Produkcja ultra wysokiej jakości mikrorezonatorów czynnikowych krzemionki

Ogólnym celem tej procedury jest wytworzenie rezonatorów mikrosferycznych i krzemionkowych OID o bardzo wysokiej jakości, które umożliwiają zastosowania w różnych zastosowaniach, od telekomunikacji po biodetekcję. Wytwarzanie mikrosfery rozpoczyna się od przygotowania czystego, odizolowanego końca światłowodu. Etapy produkcji mikro OID, fotolitografii i trawienia są wykonywane w czystym pomieszczeniu w celu podcięcia krzemu pod okrągłymi podkładkami silikonowymi i utworzenia krzemowych mikrodysków osadzonych na filarach.

Kolejnym krokiem obu procesów produkcyjnych jest wystawienie światłowodu i/lub mikrodysku krzemionkowego na działanie odpowiednio ustawionej wiązki lasera CO2. Wiązka lasera CO2 topi krzemionkę, tworząc mikrosfery lub gładkie krzemionkowe OID. Ostatnim krokiem jest sprawdzenie urządzeń pod mikroskopem, aby zapewnić prawidłowe rozpływ.