1 kwietnia 2020
Tutaj opisujemy działanie zintegrowanego obwodu fotonicznego SiN zawierającego optyczne układy fazowane. Obwody służą do emitowania wiązek laserowych o niskiej rozbieżności w bliskiej podczerwieni i kierowania nimi w dwóch wymiarach.
Aby opracować fotoniczne układy scalone zbudowane na krzemie, potrzebujemy metody charakteryzacji, która jest szybka, zautomatyzowana i w skali płytki. Nasz protokół pozwala nam ocenić nasze obwody sterowania wiązką na płytce za pomocą lekko zmodyfikowanej stacji pomiarowej, która jest standardowym elementem wyposażenia w przemyśle mikroelektronicznym. Procedurę demonstruje Sylvain Guerber, badacz z naszym laboratorium.
Aby rozpocząć, załaduj wafel do stacji sondy. Aby wyrównać włókna, użyj mikroskopu świetlnego, aby ostrożnie opuścić światłowód, aż dotknie powierzchni płytki, z dala od wejściowego łącznika siatki, przed przesunięciem włókna o około 20 mikrometrów w górę. Aby zmaksymalizować natężenie światła na siatkach wyjściowych, rozpocznij przesuwanie pozycji światłowodu nad łącznikiem siatki wejściowej optycznej z szykiem fazowanym.
Światło wychodzące z optycznych siatek wyjściowych Phased Array powinno być widoczne na obrazie. Gdy obserwuje się światło z optycznych anten fazowanych, wyreguluj polaryzację, aby zmaksymalizować natężenie światła na siatkach wyjściowych, uważając, aby uniknąć ruchu lub wibracji światłowodu wejściowego. W przypadku obrazowania wyjściowego OPA przełącz się na czujnik obrazowania dalekiego pola i ostrożnie wyreguluj zarówno czas naświetlania czujnika, jak i moc lasera w taki sposób, aby wyjście OPA było wyraźnie widoczne w aparacie, ale wiązka nie nasycała czujnika.
W razie potrzeby zakryj konfigurację, tak aby światło tła nie zakłócało obrazu z optycznej wiązki fazowanej. Aby zablokować odbicia, umieść silnie odbijający arkusz między odbiciem a aparatem. OPA jest z definicji niezwykle wrażliwy na zmiany faz.
Dlatego wszystkie źródła hałasu muszą zostać stłumione, w tym wibracje włókien wejściowych, niestabilność polaryzacji i światło pasożytnicze. Aby wykonać sterowanie wiązką w dwóch kierunkach, najpierw podłącz obwód elektryczny regulatora fazy do wielokanałowej sondy elektrycznej i użyj mikroskopu do połączenia styków sondy elektrycznej z metalowymi podkładkami stykowymi obwodu optycznego. Następnie przełącz się na czujnik dalekiego pola, aby zobrazować wyjście.
Aby wybrać równoległy kąt emisji theta za pomocą sieci przełączającej, obserwuj obraz dalekiego pola wyjściowego podczas zmiany napięć przyłożonych do przesuwników fazowych na rezonatorach pierścieniowych. Przy odpowiednim napięciu przyłożonym do każdego rezonatora, zostanie podświetlony inny obszar na czujniku, odpowiadający określonej wartości theta. Aby wybrać ortogonalny kąt emisji phi poprzez optymalizację faz optycznych, wybierz mały obszar piksela odpowiadający żądanemu kątowi phi, który powinien być oświetlony skupioną wiązką wyjściową i przesuń fazę jednego z kanałów optycznej matrycy fazowej w małych krokach.
Po każdej zmianie zapisz całkę jasności w obszarze pikseli wewnątrz i na zewnątrz wybranego obszaru i oblicz stosunek światła wewnętrznego do światła zewnętrznego. Po pełnym cyklu przesunięcia fazowego między zerem a dwoma pi, zastosuj przesunięcie fazowe z najwyższym zarejestrowanym współczynnikiem jasności. Następnie przełącz się na następny kanał i powtarzaj poprzednie kroki, aż proces optymalizacji zostanie nasycony i widoczna będzie skupiona wiązka wyjściowa.
Aby skierować wiązkę wyjściową pod innym kątem phi, wybierz nowy obszar pikseli i powtórz proces optymalizacji. Po przeprowadzeniu optymalizacji dla kilku wyjściowych kątów phi można sterować wiązką. Aby zobrazować rozbieżność wiązki, zoptymalizuj położenie światłowodu wejściowego i zapisz obraz wyjścia OPA w dalekim polu.
Upewnij się, że widoczne są co najmniej dwa wyraźne maksima zakłóceń i użyj systemu wyrównywania, aby przesunąć płytkę, aby wyrównać następne urządzenie do włókna wejściowego. Za pomocą precyzyjnych pozycjonerów światło ze światłowodu może być efektywnie sprzężone ze zintegrowanym obwodem optycznym w celu uzyskania wiązki wyjściowej o dużej intensywności. Zastosowanie sondy wielokanałowej pozwala na jednoczesne wykonanie wszystkich połączeń elektrycznych.
Za pomocą algorytmu optymalizacyjnego można uzyskać ładnie ukształtowaną wiązkę na dostępie phi. Zastosowanie przełącznika pierścieniowego pozwala na odpowiedni dobór kąta emisji oraz kierunku theta. Po skalibrowaniu OPA wiązka może być dowolnie sterowana w obu wymiarach, a zakres sterowania i rozbieżność wiązki, główne wartości w OPA, mogą być dokładnie scharakteryzowane.
Istotne jest, w miarę możliwości, aby wyeliminować wszelkie niestabilności elektroniczne, mechaniczne lub optyczne podczas procedury kalibracji. Po zidentyfikowaniu i skalibrowaniu zadowalających obwodów, możemy je zintegrować z innymi częściami systemu LIDAR, aby wykonać podstawowe obrazowanie specjalne.
Niniejszy artykuł opisuje działanie zintegrowanego obwodu fotonicznego wykonanego z azotku krzemu (SiN), wyposażonego w optyczne macierze z przesunięciem fazowym. Obwody te są zaprojektowane do emisji wiązek laserowych o niskiej rozbieżności w bliskiej podczerwieni i umożliwiają dwuwymiarowe sterowanie wiązką.
Niniejsza praca przedstawia metodę charakterystyki w skali wafla dla zintegrowanych optycznych macierzy z fazowaniem wykonanych z azotku krzemu, umożliwiającą szybką, zautomatyzowaną ocenę fotonicznych układów sterowania wiązką. Podejście to pozwala na wysokoprzepustowe przesiewanie różnic w wykonaniu pomiędzy poszczególnymi kryształami, co ułatwia identyfikację urządzeń o wysokiej wydajności do dalszej integracji. Dzięki wykorzystaniu standardowych stacji sond mikroelektronicznych, protokół oferuje skalowalną, zgodną z przemysłem ścieżkę oceny parametrów optycznych macierzy z fazowaniem, kluczowych dla systemów LIDAR oraz systemów optycznej komunikacji w wolnej przestrzeni.
Metoda ta wpisuje się w kontinuum odkryć fotonicznych, umożliwiając szybką ewaluację po procesie wytwarzania oraz wspierając decyzje dotyczące rozwoju urządzeń, od etapu integracji po testy na poziomie systemowym.