Przedstawiono tutaj proces produkcji mikroprocesorów, który wykorzystuje plazmoniczną pęsetę. Mikroczip umożliwia obrazowanie uwięzionej cząstki w celu zmierzenia maksymalnych sił wychwytywania.
Subskrypcja JoVE jest wymagana do oglądania tego materiału. Zaloguj się lub rozpocznij bezpłatny okres próbny.
Artykuł metodologiczny
Przedstawiono tutaj proces produkcji mikroprocesorów, który wykorzystuje plazmoniczną pęsetę. Mikroczip umożliwia obrazowanie uwięzionej cząstki w celu zmierzenia maksymalnych sił wychwytywania.
Pęsety plazmoniczne wykorzystują powierzchniowe polarytony plazmonowe do ograniczania polaryzowalnych obiektów w nanoskali. Spośród różnych konstrukcji pęsety plazmonicznej tylko nieliczne mogą zaobserwować unieruchomione cząstki. Co więcej, ograniczona liczba badań eksperymentalnie zmierzyła siły wywierane na cząstki. Projekty można sklasyfikować jako wystający typ nanodysku lub typ stłumionej nanodziury. W przypadku tych ostatnich obserwacja mikroskopowa jest niezwykle trudna. W artykule przedstawiono nowy system pęsety plazmonicznej do monitorowania cząstek, zarówno w kierunkach równoległych, jak i prostopadłych do symetrycznej osi struktury plazmonicznej nanodziury. Ta cecha pozwala nam obserwować ruch każdej cząstki w pobliżu krawędzi nanodziury. Ponadto możemy ilościowo oszacować maksymalne siły pułapkowania za pomocą nowego kanału hydraulicznego.
Możliwość manipulowania obiektami w mikroskali jest nieodzowną cechą dla wielu eksperymentów mikro/nano. Manipulacje bezpośrednim kontaktem mogą uszkodzić manipulowane obiekty. Uwolnienie wcześniej trzymanych przedmiotów jest również trudne ze względu na problemy z tarciem. Aby przezwyciężyć te problemy, należy zastosować kilka metod pośrednich wykorzystujących fluidic1, electric2, magnetic3, lub sił fotonicznych4,5,6,7,8 zostały zaproponowane. Pęsety plazmoniczne, które wykorzystują siły fotoniczne, opierają się na fizyce nadzwyczajnego wzmocnienia pola o kilka rzędów większego niż intensywność zdarzenia9. To niezwykle silne wzmocnienie pola umożliwia wychwytywanie bardzo małych nanocząstek. Na przykład wykazano, że unieruchamia i manipuluje obiektami w skali nano, takimi jak cząsteczki polistyrenu7,10,11,12,13,14, łańcuchy polimerowe15, białka16, kropki kwantowe17 i cząsteczki DNA8,18. Bez pęsety plazmonicznej trudno jest wychwycić nanocząstki, ponieważ szybko znikają, zanim zostaną skutecznie zbadane lub ponieważ są uszkodzone z powodu dużej intensywności lasera.
Wiele badań plazmonicznych wykorzystywało różne nanoskalowe struktury złota. Możemy sklasyfikować złote struktury jako wystające typy nanodysków12,13,14,15,19,20,21 lub stłumione typy nanootworów7,8,10,11,22,23. Jeśli chodzi o wygodę obrazowania, typy nanodysków są bardziej odpowiednie niż typy nanodziur, ponieważ w przypadku tych drugich złote podłoża mogą zasłaniać widok obserwacyjny. Co więcej, pułapkowanie plazmoniczne zachodzi w pobliżu struktury plazmonicznej i sprawia, że obserwacja jest jeszcze trudniejsza. Zgodnie z naszą najlepszą wiedzą, pułapkowanie plazmoniczne na typach nanodziur zostało zweryfikowane tylko przy użyciu sygnałów rozpraszania pośredniego. Nie zgłoszono jednak żadnych udanych bezpośrednich obserwacji, takich jak obrazy mikroskopowe. Niewiele badań opisało położenie uwięzionych cząstek. Jeden z takich wyników został zaprezentowany przez Wang i wsp. Stworzyli złoty słup na złotym podłożu i obserwowali ruch cząstek za pomocą mikroskopu fluorescencyjnego24. Jest to jednak skuteczne tylko w przypadku monitorowania ruchów bocznych nie w kierunku równoległym do osi belki.
W tym artykule przedstawiamy nowe procedury projektowania i produkcji mikroprocesorów fluidycznych. Za pomocą tego chipa demonstrujemy monitorowanie cząstek uwięzionych plazmonicznie, zarówno w kierunkach równoległych, jak i prostopadłych do nanostruktury plazmonicznej. Ponadto mierzymy maksymalną siłę unieruchomionej cząstki, zwiększając prędkość płynu, aby znaleźć prędkość przechylania w mikrochipie. Badanie to jest wyjątkowe, ponieważ większość badań nad pęsetami plazmonicznymi nie może ilościowo pokazać maksymalnych sił pułapkowania stosowanych w ich eksperymentalnych konfiguracjach.
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Uwaga: Przed użyciem zapoznaj się ze wszystkimi odpowiednimi przepisami dotyczącymi bezpieczeństwa materiałów. Kilka substancji chemicznych stosowanych w produkcji mikroczipów jest bardzo toksycznych i rakotwórczych. Podczas wykonywania procesów fotolitografii i trawienia należy stosować wszystkie odpowiednie praktyki bezpieczeństwa, w tym używać kontroli inżynieryjnych (dygestoria, płyta grzejna i nakładki) oraz środków ochrony osobistej (okulary ochronne, rękawice, fartuch laboratoryjny, długie spodnie i buty z zakrytymi palcami).
1. Produkcja mikrokanału PDMS
2. Proces trawienia złotej płyty
3. Montaż mikroprocesora
4. Poprawa chropowatości powierzchni bocznej mikroczipa dzięki powłoce PDMS
UWAGA: Złota płytka o stałych wymiarach 400 x 150μm2 jest stosunkowo trudniejsza do wycięcia niż materiał PDMS. Dlatego, aby odłączyć mikrokanał PDMS od płytki, używa się żyletki do wycięcia większego kawałka niż złota płytka. Po połączeniu dwóch części, nadmiar części PDMS w stosunku do złotej płytki musi zostać przecięty tak, aby wnętrze kanału można było obserwować z boku za pomocą mikroskopu (rysunek 4a). Jednak powierzchnia cięcia, która jest używana jako okno, ma wysoką chropowatość powierzchni i w konsekwencji wytwarza mętne obrazy cząstek przepływających w kanale (rysunek 4b). Powlekanie roztworem PDMS jest wykonywane ponownie, aby rozwiązać ten problem.
5. Laserowe złącze do wkładania SMF do mikroprocesora
UWAGA: Do plazmonicznego systemu pęsety używany jest laser światłowodowy o długości fali 1,064 nm. SMF jest używany, ponieważ średnica padającego lasera (5 mm) jest zbyt duża, aby emitować wiązkę laserową na nanootwór wyfrezowany na bloku złota (400 x 150μm2) w mikrochipie. Średnica płaszcza SMF wynosi 125 μm. W związku z tym należy połączyć laser padający i SMF.
6. Plazmoniczne uwięzienie pojedynczej cząstki polistyrenu fluorescencyjnego w mikrochipie
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Proces wykonania mikrokanału z PDMS oraz złotej płytki z nanootworami przedstawiono na rysunkach 1 i 2. Sposób połączenia obu części oraz gotowy mikrochip pokazano na rysunku 3. PDMS został przecięty, aby odsłonić wnętrze kanału od strony mikrochipu. Jednak ze względu na chropowatość powierzchni płaszczyzny cięcia, obserwacja cząstek przepływających w kanale była utrudniona. Aby rozwiązać ten problem, zastosowano metodę powlekania PDMS, c...
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Kabel SMF został włożony do otworu na kabel SMF w mikrochipie, jak pokazano na prostokątnej kropce na rysunku 6a. Ponieważ otwór na kabel SMF jest większy niż średnica kabla, do uszczelnienia szczeliny użyto kleju epoksydowego, aby zablokować wyciek przepływającego roztworu cząstek. Przed nałożeniem kleju epoksydowego złoty blok i krawędź kabla należy wyrównać współosiowo ręcznie za pomocą mikroskopu. Chociaż idealnie jest, aby włożona krawędź kabla i nanootwór były wyrównane współosiowo, niewielka niews...
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Autorzy nie mają nic do ujawnienia.
Ta praca była wspierana przez program badawczo-rozwojowy ICT MSIP/IITP (R0190-15-2040, Opracowanie systemu zarządzania konfiguracją treści i symulatora do druku 3D przy użyciu inteligentnych materiałów).
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
| Nazwa | Firma | Numer katalogowy | Komentarze |
|---|---|---|---|
| Fotorezystor negatywny | MicroChem | SU-8 2075 | |
| Developer | MicroChem | SU-8 Developer | |
| Pozytywny fotorezystor | Merck Sp. z o.o. | AZ GXR-601 | |
| AZ Photoresist Deweloperzy Merck | Ltd. | AZ 300 MIF | |
| HMDS | Merck Sp. z o.o. | AZ Adhesion Promoter | |
| Aligner | Midas System | MDA 400M | |
| Maszyna do plazmy atmosferycznej | Proces atmosferyczny Plasma Co. | IDP-1000 | |
| Polidimetylosiloksan (PDMS) | Dow Corning | Sylgard 184 A/B | |
| Szkiełka testowe pokryte złotem | EMF Co. | TA124(Ti/Au) | |
| Au wytrawiacz | Transene Inc. | Wytrawiacz TFA | |
| Ti | Transene Inc. | Soczewka obiektywowa TFT | |
| 40X | Edmund Optics | 40X DIN | |
| 60X zanurzenie w wodzie soczewka obiektywowa | Olympus | LUMPLFLN 60XW | |
| Laser światłowodowy padający na światłowód | Łącznik IPG Photonic | YLR 10 | |
| SMF | Thorlabs | MBT612D/M | |
| Mikropompa strzykawkowa | Harvard | PC2 70-4501 | |
| Mikroskop fluorescencyjny | Olympus | IX-51 | |
| Femto Science Inc | CUTE-MPR |
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.