Metoda wytwarzania cienkich elektrod międzypalcowych (szczelina i szerokość: 20 μm) na końcu igły podskórnej (średnica: 720 μm) jest demonstrowana przy użyciu powłoki natryskowej i elastycznej folii fotomaski w procesie fotolitografii.
Artykuł metodologiczny
Metoda wytwarzania cienkich elektrod międzypalcowych (szczelina i szerokość: 20 μm) na końcu igły podskórnej (średnica: 720 μm) jest demonstrowana przy użyciu powłoki natryskowej i elastycznej folii fotomaski w procesie fotolitografii.
Wprowadziliśmy metodę wytwarzania spektroskopii impedancji elektrycznej (EIS)-na-igle (EoN: EIS-on-a-needle) do lokalizowania tkanek docelowych w ciele poprzez pomiar i analizę różnic w impedancji elektrycznej między różnymi biotkankami. W artykule opisano metodę wytwarzania cienkich elektrod międzypalcowych (IDE) na końcu igły podskórnej przy użyciu powłoki fotorezystu w sprayu i elastycznej fotomaski filmowej w procesie fotolitografii. Jako warstwę izolacyjną i pasywacyjną stosuje się rurkę termokurczliwą (HST) z politereftalanu etylenu (PET) o grubości ścianki 25 μm. PET HST wykazuje wyższą trwałość mechaniczną w porównaniu z polimerami poli(p-ksylilenu), które są szeroko stosowane jako dielektryczny materiał powłokowy. Ponadto HST wykazuje dobrą odporność chemiczną na większość kwasów i zasad, co jest korzystne dla ograniczenia chemicznych uszkodzeń EoN. Stosowanie EoN jest szczególnie preferowane do charakteryzowania chemikaliów/biomateriałów lub wytwarzania przy użyciu kwaśnych/zasadowych substancji chemicznych. Wytwarzana szczelina i szerokość IDE wynosi zaledwie 20 μm, a całkowita szerokość i długość IDE wynoszą odpowiednio 400 μm i 860 μm. Margines wytwarzania od końcówki (odległość między końcówką igły podskórnej a punktem początkowym IDE) igły podskórnej wynosi zaledwie 680 μm, co wskazuje, że podczas pomiaru impedancji elektrycznej można uniknąć niepotrzebnie nadmiernej inwazji na biotkanki. EoN ma duży potencjał do zastosowań klinicznych, takich jak biopsje tarczycy i dostarczanie leków znieczulających w przestrzeni rdzeniowej. Co więcej, nawet w chirurgii, która obejmuje częściową resekcję guzów, EoN można zastosować w celu zachowania jak największej ilości normalnej tkanki poprzez wykrycie marginesu chirurgicznego (normalna tkanka, która jest usuwana wraz z chirurgicznym wycięciem guza) między tkankami prawidłowymi a zmienionymi.
Igły podskórne są powszechnie stosowane w szpitalach do biopsji i dostarczania leków, ponieważ są tanie i łatwe w użyciu. Mają również doskonałe właściwości mechaniczne pomimo cienkiej średnicy i ostro zakończonej struktury nadającej się do inwazji. Podczas biopsji docelowe tkanki są pobierane w zagłębieniu igły podskórnej pod kontrolą ultrasonografii1. Chociaż ultrasonografia jest wolna od promieniowania, bezpieczna dla płodów i kobiet w ciąży oraz zapewnia obrazowanie w czasie rzeczywistym, trudno jest zobaczyć narządy znajdujące się głęboko w ciele, szczególnie w przypadku otyłych pacjentów, ponieważ fale ultradźwiękowe nie mogą przenikać przez powietrze ani tkanki tłuszczowe2. Ponadto chirurg nie może uzyskać informacji o głębokości z dwuwymiarowej ultrasonografii, która jest konwencjonalnie stosowana w większości szpitali, co powoduje konieczność wykonania wielu biopsji, jeśli lekarze nie mają umiejętności lub doświadczenia. Podczas podawania leków do znieczulenia podpajęczynówkowego lekarze stwierdzają, że igła dotarła do przestrzeni rdzeniowej, jeśli płyn mózgowo-rdzeniowy (CSF) przepływa z powrotem do strzykawki, ostrożnie wkładając igłę w plecy pacjenta. Po potwierdzeniu refluksu płynu mózgowo-rdzeniowego, lek znieczulający jest wstrzykiwany do przestrzeni rdzeniowej3. Jednak lekarze ryzykują penetrację lub odcięcie włókien nerwowych w przestrzeni rdzeniowej, powodując silny ból u pacjentów, a nawet paraplegię4,5. Tak więc ta procedura wymaga również wprawnego lekarza. Jednym z rozwiązań mających na celu przezwyciężenie i złagodzenie wyżej wymienionych trudności jest dodanie funkcji nawigacji do igły podskórnej, aby można było dostarczyć obiektywnych informacji na temat położenia igły. Pomogłoby to lekarzowi w łatwym wykonaniu biopsji, podaniu leku, a nawet operacji, nie polegając wyłącznie na swojej empirycznej ocenie.
W celu elektrycznego zlokalizowania tkanek docelowych w ciele, igła podskórna wyposażona w czujnik spektroskopii impedancji elektrycznej (EIS) została wprowadzona jako EIS-on-a-needle (EoN)6. Czujnik EIS jest obecnie wykorzystywany w dziedzinie inżynierii biomedycznej do zastosowań takich jak wykrywanie DNA7,8,9, wykrywanie bakterii/wirusów10,11,12, oraz analiza na komórkach/tkankach13,14,15,16,17,18,19,20,21,22. EoN może rozróżniać różne materiały w dziedzinie częstotliwości na podstawie ich przewodności elektrycznej i przenikalności. Zdolność do dyskryminacji EoN została zweryfikowana dla różnych poziomów stężenia soli fizjologicznej buforowanej fosforanami (PBS)23, tłuszczu wieprzowego/tkanek mięśniowych6,23, a nawet ludzkich normalnych nerek/tkanek nowotworowych24,25. Oczekuje się, że ta zdolność EoN znacznie zwiększy dokładność biopsji poprzez lokalizację tkanek docelowych na podstawie różnic w impedancji elektrycznej między docelowymi tkankami zmiany chorobowej a sąsiednimi normalnymi tkankami. W podobny sposób badanie różnic w impedancji elektrycznej między przestrzenią do wstrzykiwania leku (przestrzeń rdzeniową lub zewnątrzoponową) a otaczającymi tkankami może pomóc lekarzom w dostarczeniu leku znieczulającego w dokładnym miejscu docelowym. Co więcej, EoN może być wykorzystany do elektrycznej stymulacji mózgu / mięśni, a także do określenia optymalnego marginesu chirurgicznego podczas operacji, które obejmują częściową resekcję guza, takich jak częściowa nefrektomia, w celu zachowania jak największej ilości normalnej tkanki.
Jednym z największych wyzwań w realizacji EoN jest wytwarzanie elektrod na zakrzywionej powierzchni igły podskórnej o małym promieniu krzywizny. Bezpośrednie wzorowanie metalu przy użyciu konwencjonalnego procesu fotolitografii zostało uznane za nieodpowiednie do wytwarzania mikroelektrod na zakrzywionym podłożu o średnicy kilku milimetrów lub mniejszej. Do tej pory wprowadzono różne metody, w tym druk konforemny26, elastyczny suchy film photoresist27, metodę mikroprzepływową28, nanoimprint lithography29 oraz litografię obracającą podłoże30, do wytwarzania wzorów metalowych/polimerowych na zakrzywionej powierzchni. Nadal jednak istnieją ograniczenia wynikające z wymagań dotyczących EON, takie jak wymagane podłoże o średnicy mniejszej niż 1 mm, całkowita długość elektrody 20 mm lub więcej, szerokość i odstęp między elektrodami w zakresie kilkudziesięciu mikrometrów oraz produkcja wielkoseryjna.
W obecnym badaniu, zaproponowano bezpośrednie wzorowanie metalu za pomocą powłoki w sprayu fotorezystu i elastycznej fotomaski filmowej, aby zrealizować mikro elektrody na zakrzywionej powierzchni igły podskórnej. Średnica igły wynosi zaledwie 720 μm (rozmiar 22), co jest szeroko stosowane do biopsji i podawania leków w szpitalach. Oceniana jest również wydajność produkcji proponowanej metody wytwarzania w celu określenia wykonalności produkcji masowej po przystępnej cenie.
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
1. Izolacja elektryczna igły podskórnej
UWAGA: Przezroczysta rurka termokurczliwa (HST) jest używana do izolacji elektrycznej igły podskórnej o średnicy 720 μm i długości 32 mm. HST wykonany jest z politereftalanu etylenu (PET), który wykazuje dobrą odporność chemiczną na większość kwasów i zasad, doskonałą trwałość mechaniczną i biokompatybilność. Początkowa średnica wewnętrzna i grubość ścianki HST wynoszą odpowiednio 840 μm i 25 μm. Średnica HST ma tendencję do zmniejszania się o ponad 50% w temperaturze 100 °C, z jeszcze większą redukcją w wyższych temperaturach do 190 °C. Należy pamiętać, że PET HST jest materiałem termoutwardzalnym, który po utwardzeniu staje się trwale twardy i sztywny. Rozmiar igły podskórnej i rurki termokurczliwej można dostosować w zależności od celu badawczego i zastosowań. Cały proces produkcji jest graficznie podsumowany w Rysunek 1.
2. Osadzanie Au za pomocą rozpylania
UWAGA: W tym badaniu, proces rozpylania, który jest dostępny, jest używany do osadzania warstwy Au dla elektrod, chociaż proces parowania wiązką elektronów może być alternatywną metodą. Potwierdzono, że wzrost temperatury wywołany w procesie rozpylania rzadko powoduje dodatkowe kurczenie się HST. Jednak proces, który trwa dłużej niż kilka minut, może podgrzać HST powyżej początkowej temperatury skurczu. Może to spowodować dodatkowe skurczenie się HST, co skutkuje zwiększeniem marginesu produkcyjnego od końcówki.
3. Powłoka natryskowa
UWAGA: W procesie natryskiwania stosuje się fotorezystor o niskiej lepkości (14 cp) w celu zwiększenia wydajności natryskiwania. Fotorezystor można łatwo pokryć na igłę napylaną Au tylko wtedy, gdy igła jest podgrzana.
4. Ekspozycja na promieniowanie UV i wywoływanie
UWAGA: Ogólnie, przed ekspozycją na UV, do płaskiej przezroczystej płytki dołącza się elastyczną fotomaskę filmową, aby usunąć szczelinę powietrzną między fotomaską a próbką, która ma być wystawiona na działanie światła UV. Jednak w tym badaniu fotomaska jest używana bez płaskiej przezroczystej płytki, aby uzyskać bezpośredni metalowy wzór na zakrzywionej powierzchni igły podskórnej. Fotomaska może być odpowiednio wygięta wzdłuż krzywizny igły podskórnej, aby uzyskać najlepszą możliwą rozdzielczość wzoru za pomocą nakładki kontaktowej. Gięcie pozwala elastycznej fotomasce utrzymać jak największą powierzchnię kontaktu między fotomaską a zakrzywioną powierzchnią igły podskórnej. Biorąc pod uwagę proces trawienia na mokro (nie proces lift-off) do modelowania metalu, zastosowanie dodatniego fotorezystu jest korzystniejsze niż użycie ujemnego fotorezystu. Dzieje się tak, ponieważ cały obszar, z wyjątkiem wzoru elektrody, jest przezroczysty, zapewniając w ten sposób szerokie pole widzenia, aby łatwo wyrównać wzór elektrody ze środkiem igły.
5. Trawienie na mokro Cr/Au
UWAGA: Unikaj kontaktu skóry/oczu z mokrymi wytrawiaczami Cr i Au.
6. Usuwanie pozostałości fotorezystu i pasywacja
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Elektrody międzypalcowe (IDE), jak pokazano w Rysunek 2, dają większy efektywny obszar wykrywania na ograniczonej powierzchni w porównaniu z innymi kształtami elektrod. Całkowita długość IDE została zaprojektowana na 860 μm w celu wykrywania i analizowania zmian impedancji w odstępach mniejszych niż 1 mm w biotkankach, co zapewni wysoką dokładność lokalizacji w procedurach biopsji i dostarczania leków. Całkowita szerokość IDE wynosi 400 μm, co jest geometrycz...
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Wykazaliśmy, że fotolitografia z wykorzystaniem powlekania natryskowego i filmowej fotomaski jest wykonalną metodą wytwarzania drobnych IDE na zakrzywionej powierzchni igły podskórnej o małej średnicy mniejszej niż 1 mm. Zarówno szerokość, jak i odstęp IDE wynoszą zaledwie 20 μm, a margines produkcyjny od końcówki wynosi zaledwie 680 μm. W ramach protokołu proces wyrównywania, w tym usuwanie błędu klina, jest krytycznym krokiem. Wydajność produkcji wyniosła ponad 90%, gdy EoN był wytwarzany indywidualnie w rygorystycznym...
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Autorzy nie mają nic do ujawnienia.
Ta praca była wspierana przez projekt "Biomedical Integrated Technology Research" poprzez grant przyznany przez GIST w 2017 roku.
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
| Nazwa | Firma | Numer katalogowy | Komentarze |
|---|---|---|---|
| Rurka termokurczliwa | VENTION MEDICAL, Inc. | 103-0655 | |
| Igła podskórna (22G) | HWAJIN MEDICAL co. | ltd-http://www.hwajinmedical.com | |
| Opalarka | Weller | WHA600 | http://www.weller-tools.com/en/Home.html |
| Myjka ultradźwiękowa | HWASHIN INSTRUMENT CO, LTD. | POWERSONIC 620-http://www.hwashin.net | |
| Płyta grzejna | AS ONE Corporation | 006560 | |
| Rozpylanie | A-Tech System. Ltd. | ATS/SPT/0208F | http://www.atechsystem.co.kr |
| Prowadnica szklana | Paul Marienfeld GmbH & Co. KG | 1000412 | |
| Powlekarka natryskowa | LITHOTEK | LSC-200 | |
| Photoresist | AZ materiały elektroniczne | GXR 601 | http://www.merck-performance-materials.com/en/index.html |
| Deweloper (rozwiązanie) | AZ materiały elektroniczne | MIF 300 | http://www.merck-performance-materials.com/en/index.html |
| Aligner | MIDAS SYSTEM CO., Ltd. | MDA-400M | http://www.midas-system.com |
| Mikroskop | NIKON Corporation | L200 | http://www.nikonmetrology.com |
| Au wytrawiacz na mokro | TRANSENE COMPANY, Inc. | Au wytrawiacz typu TFA | http://transene.com |
| Cr wytrawiacz na mokro | KMG Electronic. Chemikalia, Inc. | CR-7 | http://kmgchemicals.com |
| Au target | Cienkie warstwy i drobne materiały-http://www.thifine.co.kr | ||
| cel Cr | Cienkie folie i drobne materiały-http://www.thifine.co.kr | ||
| Gaz argon (99,999%) | Gaz SINIL | Co.Ltd-http://www.sigas.kr | |
| Roztwór acetonu | OCI Company Ltd | - | http://www.ocicorp.co.kr/company/index.asp |
| Analizator impedancji | Gamry Instruments Inc | Reference 600 | https://www.gamry.com |
| Kontroler wysokości | Mitutoyo Corporation | 192-613 | |
| Sól fizjologiczna buforowana fosforanami | Life Technologies Corporation | 10010023 |
Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.
Poproś o pozwolenie na ponowne wykorzystanie tekstu lub ilustracji tego artykułu JoVE
Poproś o pozwolenie