stopień nabiegunowości zależy od geometrii próbki (warunki brzegowe), podczas gdy właściwości próbki zależą od poziomu polowania. Aby uniknąć problemów spowodowanych różnicami między próbkami, wszystkie stałe powinny być mierzone z jednej próbki. Li i wsp. poinformowali o udanym pomiarze wszystkich stałych z jednej próbki w temperaturze pokojowej przy użyciu kombinacji ultradźwięków impulsowo-echa i spektroskopii odwrotnej impedancji5. Niestety technika ta jest trudna do wykonania w podwyższonych temperaturach, ponieważ nie jest możliwe wykonywanie pomiarów ultradźwiękowych bezpośrednio wewnątrz pieca. Nie ma również dostępnych na rynku przetworników ścinających, które mogą pracować w wysokich temperaturach. Ponadto smar sprzęgłowy, który wiązał przetwornik i próbkę, nie może pracować w wysokich temperaturach.
Zasadniczo, technika RUS jest w stanie określić pełne stałe materiałowe materiałów piezoelektrycznych i ich zależność od temperatury przy użyciu tylko jednej próbki6,7. Istnieje jednak kilka kluczowych kroków dla prawidłowego wdrożenia techniki RUS. Po pierwsze, pełny zestaw właściwości tensora w temperaturze pokojowej powinien być dokładnie określony przy użyciu kombinacji technik echa impulsowego i RUS. Po drugie, ten zestaw danych dotyczących temperatury w pomieszczeniu może być wykorzystany do przewidywania częstotliwości rezonansowych i dopasowania zmierzonych częstotliwości w celu zidentyfikowania odpowiednich modów. Po trzecie, dla każdego małego przyrostu temperatury od temperatury pokojowej w górę należy wykonać rekonstrukcję widma w stosunku do zmierzonego widma rezonansowego, aby uzyskać pełne ustawione stałe w tej nowej temperaturze ze zmierzonego widma rezonansowego. Następnie, używając nowego zestawu danych jako nowego punktu wyjścia, możemy zwiększyć temperaturę o kolejny mały krok temperatury, aby uzyskać pełne ustawione stałe przy następnej temperaturze. Kontynuacja tego procesu pozwoli nam uzyskać zależność temperaturową od pełnych ustawionych stałych materiałowych.
Tutaj próbka piezoceramiczna PZT-4 jest używana do zilustrowania procedury pomiarowej techniki RUS. Ceramika PZT-4 ma symetrię ∞m z 10 niezależnymi stałymi materiałowymi: 5 stałymi sprężystości, 3 stałymi piezoelektrycznymi i 2 stałymi dielektrycznymi. Ponieważ stałe dielektryczne są niewrażliwe na zmianę częstotliwości rezonansowych, zostały zmierzone oddzielnie przy użyciu tej samej próbki. Zależność temperaturowa zaciśniętych stałych dielektrycznych
i
zostały zmierzone bezpośrednio z pomiarów pojemności, natomiast swobodne stałe dielektryczne
i
mierzone w tym samym czasie posłużyły do sprawdzania spójności danych. Zależność temperaturowa stałych sztywności sprężystej przy stałym polu elektrycznym
,
,
,
i
, oraz stałe naprężeń piezoelektrycznych e15, e31 i e33 oznaczono techniką RUS przy użyciu tej samej próbki.
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
1. Przygotowanie próbki
Uwaga: próbki ceramiki PZT-4 o pożądanym rozmiarze można zamówić bezpośrednio u wielu producentów ceramiki PZT. Można również wyciąć próbkę z większego bloku ceramicznego PZT za pomocą diamentowej maszyny do cięcia, a następnie ponownie natyczować próbkę, aby przywrócić osadzanie spowodowane cięciem i polerowaniem. W tym przypadku kształtem próbki jest równoległościan o każdym wymiarze od 3 mm do 10 mm. Próbki o większych rozmiarach nie są konieczne, ale dokładność może być zagrożona, jeśli próbki są zbyt małe.
2. Pomiar ultrasonograficzny echa pulsacyjnego
Uwaga: W tym artykule
i
reprezentują elementi-tego wiersza kolumny tensorów sztywności sprężystości odpowiednio przy stałym polu elektrycznym i stałym przemieszczeniu elektrycznym;
i
reprezentują elementi-tej kolumny sprężystych tensorów podatności odpowiednio przy stałym polu elektrycznym i stałym przemieszczeniu elektrycznym; dij reprezentuje i-ty wiersz jth element kolumny piezoelektrycznego tensora odkształceń; eij reprezentuje elementi-tego wiersza kolumnyj-tej tensora naprężeń piezoelektrycznych;
i
reprezentują element kolumny iwiersza j th odpowiednio zaciśniętych i swobodnych stałych dielektrycznych. Wszystkie stałe materiałowe macierzy są w notacji Voigta.
impulsu fali podłużnej wzdłuż osi x.
, dzieląc dwukrotność grubości próbki (odległość w obie strony) przez
, a następnie wyznacz stałą sprężystości
za pomocą wzoru:
, gdzie ρ oznacza gęstość próbki.
, gdzie
to czas przelotu fali poprzecznej w obie strony wzdłuż kierunku x. Wyznacz stałą sprężystości przy ścinaniu
za pomocą wzoru
.
korzystając ze wzoru:
. Jest to wzór na próbkę PZT o symetrii ∞m.
dla fali poprzecznej wzdłuż kierunku z za pomocą oscyloskopu cyfrowego. Oblicz prędkość dźwięku
używając wzoru:
, i wyznacz stałą sprężystości
używając wzoru:
.3. Zmierz zależność od temperatury stałych dielektrycznych
używając przybliżenia płytki równoległej
, gdzie pojemność
jest mierzona przy 35 MHz, >A to powierzchnia elektrody, a t to grubość próbki.
.
na podstawie wzoru na pojemność równoległą, używając wartości pojemności przy 35 MHz, przy której pojemność staje się prawie niezależna od częstotliwości.
używając pojemności niskiej częstotliwości przy 1 kHz.
i
.4. Pomiar częstotliwości rezonansowych w temperaturze pokojowej i identyfikacja trybu
,
,
zostały określone w krokach 2.4-2.8. Wartości
i
zostały określone w krokach 3.25 i 3.31. Wyznacz stałą piezoelektryczną ścinania e15 według wzoru:
. Oszacuj początkowe wartości wejściowe
,
, e31 i e33, na podstawie stałych materiałowych zmierzonych techniką łączoną z kilku próbek. Równania do obliczania częstotliwości rezonansowej dla każdego modu podano w odnośniku 6.
,
, e31 i e33 iteracyjnie, aby zminimalizować całkowity błąd globalny między obliczonymi i zmierzonymi częstotliwościami rezonansowymi. Iteracja zatrzymuje się po osiągnięciu żądanej dokładności.5. Pomiar widma rezonansowego przy wyższych temperaturach i wyznaczanie zależności od temperatury od pełnych stałych materiałowych
to obliczona częstotliwość rezonansowa,
jest dopasowaną częstotliwością rezonansową na podstawie wyników pomiarów, a wi jest współczynnikiem ważenia. Kod komputerowy do obliczania nieznanych stałych materiałowych na podstawie zmierzonych częstotliwości rezonansowych został napisany w oparciu o algorytm Levenberga-Mauquardta (LM)8, a niektóre podprogramy FORTRAN w MINPACK9 były wywoływane podczas implementacji algorytmu LM.
i
na podstawie wyników inwersji i porównaj je z bezpośrednio zmierzonymi (Rysunek 7)10.
dla przypadku PZT.
i
, oraz wartości d33 obliczone za pomocą
i
.Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Algorytm LM używany w inwersji to lokalny wyszukiwarka minimum. Dlatego początkowe wartości stałych sztywności sprężystości
,
,
,
, oraz
, oraz stałe piezoelektryczne,...
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Opisana tutaj technika RUS może mierzyć pełne stałe materiałowe przy użyciu tylko jednej próbki, co eliminuje błędy spowodowane zmiennością właściwości z próbki na próbkę, dzięki czemu można zagwarantować samospójność. Metodę można stosować do dowolnego materiału stałego o wysokim współczynniku jakości Q, bez względu na to, czy jest piezoelektryczny, czy nie. Wszystkie inne standardowe techniki charakteryzacji wymagają kilku próbek, aby uzyskać pełne dane z zestawu i są trudne do uzyskania danych samospójnych.
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Autorzy nie mają nic do ujawnienia.
Ta praca była wspierana przez Narodową Fundację Nauk Przyrodniczych Chin (Grant nr 11374245), NIH w ramach Grantu nr P41-EB2182, Fundację Nauk Przyrodniczych Prowincji Fujian, Chiny (Grant nr 2013J01163), oraz Otwarty Fundusz Badawczy Państwowego Kluczowego Laboratorium Akustyki Chińskiej Akademii Nauk (Grant No. SKLA201306).
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
|---|---|---|---|
| PZT-4 | TRS | ||
| parafina | MTI Corporation | 8002-74-2 | |
| przewodząca srebrna farba | MG Chemicals | 842-20G | |
| Al2O3 Proszek | MTI Corporation | ||
| Panametrics |
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article
Request Permission