Métodos experimentais avançados para baixa temperatura Magnetotransporte Medição de novos materiais

Resumo

Descrevemos a metodologia de esfoliação mecânica e deposição de flocos de novos materiais com dimensões de tamanho mícron no substrato, fabricação de estruturas de dispositivos experimentais para experimentação de transporte e a medição de magnetotransporte em um criostato de ciclo fechado de hélio seco em temperaturas de até 0,300 K e campos magnéticos de até 12 T.

Resumo

Novos materiais eletrônicos são frequentemente produzidos pela primeira vez por processos de síntese que produzem cristais a granel (em contraste com a síntese de filme fino de cristal único) para fins de pesquisa exploratória de materiais. Certos materiais representam um desafio em que o método tradicional de fabricação de dispositivos de barra Hall a granel é insuficiente para produzir um dispositivo mensurável para medição de transporte de amostra, principalmente porque o tamanho de cristal único é muito pequeno para conectar fios condutores à amostra em uma configuração de barra Hall. Isso pode ser, por exemplo, porque o primeiro lote de um novo material sintetizado produz cristais únicos muito pequenos ou porque flocos de amostras de uma a muito poucas monocamadas são desejados. A fim de permitir a rápida caracterização de materiais que podem ser realizados em paralelo com melhorias em sua metodologia de crescimento, um método de fabricação de dispositivos para amostras muito pequenas foi desenvolvido para permitir a caracterização de novos materiais assim que um lote preliminar for produzido. Uma ligeira variação desta metodologia é aplicável à produção de dispositivos usando amostras esfoliadas de materiais bidimensionais, como grafeno, nitreto de boro hexagonal (hBN) e dicalcogenetos de metais de transição (TMDs), bem como heteroestruturas multicamadas de tais materiais. Aqui apresentamos protocolos detalhados para a fabricação de dispositivos experimentais de fragmentos e flocos de novos materiais com dimensões de tamanho mícron em substrato e medição subsequente em um ímã supercondutor comercial, sistema de magnetotransporte de criostato de ciclo fechado de hélio seco em temperaturas de até 0,300 K e campos magnéticos de até 12 T.

Introdução

A busca de plataformas de materiais para tecnologia eletrônica avançada exige métodos para a síntese de materiais de alto rendimento e posterior caracterização. Novos materiais de interesse nesta busca pode ser produzida em grandes quantidades por síntese directa de reacção ^{1,2, 3,4} electroquímica de crescimento, e outros métodos de ⁵ de um modo mais rápido do que o único cristal finas técnicas de deposição de filmes mais envolvidos tais como epitaxia de feixe molecular ou deposição de vapor químico. O método convencional para medir as propriedades de transporte de amostras de cristal a granel é para clivar um fragmento em forma de prisma rectangular, com dimensões de aproximadamente 1 mm x 1 mm x 6 mm e anexar fio conduz à amostra numa configuração de barra ^pavilhão 6.

Certos materiais de representar um desafio, em que a barra de salão método de fabricação a granel dispositivo tradicional é insuficiente para produzir um dispositivo para a medição mensurável transporte de amostras. Isto pode ser serfazer com que os cristais produzidos são demasiado pequenos para prender cabos para, mesmo sob um poderoso microscópio óptico, porque a espessura da amostra desejada é da ordem de uma a algumas poucas monocamadas, ou porque um visa medir uma pilha de camadas bidimensionais materiais com espessura near- ou sub-nanométrica. A primeira categoria consiste em, por exemplo, nanofios e algumas preparações de óxido de molibdênio bronzes ^7. A segunda categoria consiste de simples a muito poucos-camadas de materiais bidimensionais, como o grafeno ^8, DTMs _(MoS 2, WTE _{2, etc.),} e isoladores topológicos _(Bi 2 _SE 3, Bi _x Sb _1-x Te ₃ , etc). A terceira categoria consiste em heteroestruturas preparados pelo empilhamento de camadas individuais de materiais bidimensionais pela montagem manual por meio de transferência de camada, mais notavelmente uma pilha de camada tripla de hBN-grafeno-hBN ^9.

A pesquisa exploratória de romance emateriais lectronic exige métodos adequados para a produção de dispositivos em amostras de difícil medida. Muitas vezes, o primeiro lote de um novo material sintetizado por reacção directa ou crescimento electroquímica rendimentos muito pequenos cristais individuais com dimensões na ordem de tamanho de micron. Essas amostras foram historicamente provado extremamente difícil para anexar contatos metálicos para, necessitando melhoria dos parâmetros de crescimento amostra para conseguir cristais maiores para facilitar a fabricação de dispositivos de transporte, apresentando um obstáculo na investigação de alto rendimento de novos materiais. A fim de permitir a rápida caracterização de materiais, um método de fabricação do dispositivo para amostras muito pequenas, foi concebida para permitir a caracterização de novos materiais, logo que um lote preliminar foi produzido. Uma ligeira variação desta metodologia é aplicável à produção de dispositivos que utilizam amostras esfoliados de materiais bidimensionais, como o grafeno, hBN, e DTM, bem como heteroestruturas multicamadas de tal materiais. Os dispositivos são respeitados e fio-ligado a um pacote para inserção em um magneto supercondutor comercial, close-ciclo do sistema cryostat magnetotransporte hélio seco. Medidas de transporte são tomadas em temperaturas abaixo de 0,300 K e campos magnéticos de até 12 T.

Protocolo

1. Preparação de Substrato

1. Obter 4 polegadas de silício (Si) de bolacha composta fortemente dopado com p-Si dopado cobertas por, aproximadamente, 300 nm de _SiO2. Esta estrutura de substrato vai permitir que o substrato para servir como uma porta traseira.
2. Usando o software de elaboração / design, projete um cm × 1 cm padrão 1 com características uniformemente espaçados, como cruzes enumerados, na direção X e Y para usar como localizadores de posição sobre o substrato para flocos de amostra transferidos e marcas de alinhamento para litografia por feixe de elétrons ( A Figura 1).
   1. Abra um novo arquivo em um programa de desenho, como o AutoCAD.
   2. Use polilinhas tirar as seguintes marcas: i) cruzes formadas de interseção 2,25 mm × 12,00 mm retângulos marcadas com 8,25 mm × 14,25 ^ m caracteres numéricos espaçadas 150 um apart; ii) identificadores posicionais globais formados de canto conectado 30 mm quadrados marcados com 16,50 × 28,50 mm chara numéricocters; iii) pequenas × 15 um 15 um cruzes equidistante de todas as quatro dadas identificadores posicionais espaçadas 150 um aparte.
   3. Certifique-se que todos os identificadores de posição caber dentro de 1 cm × 1 cm limites.
   4. Salve o arquivo como um arquivo .gds ou salvar como um outro arquivo (como .dxf) e convertê-lo para um arquivo .gds.
3. Desenvolver ou fim de uma fonte comercial de uma fotomáscara com os acima de 1 cm x 1 cm padrão dispostas em um espaço de 4 polegadas x 4 polegadas para permitir a cobertura total de cópias do teste padrão em um de 4 polegadas Si wafer.
4. Padrão lithographically máscara photoresist em lâmina de silício.
   1. Anexar um mandril wafer de 4 polegadas para um spinner photoresist. Certifique-se de que está devidamente presa.
   2. Com uma pinça limpa, coloque uma bolacha de Si sobre o mandril giratório. Assegure-se que a bolacha é centrada sobre o mandril.
   3. Usando uma pipeta de plástico, cobrir todo o wafer na base polydimethylglutarimide-lift-off resistir (LOR).
   4. Girar a bolacha revestidos por LORa 4.000 rpm durante 45 seg.
   5. Cozer a bolacha revestidos por LOR a 170 ° C durante 5 min.
   6. Deixe o wafer revestido-LOR legal para 1-2 min.
   7. Com uma pinça limpa, coloque o revestimento-LOR Si wafer sobre o mandril giratório. Assegure-se que a bolacha é centrada sobre o mandril.
   8. Usando uma pipeta de plástico, cobrir todo o wafer em fotorresiste positivo Novolac convencional projetado para um 60 seg leve ao forno a 115 ° C para produzir um casaco de 12,3 kA.
   9. Girar a bolacha a 5000 rpm durante 60 segundos.
   10. Cozer a bolacha a 90-110 ° C durante 60 seg.
   11. Deixe o legal wafer para 1-2 min.
   12. Prepare-se para contato litografia, colocando o photomask em um alinhador de máscara com o cromo modelado da máscara virado para baixo (na direcção do wafer) e carregar o wafer de camada dupla-revestidos por photoresist sob a máscara de modo que o photoresist pegar até (em direção a máscara ).
   13. Alinhar a bolacha para a máscara de modo que a totalidade da pastilha será modelado com os dispostas 1 cm15; 1 cm padrões.
   14. Expor em UV de banda larga (350 nm a 450 nm) da luz utilizando a linha I-(365 nm, filtro de passa-banda), a 100 mJ / cm ^2, ou 20 mW / ^cm2 durante 4,8 seg.
   15. Após a exposição, desenvolver o revestimento foto-resistente a bolacha por imersão em uma solução convencional Novolac positivo fotorresistente compatível desenvolvedor à temperatura ambiente durante 40-60 seg com agitação suave e consistente.
   16. Após a imersão no banho de revelador solução, enxaguar a bolacha em água desionizada.
   17. Usando uma pistola de nitrogênio, seque o wafer revestidos com máscara photoresist desenvolvido.
5. Depósito Cr / Au metal sobre a wafer foto-resistente revestida-máscara utilizando um evaporador de feixe de electrões.
   1. Desabafar elétron câmara de evaporação de feixe.
   2. Lugar wafer face para baixo na placa porta-amostras.
   3. Porta aberta câmara de evaporação por feixe de elétrons.
   4. Coloque placa porta-amostras para titular substrato com bolacha voltado para baixo.
   5. Verifique se Cr e Au estão entreas fontes de deposição.
   6. Feche a porta da câmara de evaporação por feixe de elétrons e bombear a câmara a pelo menos 4 × 10 ^-5 Pa (3 × 10 ^-7 Torr).
   7. Depósito de 50 Å de Cr a 0,5 Å / s.
   8. Depósito de 750 Å de Au em 1 A / sec.
   9. Na sequência de deposição, permitir câmara arrefecer durante cerca de 20 min.
   10. Desabafar elétron câmara de evaporação de feixe.
   11. Remova a placa-suporte de amostra e remover a bolacha a partir da placa.
   12. Feche a porta da câmara de evaporação por feixe de elétrons e bombear a câmara.
6. Executar uma decolagem metal.
   1. Preparar um banho de acetona ou N-metil-2-pirrolidona à base de solvente suficiente para imergir a bolacha de 4 polegadas. Aqueça o banho de solvente a 75 ° C sobre uma placa quente e manter a esta temperatura.
   2. Mergulha-se o wafer de 4 polegadas no banho de solvente. Cobrir o banho, de modo que o solvente se evapore excessivamente.
   3. Deixe o wafer sentar-se no banho de solvente a 75° C durante 6-24 h. Tenha cuidado para não deixar que todo o solvente evaporar.
   4. Segurar amostra logo abaixo da superfície do solvente usando um par de pinças e delicadamente acetona pulverizar a partir de um frasco de pulverização em toda a superfície da bolacha para remover o metal levantou-off.
   5. Lavar a bolacha em um banho de isopropanol, durante 1-2 min.
   6. Lavar a bolacha em um banho de água desionizada durante 1-2 min.
   7. Usando uma pistola de nitrogênio, seque o wafer.
7. Cortar a bolacha em pedaços individuais da amostra usando um estilete ou uma serra de diamante em cubos. Se uma serra de cortar é utilizado, proteger a superfície da bolacha com uma máscara de PMMA.
   1. Anexar um mandril wafer de 4 polegadas para um spinner photoresist. Certifique-se de que está devidamente presa.
   2. Com uma pinça limpa, coloque a pastilha no mandril giratório. Assegure-se que a bolacha é centrada sobre o mandril.
   3. Usando uma pipeta de plástico, cobrir todo o wafer de polimetilmetacrilato (PMMA).
   4. Girar a pastilha revestida de PMMA a 5000 rpm durante120 seg.
   5. Cozer a bolacha de PMMA-revestidos a 180 ° C durante 120 segundos.
   6. Deixe o wafer PMMA com revestimento legal para 1-2 min.
   7. Cortar a amostra em pedaços individuais da amostra aproximadamente 1 cm x 1 cm de tamanho.
8. Remover resíduos orgânicos a partir da superfície da bolacha.
   1. Preparar um banho de hidrogénio e um ácido à base de peróxido de separador / aspirador orgânico sulfúrico, um banho de acetona, num banho de isopropanol, e dois banhos de água desionizada.
   2. Deixe os pedaços de substrato mergulhar no banho de acetona durante 15 minutos com agitação por ultra-sons de alta freqüência.
   3. Mover as peças de substrato para o banho de isopropanol e deixe de molho por 15 min com agitação por ultra-sons de alta freqüência.
   4. Mover as peças de substrato para um banho de água deionizada e deixe de molho por 15 min com agitação por ultra-sons de alta freqüência.
   5. Mover as peças de substrato para o outro banho de água deionizada e deixe de molho por 15 min com agitação por ultra-sons de alta freqüência.
   6. Mover as peças de substrato para o ácido e hidrogênio à base de peróxido de separador / aspirador de banho orgânico sulfúrico e deixe de molho por 60 minutos sem agitação.
   7. Enquanto os pedaços de substrato são no banho de líquido de limpeza orgânico, eliminar adequadamente o conteúdo dos outros banhos e limpar o equipamento de vidro. Prepare dois novos banhos de água deionizada.
   8. Na sequência de decomposição de matérias orgânicas, coloque os pedaços de substrato num banho de água deionizada e deixe de molho por 5 min com agitação por ultra-sons de alta freqüência.
   9. Mover as peças de substrato para o outro banho de água deionizada e deixe de molho por 5 min com agitação por ultra-sons de alta freqüência.
   10. Usando uma pistola de nitrogênio, seque as peças de substrato.

2. Transferência de Flocos de exemplo ao substrato

1. Sintetizar ou obter amostra global de alta qualidade a partir de um colaborador ou fonte comercial.
2. Esfoliar flocos de amostra.
   1. Corte vários pedaços de bolacha padrão em cubos tape um pouco maiores-que 1 cm x 3 cm, deixando o papel de libertação que cobre o adesivo.
   2. Usando uma navalha afiada, retire cuidadosamente a parte do papel de liberação de modo que pouco mais de 1 cm x 1 cm de adesivo é exposto em cada pedaço de fita.
   3. Pressione com firmeza a parte adesiva de um pedaço de fita preparada contra a amostra global. Se amostra global é composta de pedaços muito pequenos de pó-like, despeje uma pequena quantidade de amostra numa lâmina de vidro e pressione a fita na amostra acumulou no slide.
   4. Descasque a fita da amostra global para garantir uma boa cobertura de amostra sobre o adesivo.
   5. Pressionar o lado adesivo da fita com flocos de amostra muito firmemente contra o lado adesivo de outro pedaço de fita adesiva.
   6. Descasque os dois pedaços de fita adesiva à parte e inspecionar visualmente a cobertura da amostra de ambos os pedaços de fita.
   7. Repita o processo de 2.2.5 e 2.2.6 até flocos de amostra aparecem quase transparente.
   8. Pressione com firmeza o lado adesivo da fita sagacidadeh flocos de amostra contra uma peça de substrato preparado a partir do passo 1. Retire a fita de distância para deixar flocos de amostras aderidas ao substrato.
3. Visualmente procurar flocos de amostra adequados através de microscópio óptico (Figura 2) e anote sua localização no substrato utilizando as marcas posicionais estampados nas etapas 1,2-1,4.
4. Medir a espessura do floco de amostra usando microscopia de força atômica (AFM). Flocos de exemplo deve ser inferior a 100 nm de espessura ^10.
5. Depósito de dióxido de silício aplicado por pulverização catódica (opcional).
   Nota: Este passo só é necessário se o van der Waals vigor aderindo a amostra para o substrato é insuficiente para a aderência adequada. Fazer isso não permite a fabricação da amostra em um bar Salão pelo procedimento descrito neste documento (passo 3.3).
   1. Desabafar pulverização de bloqueio de carga do sistema.
   2. Abrir carga porta de bloqueio.
   3. Coloque pedaços de amostra acomodam transferido flocos de amostra no suporte da amostra e local da amostrasuporte no braço de transferência.
   4. Feche a porta de bloqueio de carga e bombear para baixo a trava de carga.
   5. Inicia-se a sequência de suporte para transferir a amostra para a câmara de descarga eléctrica.
   6. Espere por vácuo de base de 2,7 × 10 ^-5 Pa (2 × 10 ^-7).
   7. Usando uma fonte de alimentação DC, por pulverização catódica 100-200 nm de _SiO2 para as peças de amostra com capacidade flocos de amostra transferidos.
   8. Após deposição, iniciar a sequência para retornar o suporte de amostras para o bloqueio de carga.
   9. Ventile o bloqueio de carga e retire o suporte da amostra.
   10. Retire os pedaços de suporte da amostra.
   11. Pump down a trava de carga do sistema de pulverização.
6. Prepare uma pilha de flocos de materiais em camadas
   Nota: Esta etapa só é necessária se o pesquisador deseja produzir um heterostructure composto de vários flocos esfoliada e identificados nas etapas 2,1-2,4.
   1. Criar um selo mecânico transparente, colocando uma pequena gota de Polydimethylsiloxane (PDMS) sobre uma lâmina de vidro e cura em vácuo.
   2. Gire carbonato de polipropileno (PPC) em cima dos PDMS para servir como o contato direto entre o selo e os materiais em camadas.
   3. Posicionar o selo mecânica sobre o primeiro floco de material em camadas para ser usado na pilha heterostrutura.
   4. Pressione o selo para baixo sobre o floco amostra.
   5. Aquecer o sistema para cerca de 40 ° C para aumentar a atracção entre o PPC e o floco de amostra.
   6. Lentamente, levante o carimbo com o floco de exemplo anexado ao PPC.
   7. Posicionar o selo mecânico com o floco de exemplo anexado ao longo do próximo flocos de material em camadas para ser usado na pilha heterostrutura.
   8. Certificar-se de manter as duas amostras flocos alinhados, lentamente baixar o selo, de modo que o floco ligado ao PPC entra em contacto com o lado de flocos de material em camadas para ser usado na pilha heterostrutura.
   9. Pressione levemente o selo para baixo no sample flocos.
   10. Aquecer o sistema para cerca de 40 ° C para aumentar a atracção entre os flocos de amostra.
   11. Lentamente, levante o carimbo com os flocos de exemplo anexado em uma pilha.
   12. Repetir passos 2.6.7-2.6.11 até que a estrutura desejada é completada.
   13. Transferir a pilha heterostrutura para um novo substrato pressionando suavemente o selo contendo a pilha de materiais em camadas para a peça do substrato.
   14. Aquecer o sistema para 100 ° C.
   15. Lentamente, levante o selo, deixando a pilha de flocos de materiais em camadas anexado à peça substrato.

3. Electron Beam Litografia de estrutura do dispositivo

1. Usando um microscópio óptico, tirar fotos bem focadas em ampliações de 20X e 100X da amostra pilhas flocos / floco que serão utilizados para padronização dispositivo. Incluir pelo menos uma marca de posição padronizada em passos 1,2-1,4 na imagem para fins de alinhamento durante elétron feixe padrão design.
2. Usando software de elaboração / design, preparar projeto para litografia por feixe de elétrons.
   1. Abrir arquivo de design produzido no passo 1.2.
   2. Imagem Import 20X a partir do passo 3.1 e ajustar o tamanho da imagem de acordo com a escala corretamente com o design.
   3. Alinhar a imagem para as marcas de posição no desenho correspondente em que o floco de amostra está localizado sobre a peça modelada substrato.
   4. Repita os passos 3.2.2 e 3.2.3 utilizando a imagem de 100X.
   5. Crie uma nova camada no programa de desenho e desenhar um padrão 6-terminal bar Salão a imagem da amostra de modo que a região exposta será gravado para longe, deixando o bar Salão over.
   6. Criar uma nova camada no programa de design para contatos metálicos elétricos que conduzem a partir dos terminais sobre a amostra entrar em contato com almofadas.
   7. Salve o arquivo em um arquivo .gds ou salvá-lo em outro formato e convertê-lo para um arquivo .gds.
3. Padrão 6-terminal máscara bar Salão PMMA (pule esta etapa se um SiO ₂ camada de revestimento foi depositado no passo 2.5).
   1. Girar uma camada de PMMA formulado com um peso molecular de 950.000 para a amostra de acordo com o procedimento descrito nos passos 1.7.1 a 1.7.6.
   2. Amostra de carga em sistema de litografia por feixe de elétrons.
   3. Microscopia eletrônica de varredura (MEV), localizar marcas de alinhamento sobre o substrato longe da amostra ^11.
   4. Calibrar o sistema de rotação de fase e escala de comprimento adequado de acordo com o procedimento específico para o sistema de litografia de feixe de electrões que está sendo usado.
   5. Desligue o feixe de electrões para evitar a exposição indesejada do PMMA e centrar a posição do feixe no centro do padrão, preparado no passo 3.2.
   6. Coloque os .gds arquivo para o computador sistema de litografia por feixe de elétrons e programar o sistema para imprimir a camada padrão Salão do passo 3.2.5 com a resolução desejada de acordo com o procedimento específico para o sistema de litografia por feixe de elétrons sendo usado.
   7. Execute tele elétron programa de padronização do sistema de vigas para expor a PMMA para o feixe de elétrons de acordo com o manual do usuário do sistema.
   8. Retirar a amostra do sistema de feixe de electrões.
4. Etch amostra em 6-terminal bar Hall (pular esta etapa se uma camada de revestimento _de SiO2 foi depositado no passo 2.5).
   1. Respiradouro sistema de gravação iónica reactiva.
   2. Amostra de carga na câmara de condicionamento.
   3. Sistema de bomba a cerca de 1,3 × 10 ^-3 Pa (1 × 10 ^-5 Torr).
   4. Utilizar etch receita específica para o material de amostra para amostra etch. Nota: Para hBN / grafeno / hBN pilhas, um plasma gerado a partir de 4 centímetros cúbicos padrão _(sccm) O 2 e 40 sccm CHF ₃ a freqüência de rádio de 60 W (RF) de energia tem uma taxa de corrosão de cerca de 30 nm / min; um 1-2 min etch é geralmente suficiente.
   5. Após a conclusão do processo de ataque químico, gravura ventilar a câmara.
   6. Descarregar amostra e câmara de bomba gravura.
   7. Lavar oamostra num banho de acetona durante 1-2 min.
   8. Lavar a amostra num banho de isopropanol para 1-2 min.
   9. Lavar a amostra num banho de água desionizada durante 1-2 min.
5. Padrão PMMA máscara para a deposição dos contatos metálicos.
   1. Girar uma camada de PMMA formulado com um peso molecular de 495.000 para a amostra de acordo com o procedimento descrito nos passos 1.7.1 a 1.7.6.
   2. Girar uma segunda camada de PMMA formulado com um peso molecular de 950.000 para a amostra de acordo com o procedimento descrito nos passos 1.7.1 a 1.7.6.
   3. Repita os passos 3.3.2-3.3.8, desta vez utilizando a camada de contacto padrão do passo 3.2.6.
6. Se uma camada de revestimento de _SiO2 foi depositado no passo 2.5, etch distância _SiO2 na região exposta pela máscara para permitir que os contactos eléctricos para fazer a interface directamente com o floco de amostra.
   1. Disco cozer a máscara a 180 ° C durante 5 min.
   2. Deixe o fresco de amostra para 1-2 min.
   3. Etch o exposto _SiO2 num banho de HF a 2% durante um período suficiente para expor o floco amostra sem danificar a máscara de PMMA - aproximadamente 1-2 min para 100 nm _SiO2, verificando visualmente o progresso da etch cada 10-20 seg a certifique-se o PMMA permanece intacta.
   4. Se PMMA máscara é danificado, o PMMA remover por lavagem da amostra em acetona durante 60 segundos, em seguida, isopropanol, durante 60 seg, seguida de água desionizada durante 60 segundos, secando a amostra utilizando uma pistola de azoto, em seguida, repetindo o passo 3.5.
7. Depósito Cr / Au metal sobre a amostra usando um feixe de elétrons evaporador repetindo o passo 1.5.
8. Executar uma decolagem de metal repetindo o passo 1.6.

4. Execute Magnetotransporte Experiment

1. Prepare pacote transporte elétrico com amostra fabricado aderindo a amostra pacote sistema de transporte elétrico para ser carregado em ponta da sonda sistema de transporte com pasta de prata e deixe secar. Use um fio-bonder para connecte um fio de ouro fina das almofadas de contacto do dispositivo para as almofadas de contacto do pacote.
2. Coloque a amostra no sistema magnetotransporte.
   1. Anexar o pacote para a ponta da sonda deve ser inserida no sistema magnetotransporte e garantir que ele está bem encaixada. Conectar dispositivos elétricos de medição (sourcemeters, fechamento em amplificadores, etc.) para investigar e fazer conexões para todos os três canais de controle de temperatura e canais de medição elétrica.
   2. Faça a ventilação da câmara e insira a ponta da sonda na câmara e travá-lo no lugar com um grampo e O-ring.
      Nota: Os passos 4.2.3 e 4.2.8 4.2.4-4.2.6 e correspondem a medidas necessárias para efectuar medições de transporte, utilizando uma sonda de He-3.
   3. Ajustar a temperatura minisorb no inserto de 330 K para remover o vapor de água e abrir a válvula de troca de gás e bombear o sistema, utilizando uma bomba de vácuo durante cerca de 30 min, até que a pressão é inferior a 0,67 Pa (5 x ¹⁰ ~ 3 Torr).
   4. Fechara válvula de troca e a válvula de câmara de ar e abrir a válvula de câmara de ar separando o espaço do espaço de medição.
   5. Resumidamente aberta (por não mais do que 2 seg) e fechar a válvula de troca de introduzir uma pequena quantidade de He-4 para o espaço de gás sonda.
   6. Regule a temperatura minisorb a 25 K ea temperatura mainsorb a 40 K.
   7. Lentamente abaixe a sonda para o espaço de medição até que a amostra está no centro de campo.
   8. Uma vez que o sistema atingiu 2 K, pressione o botão sequência condensação 3He no software controlador para atingir temperaturas tão baixas quanto 0,300 K.
3. Efectuar as medições de transporte a uma gama de temperaturas, campos magnéticos, as tensões de porta, etc.
   1. Para todas as medições, excepto em simultâneo, para o ficheiro de dados, a corrente fornecida pela fonte de corrente, a tensão longitudinal (paralela à corrente fornecida) medido pelo voltímetro / amplificador lock-in dedicado a esta medida, a temperatura da amostramedido por um sensor de temperatura localizado perto da amostra, e o campo magnético gerado pelo íman.
   2. Se medidas Hall são desejados, guardar a tensão de Hall (transversalmente em relação à corrente fornecida) para o ficheiro de dados, e se uma tensão de porta é fornecido para ajustar a densidade portadora no canal, guardar a tensão da porta fornecida pela fonte de tensão correspondente, conforme assim, para cada medição a uma taxa de amostragem desejada.
      Nota: A taxa de amostragem para as medições depende se o parâmetro mudando experimental (temperatura, campo, tensão, etc.) está sendo varrido (a partir de uma valorização e terminando com um valor conjunto com uma taxa constante de mudança) ou escalonado (estabilização em valores pré-determinados). No primeiro caso, a taxa de amostragem é à discrição do investigador com base no tamanho do ficheiro de dados que desejam gerar. Neste último caso, as medições são feitas sobre a estabilização do parâmetro experimental mudando. Gerar e salvar datum arquivos é tratada pelo software de aquisição de dados.

Resultados

A Figura 3 mostra um típico dispositivo de barra Municipal modelado com a finalidade de uma baixa temperatura magnetotransporte experimento. A imagem óptica na figura superior mostra um sucesso-fabricadas bar Grafeno / hBN Salão; a imagem inferior mostra o diagrama esquemático do dispositivo com os estados de borda Landauer-Büttiker que surgem a partir dos Landau níveis (LL), um mecanismo de transporte que pode ser usado para calcular os valores das resistências quantifi...

Discussão

Após a aquisição de amostras a granel elevada qualidade, caracterizados para garantir uma composição e estrutura adequada, as amostras são modelados na geometria representada por esfoliantes flocos de amostra para 1 cm x 1 cm pedaços de substrato. Os substratos compostos de p-fortemente dopado Si cobertos por cerca de 300 nm de _SiO2 são preferidos uma vez que aumentam o espaço de parâmetros experimentais, permitindo a aplicação de uma porta traseira. As amostras devem ser suficientemente fina - menos de 10 nm...

Materiais

Lista de materiais utilizados neste artigo

Nome	Empresa	Número de catálogo	Comentários
Cryogenic Limited 12 T CFMS	Cryogen Limited	CFM-12T-H3- IVTI-25	Sistema de magnetotransporte personalizado com ímã de campo modulado (passo 4)
7270 DSP Amplificador de bloqueio	Recuperação de sinal	7270	amplificador de bloqueio para medições de fonte/dreno e tensão (passo 4)
GS200 DC Voltage/Current Source	Yokogawa	GS200	Fonte de tensão para aplicação de gate voltage (passo 4)
2636B Sistema Sourcemeter	Keithley	2636B	Sourcemeter para medições de fonte/dreno e tensão
DWL 2000 Gerador de Padrão a Laser	Heidelberg Instruments	DWL 2000	Gerar máscara cromada para litografia de localização/alinhamento do substrato padrão de recurso (etapa 1.3)
Suss MicroTec MA6/BA6 Alinhador de Contato	Suss	MA6	Usado para a litografia do padrão de localização/alinhamento de características do substrato (passo 1.4.12)
Sistema de Litografia de Feixe de Elétrons de Escrita Direta	JEOL JEOL	JBX 6300-FS	Realize litografia de dispositivos de alta resolução
Discovery 550 Sistema de pulverização catódica	Denton Vacuum	Discovery 550	Execute SiO2 sputtering (etapa 2.5)
Infinity 22 Evaporador de feixe	elétrons Denton Vacuum	Infinty 22	Execute a deposição de Cr/Au (etapas 1.5 e 3.7)
Unaxis 790 Reactive Ion Etcher	Unaxis	Unaxis 790	Grave a amostra na estrutura da barra Hall (etapa 3.4)
PMMA 495 A4	MicroChem	PMMA 495 A4	Revestimento de polímero/máscara de feixe de elétrons para litografia (etapa 3.5.1)
PMMA 950 A4	MicroChem	PMMA 950 A4	Revestimento de polímero/máscara de feixe de elétrons para corte de amostras e litografia (etapas 1.7.3, 3.3.1 e 3.5.2)
S1813 fotorresistente positivo	MicroChem	S1813 G2	Fotorresistente positivo (etapa 1.4.8)
Resistência a LOR	MicroChem	LOR 3A	Resistência à decolagem (etapa 1.4.3)
1:3 MIBK:Desenvolvedor IPA PMMA	MicroChem	1:3 MIBK:Desenvolvedor	IPA PMMA
MF-321 Desenvolvedor	MicroChem	MF-321	Novolac solução de revelação compatível com fotorresistente positivo (etapa 1.4.15)
Polidimetilsiloxano terminado em éter diglicidiílico	Sigma Aldrich	SA 480282	Para empilhamento de material em camadas (etapa 2.6.1)
Carbonato de polipropileno	Sigma Aldrich	SA 389021	Para empilhamento de material em camadas (etapa 2.6.2)