U2O5 Przygotowanie filmu za pomocą UO2 Osadzanie przez rozpylanie prądem stałym oraz sukcesywne utlenianie i redukcję tlenem atomowym i wodorem atomowym
Ten protokół przedstawia przygotowanie cienkich warstw U2O5 uzyskanych in situ w ultra wysokiej próżni. Proces ten polega na utlenianiu i redukcji warstw UO2 odpowiednio tlenem atomowym i wodorem atomowym.