1. Eksperymentalny moduł chipa
- Wytworzenie chipu z elektrodą z tlenku indu i cyny (ITO) za pomocą fotolitografii i procesów chemicznego trawienia na mokro
- Nabyć komercyjnie podłoże ITO (370 mm x 480 mm x 0,5 mm (D x S x W)) z warstwą ITO o grubości 2 600 Å (patrz Lista Materiałów). Przyciąć podłoże ITO do wymiarów 90 mm x 90 mm x 0,5 mm za pomocą przecinaka do szkła w celu przygotowania procesu wzorowania elektrod ITO w 4-calowym naświetlaczu.
- Użyć myjki ultradźwiękowej do oczyszczenia szkła ITO najpierw w acetonie, a następnie w wodzie dejonizowanej, przez 15 min w każdym z roztworów. Osuszyć szkło ITO czystym suchym powietrzem.
- Nanieść 5 ml pozytywnego fotorezystu na powierzchnię szkła ITO.
- Użyć wirówki do powlekania z prędkością 500 x g przez 30 sec, aby uzyskać jednolitą warstwę fotorezystu. Następnie wypiekać na płycie grzejnej w temperaturze 90 °C przez 5 min, aby odparować nadmiar rozpuszczalnika z fotorezystu.
- Naświetlać szkło ITO światłem ultrafioletowym o mocy 14 mW i długości fali 436 nm przez 3,1 sec przez foliową maskę z zaprojektowanym wzorem (patrz Lista Materiałów).
- Zanurzyć próbkę w 60 ml roztworu wywołującego w temperaturze 23 °C przez 30 sec w celu wywołania wzorowanych ścieżek. Następnie wypiekać na płycie grzejnej w temperaturze 120 °C przez 10 min, aby utwardzić fotorezyst i poprawić jego adhezję.
- Zanurzyć próbkę na 3 min w 60 ml roztworu trawiącego w temperaturze 80 °C, aby wytrawić niechronioną warstwę ITO.
- Zanurzyć próbkę na 1 min w 60 ml acetonu, aby usunąć fotorezyst z powierzchni szkła ITO.
- Przyciąć szkło ITO do wymiarów 62 mm x 35 mm za pomocą przecinaka do szkła, aby uzyskać eksperymentalny chip z elektrodą ITO (Rysunek 1).

Rycina 1: Chip z elektrodami ITO. Przedstawiono wykonany chip ITO z 8 parami ścieżek z naniesionym wzorem elektrod. Na krawędzi bocznej znajduje się 15 elektrod o wymiarach 2 mm x 8 mm, a dwie centralne ścieżki dzielą tę samą elektrodę. Odległość między każdą parą palców elektrod w studni testowej wynosi 7 mm. Kliknij tutaj, aby wyświetlić powiększoną wersję tej ryciny.
- Konstrukcja eksperymentalnego modułu chipa
- Oczyść komercyjną silikonową matrycę 8-dołkową w myjce ultradźwiękowej, jak pokazano na Rysunku 2, najpierw detergentem, następnie wodą dejonizowaną, potem 95% etanolem i ponownie wodą dejonizowaną, przez 15 min w każdym etapie.
- Osusz silikonową matrycę 8-dołkową, przedmuchując ją czystym, suchym powietrzem.
- Dociśnij silikonową matrycę 8-dołkową do chipa ITO, aby utworzyć eksperymentalny moduł chipa (Rysunek 3). Mocno połącz matrycę silikonową z chipem ITO.

Rycina 2: Silikonowa matryca otworów. Komercyjna silikonowa matryca 8-dołkowa pozwala na jednoczesne umieszczenie 8 badanych próbek. Rozmiar każdego otworu wynosi 11 mm x 8 mm x 8,5 mm (D x S x W). Kliknij tutaj, aby wyświetlić powiększoną wersję tej ryciny.

Rycina 3: Eksperymentalny moduł chipa. Chip z elektrodą ITO jest połączony z 8-dołkową matrycą silikonową, tworząc eksperymentalny moduł chipa. Adhezja między matrycą silikonową a chipem ITO jest silna. W związku z tym matryca silikonowa i chip ITO mogą być ze sobą trwale połączone do użytku bez zastosowania żadnej substancji klejącej. Kliknij tutaj, aby wyświetlić powiększoną wersję tej ryciny.
2. Pomiar impedancji
- Podłączyć komputer osobisty, wzmacniacz lock-in oraz przekaźnik przełączający, aby utworzyć moduł odczytu impedancji, zgodnie z Rysunkiem 4.

Rycina 4: Schemat aparatury opartej na pomiarze impedancji. Moduł odczytu impedancji składa się ze wzmacniacza lock-in, przekaźnika przełączającego oraz komputera osobistego. Komercyjny fazoczuły wzmacniacz lock-in służy do wysyłania i odbierania sygnałów elektrycznych. Własnoręcznie wykonany układ przekaźnika przełączającego, łączący różne chipy ITO, służy do określenia, która studnia i który chip ITO mają zostać przebadane. Do przekaźnika można podłączyć łącznie 6 chipów, co pozwala na badanie 48 próbek w trybie współdzielenia czasu. Opór w fazie rzeczywistej oraz przesunięcie fazowe sygnału badanego roztworu są rejestrowane w czasie rzeczywistym na komputerze osobistym przez cały proces odparowywania. Kliknij tutaj, aby wyświetlić powiększoną wersję tej ryciny.
- Umieść moduł układu eksperymentalnego w gnieździe przekaźnika przełączającego.
- Wprowadź parametry w programie komputerowym. Wpisz częstotliwość sygnału (1 kHz), określony numer studni (0-7), cykl wykonania (100) oraz nazwę pliku (HA).
3. Eksperymenty z odparowaniem
- Przygotować cztery roztwory kwasu hialuronowego o objętości 2,5 ml o stężeniach 0, 0,05, 0,5 oraz 1 w/v% w wodzie. Umieścić każdą 2,5 ml próbkę roztworu w fiolce o wymiarach 14,75 mm x 45 mm x 8 mm (średnica zewnętrzna x wysokość x średnica wewnętrzna).
- Dla każdego roztworu dodać 0,5 ml próbki do pojedynczej studni modułu chipa ITO.
- Zważyć i zapisać masę początkową każdej fiolki za pomocą wagi elektronicznej.
- Uruchomić program komputerowy, aby automatycznie mierzyć i rejestrować w czasie rzeczywistym rezystancję w fazie oraz przesunięcie fazowe sygnału we wskazanych studniach chipa ITO.
- Rozpocząć eksperymenty z odparowywaniem jednocześnie w tym samym miejscu, stosując zarówno metodę ważenia, jak i metodę impedancyjną.
- W wyznaczonych odstępach czasu zważyć i zapisać masę każdej fiolki za pomocą wagi elektronicznej.
- Przeanalizować dane zebrane metodą ważenia oraz metodą impedancyjną.19