Mikropompy mogą wymuszać przepływ cieczy w znacznie mniejszej skali niż większość pomp. W ostatnich latach różne schematy napędowe zostały z powodzeniem zastosowane w systemach mikrofluidycznych1,2,3,4,5. Pompa elektrohydrodynamiczna (EHD) może wywierać siły bezpośrednio na ciecz, bez udziału ruchomych części, co czyni ją prostszą i łatwiejszą w wykonaniu6. W zależności od rodzaju ładunków, pompy EHD można sklasyfikować jako pompy wtryskowe, indukcyjne lub kondukcyjne. Pompy indukcyjne nie działają w cieczach izotermicznych, natomiast pompy wtryskowe zmieniają przewodność cieczy. Ponieważ pompy kondukcyjne są wolne od tych problemów, są one bardziej stabilne i mają szersze zastosowanie.
Pompa kondukcyjna opiera się na niezrównoważeniu szybkości dysocjacji i rekombinacji cząsteczek cieczy. Zazwyczaj proces dysocjacji i rekombinacji można wyrazić w następujący sposób7,8:

gdzie szybkość rekombinacji kr jest stała, natomiast szybkość dysocjacji kd jest funkcją natężenia pola elektrycznego. Gdy natężenie pola elektrycznego osiągnie określoną wartość, szybkość dysocjacji przekroczy szybkość rekombinacji. Wówczas coraz więcej swobodnych ładunków przemieszcza się do dwóch elektrod o przeciwnych polaryzacjach, tworząc warstwy ładunków przeciwnych. Warstwy te są kluczowym elementem pompy, ponieważ ruch ładunków pcha cząsteczki cieczy do przodu. W związku z tym, wykorzystując asymetryczne elektrody lub różnicę w ruchliwości jonów dodatnich i ujemnych, w cieczy wewnątrz komory można wygenerować wypadkową siłę objętościową9,10,11,12.
Niniejsza praca przedstawia nową metodę wytwarzania symetrycznej płaskiej płyty elektrodowej do pompy kondukcyjnej. Płyta elektrodowa jest przygotowywana na laminacie FR-4 CCL, a komora pompy jest opracowywana za pomocą mikrobrawienia. Procesy wytwarzania są stosunkowo prostsze i wygodniejsze niż w przypadku innych metod produkcji, takich jak nanolitografia. W celu zbadania wydajności mikropompy kondukcyjnej w różnych warunkach zbudowano platformę testową. Ponadto zbadano również niezawodność mikropompy kondukcyjnej w różnych okolicznościach.