$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
Mikropompy mogą wymuszać przepływ cieczy w znacznie mniejszej skali niż większość pomp. W ostatnich latach różne schematy sterowania z powodzeniem zastosowano w systemach mikroprzepływowych1,2,3,4,5. Pompa elektrohydrodynamiczna (EHD) może wywierać siły bezpośrednio na ciecz, bez żadnych ruchomych części, co czyni ją prostszą i łatwiejszą w wykonaniu6. Ze względu na rodzaje ładunków, pompy EHD można sklasyfikować jako pompy wtryskowe, indukcyjne lub kondukcyjne. Pompy indukcyjne nie działają w przypadku cieczy izotermicznych, natomiast pompy wtryskowe zmieniają przewodność cieczy. Ponieważ pompy kondukcyjne są wolne od takich problemów, są bardziej stabilne i mają szersze zastosowanie.
Pompa kondukcyjna opiera się na niedopasowaniu szybkości dysocjacji i rekombinacji cząsteczek cieczy. Zazwyczaj proces dysocjacji i rekombinacji można przedstawić w następujący sposób7,8:

gdzie szybkość rekombinacji kr jest stała, natomiast szybkość dysocjacji kd jest funkcją natężenia pola elektrycznego. Gdy natężenie pola elektrycznego osiągnie określoną wartość, szybkość dysocjacji przewyższy szybkość rekombinacji. Wówczas coraz więcej wolnych ładunków przemieszcza się do dwóch elektrod o przeciwnych biegunach, co prowadzi do powstania warstw ładunków przeciwnych. Warstwy te są kluczowe dla działania pompy, ponieważ ruch ładunków pcha cząsteczki cieczy do przodu. W związku z tym, w cieczy wewnątrz komory można wytworzyć wypadkową siłę objętościową, stosując asymetryczne elektrody lub wykorzystując różnicę w ruchliwości jonów dodatnich i ujemnych9,10,11,12.
Niniejsza praca przedstawia nową metodę wykonania symetrycznej płaskiej płyty elektrodowej do pompy kondukcyjnej. Płyta elektrodowa została przygotowana na podłożu FR-4 CCL, a komora pompy została wykonana za pomocą mikrobiaremacji. Procesy wytwarzania są stosunkowo prostsze i bardziej wygodne niż w przypadku innych metod produkcji, takich jak nanolitografia. W celu zbadania wydajności mikropompy kondukcyjnej w różnych warunkach zbudowano platformę testową. Ponadto zbadano również niezawodność mikropompy kondukcyjnej w różnych okolicznościach.