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Artigo de método

Multi-passo fotolitografia Variável Altura para Valved multicamada microfluídicos Devices

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DOI:

10.3791/55276

27 de janeiro de 2017

* These authors contributed equally

Neste artigo

Resumo

Dispositivos microfluídicos multicamadas geralmente envolvem a fabricação de moldes mestres com geometrias complexas para funcionalidade. Este artigo apresenta um protocolo completo para fotolitografia em várias etapas com válvulas e recursos de altura variável ajustáveis a qualquer aplicação. Como demonstração, fabricamos um gerador de gotículas microfluídicas capaz de produzir esferas de hidrogel.

Resumo

Os sistemas microfluídicos permitiram novas abordagens poderosas para análises bioquímicas e biológicas de alto rendimento. No entanto, permanece uma barreira à entrada de não especialistas que se beneficiariam muito com a capacidade de desenvolver seus próprios dispositivos microfluídicos para abordar questões de pesquisa. Particularmente ausente tem sido a disseminação aberta de protocolos relacionados à fotolitografia, um passo fundamental no desenvolvimento de um molde de réplica para a fabricação de dispositivos de polidimetilsiloxano (PDMS). Embora a fabricação de mestres de silício de altura única tenha sido explorada extensivamente na literatura, as etapas de fabricação para recursos de fotolitografia mais complicados necessários para muitas funcionalidades interessantes do dispositivo (como arredondamento de recursos para fazer estruturas de válvulas, padrões de molde único de várias alturas ou definição de alta proporção) muitas vezes não são explicitamente descritas.

Aqui, fornecemos um protocolo completo para a fabricação de dispositivos microfluídicos multicamadas com válvulas e geometrias complexas de várias alturas, ajustáveis para qualquer aplicação. Esses procedimentos de fabricação são apresentados no contexto de um sintetizador de esferas de hidrogel microfluídico e demonstram a produção de gotículas contendo polietilenoglicol (diacrilato de PEG) e um fotoiniciador que pode ser polimerizado em esferas sólidas. Este protocolo e a discussão que o acompanha fornecem uma base de princípios de design e métodos de fabricação que permitem o desenvolvimento de uma ampla variedade de dispositivos microfluídicos. Os detalhes incluídos aqui devem permitir que não especialistas projetem e fabriquem novos dispositivos, trazendo assim uma série de tecnologias desenvolvidas recentemente para suas aplicações mais interessantes em laboratórios biológicos.

Introdução

Durante os últimos 15 anos, como um campo de microfluidos sofreu um crescimento rápido, com uma explosão de novas tecnologias que permitem a manipulação de fluidos em escala micrométrica 1. Sistemas microfluidicos são atraentes para as plataformas funcionalidade laboratório molhado, porque os pequenos volumes tem o potencial para realizar o aumento da velocidade e a sensibilidade ao mesmo tempo, aumentar dramaticamente o rendimento e reduzindo o custo por aproveitar as economias de escala de 2, 3. Sistemas microfluídicos multicamadas fizeram impactos particularmente significativo....

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Protocolo

Projeto de dispositivos 1. Multi-layer

NOTA: Características de diferentes alturas e / ou fotorresistentes devem ser adicionados sequencialmente ao wafer durante as diferentes etapas de fabricação para criar recursos finais compósitos. Portanto, modelos para cada altura e fotorresistente separado para ser incluído em uma pastilha tem de ser impressa sobre a sua própria máscara (Figura 4).

  1. Baixar um design (CAD) programa de elaboração assistida por computador (por exemplo, AutoCAD Versão Educacional).
  2. Definir "área de wafer pelo desenho de um 4" a 4 círculo. Designs bolacha (Figura 4,<....

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Resultados

Aqui, demonstramos a fabricação de válvulas, de altura variável moldes de microfluidos multicamadas, fazendo dispositivos capazes de gerar poli etileno glicol (PEG) a partir de pérolas de hidrogel gotículas (Figura 2). Uma visão geral do processo de fabricação completa está incluído na Figura 3. Usando elementos de design do trabalho anterior, o sintetizador talão emprega 4 alturas em sua camada de fluxo, incluindo (1) arredondado válv.......

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Discussão

Este trabalho demonstra um protocolo de fotolitografia multi-passo completo para um dispositivo microfluídico multicamadas com válvulas e geometria altura variável que pode ser ajustado para qualquer aplicação com simples modificações nos parâmetros de fabricação com base em nossas ferramenta online 26 e fabricante instruções 25. Este protocolo destina-se a desmistificar fotolitografia multicamadas para pesquisadores que desejam construir dispositivos microfluídicos para a.......

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Divulgações

Os autores declaram que não têm interesses financeiros concorrentes.

Agradecimentos

Os autores agradecem a Scott Longwell pelos comentários e edições úteis no manuscrito e a Robert Puccinelli pela fotografia do dispositivo. Os autores reconhecem o apoio generoso de uma bolsa de desenvolvimento de tecnologia do Beckman Institute. KB é apoiado por uma bolsa NSF GFRP e o componente TLI do Stanford Clinical and Translational Science Award to Spectrum (NIH TL1 TR 001084); P.F. reconhece uma bolsa de estudos McCormick e Gabilan.

....

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Materiais

Lista de materiais utilizados neste artigo
NomeEmpresaNúmero de catálogoComentários
MateriaisMáscaras de
Transparência Mylar, 5"FineLine Plotting
5" Placas de QuartzoSílica Unida de Silício Personalizados
de 4", Wafer Universitário de Grau de Teste452
SU8 2005, 2025, 2050fotorresistente MicrochemY111045, Y111069, Y111072
Az50XT Revelador SU8 Integrated MicromaterialsAZ50XT-Q
SU8Y020100
AZ400K Revelador 1:3 PratoIntegrated MicromaterialsAZ400K1:3-CS
Placas de PetriSigma-AldrichCLS3140150-1EA
, 150 mmPinça paraVWR 25384-326
 Microscopia Eletrônica Sciences (EMS)78410-2W
Tricloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctil)silano (PFOTS)Sigma-Aldrich448931-10G
2" x 3" lâminas de vidroThomas Scientific 6686K20
RTV 615 base elastomérica e agente de cura PDMS conjuntoMomentive Tubulação RTV615-1P
Tygon, 0.02" O.D. Fischer Scientific 14-171-284
Tubo capilar PEEK, 510 μ m OD, 125 μ m IDZeusCustom360 μ m PEEK está prontamente disponível pela Idex (número de catálogo: 1571)
Cyro tubo de 4 mlGreiner Bio-One127279
Epóxi, 30 minPermatex84107
Pinos de metal, 0,025" OD, .013" IDNew England Small TubeNE-1310-02
Poli(etilenoglicol) diacrilato, Mn 700Sigma-Aldrich455008-100ML
Fotoinitador de fenil(2,4,6-trimetilbenzoil)fosfinato de lítio Tokyo Chemical Industry Co.L0290Normalmente sintetizamos LAP internamente. 
HEPESSigma-AldrichH4034-25G
Óleo mineral leveSigma-Aldrich330779-1L
Span-80Sigma-Aldrich85548
ABIL EM 90UPI Chem420095 
 
Nome CompanyNúmero de catálogoComentários
EquipamentoEquipamento equivalente ou configurações caseiras funcionarão igualmente bem
Alinhador de máscaraKarl SussMA6
ProfilometerKLA-TencorAlpha-Step D500
Spin CoaterLaurell TechnologiesWS-650-23Qualquer spincoater pode ser usado que aceite wafers de 100 mm
Dessecador a vácuo, estilo Bell-JarBel-Art420100000
FornoCole-PalmerWU-52120-02
Sistema de cura UV a ponto com opção LLG de 3 mmLEDs UV Dymax41015lâmpadas de arco de xenônio ou outras fontes UV da mesma intensidade funcionam igualmente bem
Sistema de Controle de Fluidos Microfluídicos MFCSFluidgentMFCS-EZBombas de seringa, pneumática personalizada ou outros sistemas de controle também podem ser usados
Scripts de controle automatizadoMATLAB
Placa de aquecimentoTory Pines ScientificHP30Qualquer placa de aquecimento com aquecimento uniforme (ou seja, placas de alumínio ou cerâmica) será suficiente.
Wafers de vidro Pyrex de 150 mm para Wafer Wafer ,

Referências

  1. Duncombe, T. A., Tentori, A. M., Herr, A. E. Microfluidics: reframing biological enquiry. Nat. Rev. Mol. Cell Bio. 16 (9), (2015).
  2. Squires, T. M., Quake, S. R. Microfluidics: Fluid physics at the nanoliter scale. Rev.Mod. Phys. 77 (3), (2005).
  3. Whitesides, G. M.

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Reimpressões e permissões

Etiquetas

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