24 marca 2023
Przedstawiono prostą i opłacalną metodę wytwarzania opartą na technice odparowywania rozpuszczalnika, która optymalizuje wydajność miękkiego pojemnościowego czujnika ciśnienia, co jest możliwe dzięki kontroli porowatości w warstwie dielektrycznej przy użyciu różnych stosunków masowych roztworu PDMS / toluenu.