Tworzenie grubych, gęstych warstw granatu itrowo-żelazowego za pomocą osadzania aerozolowego

Ogólnym celem eksperymentu jest osadzenie gętej, polikrystalicznej warstwy granatu żelaza o grubości kilku mikronów na podłożu szafirowym przy użyciu techniki osadzania w temperaturze pokojowej. Osiąga się to poprzez zamocowanie przygotowanego podłoża na stole translacyjnym przymocowanym do górnej pokrywy aparatu, a następnie nałożenie górnej pokrywy na komorę osadzania i podłączenie kabli silnika w drugim kroku procesu załadunku proszku. Aby uzyskać pożądany rozmiar aglomeratów w komorze aerozolowej, należy założyć górną pokrywę komory aerozolowej i połączyć ją za pomocą dyszy z komorą osadzania. Następnie należy wytworzyć gradient ciśnienia między komorami i rozpocząć przepływ gazu do komory aerozolowej.

Połącz to z działaniem płyty wibracyjnej, aby stworzyć aerozol, który przechodzi przez dyszę do komory osadzania. Osadzanie glomeratu zachodzi poprzez pękanie, deformację i stapianie się krystalitów, co prowadzi do powstania grubej, gęstej warstwy na podłożu. Główną zaletą tej techniki w porównaniu z istniejącymi metodami jest możliwość wytwarzania bardzo grubych, gęstych warstw bez konieczności podgrzewania podłoża lub materiału prekursora z punktu widzenia produkcji.

Osadzanie aerozolowe ma również tę zaletę, że może być przeprowadzane w warunkach stosunkowo niskiej próżni i pozwala na bardzo wysoką szybkość osadzania. Centralnym elementem tego doświadczenia jest układ do osadzania aerozolowego. Ten schematyczny widok urządzenia przedstawia jego główne komponenty.

Umieść proszek przeznaczony do aerozolizacji w komorze aerozolu i wtryśnij do niej gaz nośny z kontrolowanym przepływem, utrzymując różnicę ciśnień między komorą aerozolu a komorą osadzania. Stwórz przepływ aerozolu przez dyszę, aby kontrolować osadzanie na próbce w komorze osadzania. W tym filmie, przy użyciu stołu translacyjnego, pierwszym krokiem będzie zamontowanie przygotowanego podłoża na stole translacyjnym.

Stopień translacji jest częścią zespołu górnej nasadki. Najpierw naklej dwustronną taśmę miedzianą w pobliżu środka stopnia. Następnie weź oczyszczony i wysuszony podkład i umieść go na taśmie w pobliżu środka stopnia.

Ten szafirowy podłoże o wymiarach 6 mm na 6 mm jest na swoim miejscu. W kolejnych krokach protokołu należy użyć suwmiarki do zebrania danych niezbędnych do wyrównania dyszy natryskowej.

Należy to zrobić, mierząc i zapisując odległość od jednej krawędzi stolika montażowego do najbliższej i najdalszej krawędzi wzdłuż jednego kierunku. Przeprowadź podobny pomiar w kierunku prostopadłym. Po dokonaniu pomiarów przenieś górną pokrywę wraz ze stolikiem translacyjnym i próbką do komory osadzania.

Obniż górną pokrywę na miejsce, a następnie umieść zespół translacyjny wraz z próbką w komorze. Po wykonaniu tej czynności zamocuj górną pokrywę, zaciskając kołnierz w celu zapewnienia szczelności. Następnie podłącz kable sterujące silnikami translacyjnymi.

Przejdźmy teraz do przygotowania komory aerozolowej, widocznej tutaj z odłączoną górną sekcją. Odważ od 100 do 150 g przesianego i osuszonego proszku z granatu żelazowo-itrowego. Rozprowadź proszek w dolnej sekcji komory aerozolowej. Dalej.

W tej konfiguracji zamontuj przystawkę do udrażniania filtra. Pobierz główny korpus komory aerozolowej i nałóż go na sekcję dolną. Następnie przytwierdź główny korpus do sekcji dolnej za pomocą zacisków.

Następnie podłącz manometr ciśnienia aerozolu do portu bocznego. Teraz weź sekcję wlotową dyszy i za pomocą szybkozłącza zamocuj ją do górnego portu głównego korpusu komory aerozolowej. Po wykonaniu tej czynności podnieś rurkę wlotową dyszy do portu wlotowego w komorze depozycyjnej.

Zakończ pracę, zabezpieczając górną i dolną złączkę. Rozpocznij wytwarzanie gradientu ciśnienia poprzez odizolowanie pompy wstępnej od pozostałej części układu, a następnie ją uruchom.

Otwórz linię obejściową, aby przeprowadzić wstępne odpompowanie, co zapewni lepszą kontrolę tego procesu. Włącz oświetlenie komory osadzania za pomocą komputera. Skonfiguruj oprogramowanie do monitorowania ciśnienia oraz sterownika stolika, nie uruchamiając ich, podczas gdy proces pompowania jest kontynuowany.

Monitoruj ciśnienie w układzie. Gdy ciśnienie osiągnie wartość od 150 do 200 tor, dostosuj szybkość odpompowywania w linii obejściowej do 1 tor na sekundę. Po spadku ciśnienia poniżej 100 tor uruchom oprogramowanie do monitorowania ciśnienia i sterowania stopniem.

Gdy ciśnienie wyniesie około 1 tor, zamknij zawory prowadzące do linii obejściowej. Następnie otwórz główny zawór pompowy. W trakcie dalszego pompowania przejdź do komory osadzania i dokręć zacisk górnej pokrywy.

Kolejnym krokiem jest włączenie pompy dmuchawy i otwarcie butli z azotem o ultra wysokiej czystości w celu dostarczenia gazu nośnego do komputera. Użyj interfejsu graficznego oprogramowania sterownika stolika, aby ustawić podłoże zgodnie z widokiem przez okno obserwacyjne. W pierwszej kolejności umieść podłoże nad dyszą.

Po umieszczeniu, opuść podłoże, aż zetknie się ono z dyszą. Następnie przesuń podłoże o 7,5 milimetrów w kierunku pionowym do jego docelowej pozycji. Zamknij główną linię pompową i upewnij się, że szybkość wycieku jest mniejsza niż około trzy militorr na sekundę.

Przed kontynuacją należy ustawić zawór motylkowy komory osadzania na wartość wstępną 500 TOR. Ustawić natężenie przepływu w kontrolerze przepływu masowego, ale nie włączać go. Zaprogramować generator funkcji w celu ustawienia częstotliwości drgań mieszadła, a następnie go włączyć.

Uruchom przepływ azotu. Następnie odlicz trzy sekundy przed uruchomieniem makra kontrolera stolika na komputerze. Dostosuj szybkość przepływu gazu, aby utrzymać pożądaną stałą różnicę ciśnień.

W tym przypadku około 500 tor. Należy korzystać z okna obserwacyjnego, aby wizualnie monitorować proces osadzania. Po zakończeniu osadzania należy odnotować dokładny czas trwania procesu.

Wyłączyć dopływ azotu, generator funkcji oraz pompy. Otworzyć komorę osadzania. W zaworze motylowym całkowicie otworzyć zawór obejściowy do komory osadzania.

Ustawy regulator azotu w instalacji budynkowej na zero i przekieruj gaz do komory osadzania. Zamknij główny zawór pompy, powoli zwiększając ciśnienie gazu w instalacji. Wróć do komputera i za pomocą oprogramowania sterownika stolika wykonaj procedurę homecoming dyszy, a następnie zamknij program.

Gdy ciśnienie przekroczy 100 tor, należy zatrzymać oprogramowanie do monitorowania ciśnienia. Kontynuuj regulację dopływu gazu w zależności od potrzeb, aż system osiągnie ciśnienie atmosferyczne. Aby odzyskać próbkę, odłącz kable silników translacyjnych z górnej części komory osadzania.

Zdejmij górną pokrywę z komory osadzania i przenieś ją na stół warsztatowy. Na stole ustaw pokrywę tak, aby uzyskać dostęp do próbki. Zdemontuj próbkę, aby przygotować ją do charakterystyki.

Jest to mikrografia z pomiarów skaningowego mikroskopu elektronowego przedstawiająca warstwę granatu żelazowego w atrium na podłożu szafirowym. Przesuwnica podczas nanoszenia poruszała się z prędkością 0,65 millimeters per second i pokryła obszar o powierzchni 75 square millimeters. Warstwa jest nieco chropowata i dobrze zagęszczona z niewielką liczbą pustek.

Gęsta struktura filmu jest widoczna również na tym skaningowym obrazie elektronowym przekroju poprzecznego filmu. Na podłożu szafirowym główny obraz przedstawia krawędź próbki w stanie po osadzeniu, ukształtowaną podczas procesu osadzania. Nie jest to przekrój uzyskany przez łupanie filmu.

Wstawka przedstawia powiększony widok przekroju poprzecznego. Stopień utworzono poprzez usunięcie części filmu wzdłuż jednej krawędzi. Dane zaznaczone na czarno określają wysokość stopnia filmu.

Czerwona linia wskazuje średnią grubość filmu wynoszącą około 11 micrometers. Chropowatość wynosi około 1,4 micrometers. Na tym wykresie dane pochodne absorpcji rezonansu magnetycznego Pharaoh przedstawiono kolorem czarnym, a dopasowanie kształtu linii pochodnej Lian do danych kolorem czerwonym.

Zarówno położenie, jak i kształt sygnału dla uzyskanych danych są porównywalne z typowymi widmami dla polikrystalicznego granatu żelazowo-itrowego otrzymanego innymi metodami. Dobry dopasowanie liniowe sugeruje jednorodność warstwy.

Po obejrzeniu tego filmu powinni Państwo dobrze rozumieć zasadę działania procesu osadzania z aerozolu oraz sposób przeprowadzania osadzania z aerozolu przy użyciu tego systemu.