O método de fabricação de eletrodos interdigitantes bem (gap e largura: 20 µm) na ponta de uma agulha hipodérmica (diâmetro: 720 µm) é demonstrada usando um revestimento de pulverizador e película flexível Fotomáscara no processo de fotolitografia.
Artigo de método
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| Nome | Empresa | Número de catálogo | Comentários |
|---|---|---|---|
| Tubo termorretrátil | VENTION MEDICAL, Inc. | 103-0655 | |
| Agulha hipodérmica (22G) | HWAJIN MEDICAL co. | ltd-http://www.hwajinmedical.com | |
| Pistola de calor | Weller | WHA600 | http://www.weller-tools.com/en/Home.html |
| Limpador ultrassônico | HWASHIN INSTRUMENT CO, LTD. | POWERSONIC 620-http://www.hwashin.net | |
| Placa de aquecimento | AS ONE Corporation | 006560 | |
| pulverização catódica | A-Tech. Ltd. | ATS/SPT/0208F | http://www.atechsystem.co.kr |
| Corrediça de vidro | Paul Marienfeld GmbH & Co. KG | 1000412 | |
| Revestidor por pulverização | LITHOTEK | LSC-200 | |
| Fotorresistente | AZ materiais eletrônicos | GXR 601 | |
| http://www.merck-performance-materials.com/en/index.html Desenvolvedor (solução) | AZ materiais eletrônicos | MIF 300 | http://www.merck-performance-materials.com/en/index.html |
| alinhador | MIDAS SYSTEM CO.,Ltd. | Microscópio http://www.midas-system.com MDA-400M | |
| NIKON Corporation | L200 | http://www.nikonmetrology.com | |
| Au | condicionador úmido TRANSENE COMPANY, Inc. | Tipo de corrosão TFA | http://transene.com |
| Cr corrosão úmida | KMG Electronic. Produtos Químicos, Inc. | CR-7 | http://kmgchemicals.com |
| Au alvo | Filmes finos e materiais finos-http://www.thifine.co.kr | ||
| alvo Cr Filmes | finos e materiais finos-http://www.thifine.co.kr | ||
| gás argônio (99,999%) | SINIL Gás Co.Ltd-http://www.sigas.kr | ||
| Solução de acetona | OCI Company Ltd | - | Analisador de |
| impedância | http://www.ocicorp.co.kr/company/index.asp Gamry Instruments Inc | Referência 600 | Controlador de |
| altura | Mitutoyo Corporation | 192-613 | |
| Solução salina tamponada com fosfato | Life Technologies Corporation | 10010023 |
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