Produkcja niskotemperaturowych pionowych połączeń z nanorurek węglowych kompatybilnych z technologią półprzewodnikową

Ogólnym celem tego procesu jest wyhodowanie pionowo ustawionych nanorurek węglowych i wytworzenie elektrycznych struktur testowych przy użyciu standardowych technik półprzewodnikowych. Ta metoda może odpowiedzieć na kluczowe pytania w dziedzinie mikropromieniowania, takie jak to, czy pionowo ustawione nanorurki węglowe mogą być używane do połączeń i innych zastosowań w układach scalonych? Główną zaletą tej technologii jest to, że jest kompatybilna ze standardową produkcją półprzewodników i ma wystarczająco niską temperaturę produkcji, która umożliwia integrację z zapleczem CMO i z niektórymi polimerami.

Aby rozpocząć tę procedurę, należy zdeponować dolną warstwę metalu testu za pomocą rozpylania magnetronowego. Wykonaj napylanie tytanu przy użyciu tarczy z czystego tytanu z plazmą argonnową w temperaturze podłoża 350 stopni Celsjusza dla azotku tytanu. Rozpylanie reaktywne.